等离子体参数诊断及其特性研究 被引量：14

1

作者 符斯列 陈俊芳 +3 位作者 吴先球 赵文峰 樊双莉 马涛 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第2期77-81,共5页

利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受... 利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游II区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16cm区域内等离子体密度均匀性达到了96 3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用. 展开更多

关键词 等离子体参数诊断 朗缪尔探针 电子温度 离子密度 ECR-PEMOVD 微波电子回旋共振

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离子渗金属中等离子体参数与工艺参数的相关性 被引量：9

2

作者 李成明 徐重 +2 位作者 田林海 吕反修 唐伟忠 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期311-314,共4页

用朗缪尔单探针技术对离子渗金属中的等离子体参数进行了诊断,讨论工艺参数对等离子体参数的影响。结果表明,随着工件阴极电压、源极电压和气压的增加,等离子体密度增大。利用等离子体参数结合放电特征对工艺参数进行了优化限定。讨论... 用朗缪尔单探针技术对离子渗金属中的等离子体参数进行了诊断,讨论工艺参数对等离子体参数的影响。结果表明,随着工件阴极电压、源极电压和气压的增加,等离子体密度增大。利用等离子体参数结合放电特征对工艺参数进行了优化限定。讨论了等离子体参数对渗层成分的影响。 展开更多

关键词 离子渗金属 等离子体参数 工艺参数 表面成分 相关性 表面改性

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团簇六边形斑图等离子体参数的光谱测量 被引量：1

3

作者 董丽芳 申中凯 +3 位作者 李新春 刘亮 卢宁 商洁 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期2351-2353,共3页

在氩气和空气混合气体介质阻挡放电中,首次发现了团簇六边形斑图。运用发射光谱法,研究了此斑图中单个团簇的三种等离子体参数:分子振动温度、分子转动温度以及电子的平均能量随空气含量的变化。实验通过测量氮分子光谱并采用氮分子第... 在氩气和空气混合气体介质阻挡放电中,首次发现了团簇六边形斑图。运用发射光谱法,研究了此斑图中单个团簇的三种等离子体参数:分子振动温度、分子转动温度以及电子的平均能量随空气含量的变化。实验通过测量氮分子光谱并采用氮分子第二正带系(C3Πu→B3Πg)计算了振动温度;同时采集氮分子离子(N2+)的第一负带系(B2Σu+→X2Σg+)计算转动温度。利用氮分子离子391.4nm和激发态的氮分子337.1nm两条发射谱线的相对强度之比,作为研究电子平均能量的变化的依据。结果显示,当混合气体中空气含量从16%逐渐增大到24%时,三种等离子体参数均逐渐增大。 展开更多

关键词 介质阻挡放电 团簇六边形斑图 等离子体参数

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HT-7托卡马克等离子体电子热扩散系数与等离子体参数的关系

4

作者 张先梅 万宝年 《华东理工大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期584-587,共4页

研究了HT-7托卡马克装置欧姆放电情况下电子热扩散系数χe的空间分布以及它与等离子体参数如等离子体中心弦平均密度、等离子体电流的关系。χe沿等离子体小半径的分布是逐渐增大,中心最低。χe在等离体1/2小半径处的数值随等离子体的... 研究了HT-7托卡马克装置欧姆放电情况下电子热扩散系数χe的空间分布以及它与等离子体参数如等离子体中心弦平均密度、等离子体电流的关系。χe沿等离子体小半径的分布是逐渐增大,中心最低。χe在等离体1/2小半径处的数值随等离子体的中心弦平均密度增大而降低,随等离子体电流的增大而增大。且硼化后的值比硅化后的值稍小一些。χe比INTOR定标小很多,但与欧姆放电情况下的Merezhkin定标以及Coppi-Mazzucato定标数值差不多。 展开更多

关键词 等离子体参数 电子 HT-7托卡马克装置 热扩散系数 半径 中心 硅化 托卡马克等离子体 放电

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隐身应用中等离子体参数的Nelder-Mead优化反演研究

