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极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响
1
作者 詹泽红 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期898-905,共8页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性。圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W)。 展开更多
关键词 朗缪尔双探针 圆孔刻槽极板 极性电极 等离子体均匀性 点亮问题
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容性耦合等离子体的均匀性研究 被引量：7
2
作者 唐优青 丁可 +1 位作者 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期984-990,共7页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极板配置和放电参数不仅影响等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度,而且影响等离子分布的均匀性;两对放电极板和接地圆孔极板均提高了等离子体的均匀性,但降低了等离子体的电子密度和电子能量密度,其中两对放电极板可将电子密度的均匀性由77.9%提高至93.5%,而圆孔极板则可将电子密度的均匀性由77.9%提高至96.4%;高功率可获得高电子密度、高电子能量密度但低均匀性的等离子体。 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 朗缪尔双探针 等离子体均匀性 圆孔极板
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激光科研应用
3
《中国光学》 EI CAS 1994年第4期48-49,共2页
TN249 94042667 利用积分球中漫射光实现原子的激光冷却[会,中]/陈洪新,王育竹,蔡惟泉,束伟,周善钰(中科院上海光机所量子光学联合开放实验室)∥世界光学大会。—上海,93.8报道一种利用积分球内的漫散光冷却原子的新机制及实验研究。在... TN249 94042667 利用积分球中漫射光实现原子的激光冷却[会,中]/陈洪新,王育竹,蔡惟泉,束伟,周善钰(中科院上海光机所量子光学联合开放实验室)∥世界光学大会。—上海,93.8报道一种利用积分球内的漫散光冷却原子的新机制及实验研究。在考虑了原子吸收系数情况下,计算了原子对任意失谐△的辐射力,并得到了解析表达式。 展开更多
关键词 积分球 激光冷却 实验研究 原子吸收系数 冷却原子 数值计算 原子对 强激光 原子束 线状等离子体均匀性
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