1
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等离子体增强化学气相淀积a-SiCOF薄膜的稳定性研究 |
丁士进
张庆全
王鹏飞
张卫
王季陶
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《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
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2001 |
0 |
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2
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高频等离子体化学气相淀积法制备TiO_2超细粒子 |
朱宏杰
王新
李春忠
胡黎明
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《华东理工大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
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1994 |
8
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3
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偏压对低气压等离子体增强化学气相沉积TiO_2薄膜的结构和性能的影响 |
刘伟
李岩
张菁
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《东华大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
4
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4
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常压等离子体增强化学气相沉积纳米晶TiO_2多孔薄膜的研究 |
李岩
徐绍魁
徐金洲
张菁
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《东华大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
3
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5
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用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜 |
楚振生
李炳生
刘益春
申德振
范希武
刘毅南
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《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2000 |
3
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6
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多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺 |
邓婉婷
吴爱民
张广英
秦富文
董闯
姜辛
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《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2007 |
0 |
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7
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等离子体增强化学气相沉积可控制备石墨烯研究进展 |
李娜
张儒静
甄真
许振华
何利民
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《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2020 |
8
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8
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高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)工艺 |
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《中国集成电路》
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2007 |
3
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9
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常压等离子体增强化学气相沉积法表面功能化聚酯织物 |
K. H. Kale
S. S. Palaskar
刘鹏(译)
罗艳(校)
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《国际纺织导报》
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2012 |
1
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10
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微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 |
左潇
魏钰
陈龙威
舒兴胜
孟月东
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
2
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11
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添加H_2对SiH_4/N_2/Ar等离子体淀积的氮化硅电学和光学特性的影响 |
景亚霓
钟传杰
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《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2014 |
0 |
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12
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激光诱导等离子体淀积薄膜过程的研究 |
张贵银
荆一东
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《四川工业学院学报》
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2001 |
0 |
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13
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化学气相淀积反应器中超细粒子的形态控制 Ⅰ.TiO_2超细粒子的制备 |
胡黎明
李春忠
姚光辉
陈敏恒
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《华东化工学院学报》
CSCD
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1992 |
7
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14
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化学气相淀积反应器内TiCl_4氧化反应动力学 |
王松
胡黎明
郑柏存
古宏晨
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《华东化工学院学报》
CSCD
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1992 |
5
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15
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TiCl_4-O_2-H_2O体系化学气相淀积TiO_2超细粒子 |
姚光辉
李春忠
胡黎明
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《华东化工学院学报》
CSCD
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1992 |
7
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16
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氯参与的化学气相淀积金刚石的热力学分析 |
刘志杰
张卫
张剑云
万永中
王季陶
曹传宝
朱鹤孙
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《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1999 |
1
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17
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化学气相淀积在无机新材料制备中的应用 |
郭新
袁润章
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《材料科学与工程》
CSCD
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1994 |
13
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18
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弛豫锗硅减压化学气相淀积的CFD模型及仿真 |
戴显英
郑若川
郭静静
张鹤鸣
郝跃
邵晨峰
吉瑶
杨程
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《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
1
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19
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化学气相淀积反应器中超细粒子的形态控制 Ⅲ.TiO_2超细粒子晶体组成 |
胡黎明
古宏晨
李春忠
陈敏恒
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《华东化工学院学报》
CSCD
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1992 |
2
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20
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SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学 |
姚光辉
韩杰
袁渭康
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《华东化工学院学报》
CSCD
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1990 |
3
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