5

作者 程立 时家明 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期362-365,共4页

采用Nelder-Mead单纯形算法实现了等离子体隐身时多个等离子体参数的优化反演,初步解决了隐身应用研究中等离子体参数的局部最优取值问题。反演结果表明,对于非磁化均匀冷等离子体,在选定的参数取值范围内,吸收程度由等离子体的电子密... 采用Nelder-Mead单纯形算法实现了等离子体隐身时多个等离子体参数的优化反演,初步解决了隐身应用研究中等离子体参数的局部最优取值问题。反演结果表明,对于非磁化均匀冷等离子体,在选定的参数取值范围内,吸收程度由等离子体的电子密度、碰撞频率及等离子体层厚度共同决定。等离子体层厚度决定了最佳吸收波长,且当入射雷达波频率大于某一频率时,等离子体碰撞频率趋于一个稳定值。 展开更多

关键词 Nelder-Mead 算法 等离子体参数 隐身 多参数优化

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利用栅网控制空间等离子体环境效应模拟中的等离子体参数

6

作者 庞永江 徐跃民 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期142-146,共5页

通常采用ECR等离子体源产生的等离子体的温度和密度都比较大,通过附加适当目数的栅网,并在栅网上加一定的偏置电位来对等离子体参数,尤其是温度、密度进行调整,满足空间等离子体环境模拟要求.本文利用14目、25目的栅网,对己有的地面实... 通常采用ECR等离子体源产生的等离子体的温度和密度都比较大,通过附加适当目数的栅网,并在栅网上加一定的偏置电位来对等离子体参数,尤其是温度、密度进行调整,满足空间等离子体环境模拟要求.本文利用14目、25目的栅网,对己有的地面实验室空间等离子体环境进行了改进,得到了更加接近空间等离子体参数的一个地面模拟环境. 展开更多

关键词 空间等离子体模拟 ECR 栅网控制 地面模拟环境 环境效应 等离子体参数

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物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展 被引量：7

7

作者 曲帅杰 郭朝乾 +5 位作者 代明江 杨昭 林松盛 王迪 田甜 石倩 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期140-146,185,共8页

物理气相沉积作为制备表面防护薄膜的重要方法,一直是表面薄膜领域研究重点,而物理气相沉积中等离子体作为直接影响薄膜性能的关键因素,其参数的表征对优化沉积工艺和提高薄膜性能具有重要指导意义。概述了常用物理气相沉积方法及其发展... 物理气相沉积作为制备表面防护薄膜的重要方法,一直是表面薄膜领域研究重点,而物理气相沉积中等离子体作为直接影响薄膜性能的关键因素,其参数的表征对优化沉积工艺和提高薄膜性能具有重要指导意义。概述了常用物理气相沉积方法及其发展,包括电弧离子镀、磁控溅射和电弧磁控复合技术的原理及发展历程。归纳了目前生产中常用的等离子体参数表征方法——Langmuir探针法、汤姆逊散射法、微波干涉法和发射光谱法,阐明了这些表征方法诊断等离子体参数的原理,分析了不同表征方法的优缺点和存在的主要问题,并对常用物理气相沉积中等离子体参数表征相关研究的发展和现状作了综合论述和总结,分别整理了电弧离子镀和磁控溅射中等离子体参数诊断的发展历程和近期研究。两种物理气相沉积方法最常用的等离子体参数表征方法都是Langmuir探针法和发射光谱法,早期的研究侧重于探索等离子体瞬态参数和薄膜结构性能的关系。随着现代技术的进步,早期诊断方法不断与新技术融合,研究方向也逐渐偏向于研究等离子体参数的时间变化和优化薄膜工艺、性能评价方法。最后分析了当前物理气相沉积中等离子体参数表征存在的问题和不足,展望了等离子体参数未来的研究趋势。 展开更多

关键词 物理气相沉积 薄膜 等离子体参数 电弧离子镀 磁控溅射 发射光谱法 LANGMUIR探针

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HT-7低杂波电流驱动效率与等离子体参数相关性实验

8

作者 沈慰慈 匡光力 +4 位作者 单家方 丁伯江 石跃江 李建刚 赵燕平 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期224-228,共5页

通过开展低杂波电流驱动效率与等离子体参数相关性研究,HT 7装置上的最大电流驱动效率达到ηCD=neRpIRF/PLH≈1.4×1019A·W-1·m-2。实验结果表明,优化低杂波的功率谱、等离子体密度、纵场等参数对提高驱动效率起到了关键... 通过开展低杂波电流驱动效率与等离子体参数相关性研究,HT 7装置上的最大电流驱动效率达到ηCD=neRpIRF/PLH≈1.4×1019A·W-1·m-2。实验结果表明,优化低杂波的功率谱、等离子体密度、纵场等参数对提高驱动效率起到了关键作用。驱动效率对波谱、密度有较强的依赖性,波谱在Npeak‖=(2.45～2.9),密度为(1.5～2.0)×1013cm-3时驱动效率较高;驱动效率随着纵场的升高而增大;同时,改善托卡马克壁状态、降低杂质水平、提高放电稳定性,对提高驱动效率有积极作用。 展开更多

关键词 低杂波电流驱动 电流驱动效率 等离子体参数 功率谱 受控核聚变 离子温度 边界涨落 杂质辐射

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液中放电冲击波和等离子体参数的计算 被引量：10

9

作者 李培芳 金方勤 《浙江大学学报（自然科学版）》 CSCD 1994年第1期27-35,共9页

本文以热力学能量平衡为基础计算了液中放电现象中放电通道内压力、温度、电导率和通道电阻随时间的变化关系，还给出了放电通道周围液体介质中冲击压力波的变化。计算所得的介质中冲击波压力和通道电阻与有关文献所提供的实测数据比较... 本文以热力学能量平衡为基础计算了液中放电现象中放电通道内压力、温度、电导率和通道电阻随时间的变化关系，还给出了放电通道周围液体介质中冲击压力波的变化。计算所得的介质中冲击波压力和通道电阻与有关文献所提供的实测数据比较接近。 展开更多

关键词 液中放电 等离子体参数 冲击波

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用于LCD背照明的低压Ar—Hg放电的等离子体参数

10

作者 田明 《发光快报》 CSCD 1994年第6期53-55,共3页

关键词 低压氩-汞放电 等离子体参数 LCD背照明

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航天器空间环境模拟器中的等离子体分布规律 被引量：5

11

作者 宋瑞海 张书锋 +2 位作者 张明志 刘民 李绍飞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期720-723,共4页

低轨道航天器的空间等离子体环境主要为低温、低密度、均匀等离子体,本文详细叙述了低轨道空间等离子体的特点,为了准确校准Langmuir(朗缪尔)探针,对空间模拟装置内等离子体的参数分布进行了详细的实验和数据分析,得到了电子密度、电子... 低轨道航天器的空间等离子体环境主要为低温、低密度、均匀等离子体,本文详细叙述了低轨道空间等离子体的特点,为了准确校准Langmuir(朗缪尔)探针,对空间模拟装置内等离子体的参数分布进行了详细的实验和数据分析,得到了电子密度、电子温度、空间电位、悬浮电位、德拜长度的分布规律,得出校准装置中心200 mm以内为稳定的等离子体,从而在安装位置上有助于更好地对探针校准。 展开更多

关键词 低轨道航天器 空间环境模拟器 等离子体参数 分布规律

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螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究 被引量：7

12

作者 朱永红 吴卫东 +1 位作者 唐永建 孙卫国 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期308-312,共5页

采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的... 采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa^4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致。 展开更多

关键词 等离子体诊断 等离子体参数 射频调谐朗谬尔探针 螺旋波等离子体

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氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的影响机理 被引量：4

13

作者 潘鑫 马志斌 +3 位作者 李国伟 曹为 王传新 付秋明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期243-247,共5页

采用电子回旋共振(ECR)等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积(CVD)金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体进行了诊断,研究了等离子体参数对刻蚀效果的影响。结果表明:磁场由发散场向收敛场转变时,离子温度、... 采用电子回旋共振(ECR)等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积(CVD)金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体进行了诊断,研究了等离子体参数对刻蚀效果的影响。结果表明:磁场由发散场向收敛场转变时,离子温度、电子温度和等离子体密度都随之增大,刻蚀效果逐渐增强;当工作气压由低气压向高气压变化时,等离子体参数先增大后减小,CVD金刚石膜表面粗糙度降低程度也出现了相同的趋势。 展开更多

关键词 刻蚀 CVD金刚石 等离子体参数 ECR等离子体

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直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究 被引量：2

14

作者 樊双莉 陈俊芳 +5 位作者 吴先球 赵文锋 孙辉 符斯列 向鹏飞 蒙高庆 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第4期65-69,共5页

采用直管式反应感应耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICPECVD)制备氮化硅薄膜,并用傅立叶变换红外光谱仪测试了氮化硅薄膜的红外光谱,结果表明氮化硅薄膜中不仅存在Si-N键,而且由于杂质氢的存在而含有Si-H键和N-H键.用朗缪尔单探针测试... 采用直管式反应感应耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICPECVD)制备氮化硅薄膜,并用傅立叶变换红外光谱仪测试了氮化硅薄膜的红外光谱,结果表明氮化硅薄膜中不仅存在Si-N键,而且由于杂质氢的存在而含有Si-H键和N-H键.用朗缪尔单探针测试了直管式反应室中的等离子体参数,得到离子密度Ni在反应室内轴向以及径向位置的变化规律,弄清了离子密度Ni分布比较均匀的区域,分析了离子密度Ni分布的均匀性对等离子体干法刻蚀和薄膜制备的影响和意义. 展开更多

关键词 感应耦合等离子体 氮化硅薄膜 离子密度 直管 薄膜制备 化学气相沉积法 等离子体参数 反应室 并用 增强

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等离子体诊断仿真实验设计 被引量：1

15

作者 王鑫 吴先球 +2 位作者 肖化 梁超均 陈俊芳 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2005年第1期51-54,共4页

用FlashMX制作了静电探针法诊断等离子体参数的远程仿真实验,设计了能独立操作并相互关联的实验仪器,提供了接近真实的操作界面,实现了等离子体有极放电、单探针诊断和双探针诊断的实验仿真.

关键词 等离子体诊断 实验设计 等离子体参数 探针诊断 FLASH 仿真实验 实验仪器 相互关联 操作界面 实验仿真 探针法 远程 MX 接近

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柱状等离子体微波透射衰减数据的测量及其应用 被引量：1

16

作者 程立 时家明 +2 位作者 汪家春 袁忠才 许波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期171-174,共4页

微波透射衰减数据是研究等离子体与微波相互作用时的重要实验数据,本文针对柱状等离子体,分析了准确测量其微波透射衰减所应满足的三个条件:等离子体等厚、入射波远场、等离子体反射可忽略;并设计了满足上述条件的测量实验。除直接用于... 微波透射衰减数据是研究等离子体与微波相互作用时的重要实验数据,本文针对柱状等离子体,分析了准确测量其微波透射衰减所应满足的三个条件:等离子体等厚、入射波远场、等离子体反射可忽略;并设计了满足上述条件的测量实验。除直接用于分析等离子体参数对微波传输的影响外,本文提出了该数据的另外两种用途:诊断等离子体参数、判定等离子体稳定性。 展开更多

关键词 柱状等离子体 微波透射衰减 等离子体参数 诊断 稳定性

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等离子体射流参数对染污硅橡胶憎水迁移速率的影响 被引量：7

17

作者 陈杰 周志成 +3 位作者 刘洋 张若兵 周新磊 夏衍 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期3702-3708,共7页

硅橡胶的憎水性及憎水迁移性是复合绝缘子能够防治污闪事故的主要原因,快速提高染污硅橡胶材料的表面憎水迁移速率具有重要意义。为此,采用介质阻挡放电(DBD)产生的低温等离子体射流装置对染污后的硅橡胶材料进行了处理,研究了不同等离... 硅橡胶的憎水性及憎水迁移性是复合绝缘子能够防治污闪事故的主要原因,快速提高染污硅橡胶材料的表面憎水迁移速率具有重要意义。为此,采用介质阻挡放电(DBD)产生的低温等离子体射流装置对染污后的硅橡胶材料进行了处理,研究了不同等离子体射流处理参数对染污硅橡胶憎水迁移速率的影响。研究结果表明:等离子体射流放电电压、射流处理间距、射流气体体积流量、染污灰密度(NSDD)等因素对提高染污硅橡胶憎水迁移速率有较大影响;外加射流放电电压幅值越高、射流气体体积流量越大,则射流处理后初始接触角越大、憎水迁移性越好;射流处理存在有效间距,等离子体与染污硅橡胶间距超过4 cm后,处理效果将大大降低;染污灰密度增大,射流处理后憎水性改善效果变差。分析实验结论推测等离子体射流作用过程中射流能量是促使憎水迁移速率加快的主要因素。 展开更多

关键词 复合绝缘子 硅橡胶 憎水迁移速率 等离子体射流参数 静态接触角 等离子体射流能量

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CME影响下L1点附近等离子体及共生微波爆发的射电辐射机制研究 被引量：1

18

作者 孙伟英 吴季 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期167-172,共6页

CME在产生和发展过程中与日冕和行星际介质相互作用并发出不同波长的射电辐射.在研究了无CME时空间等离子体的各种辐射机制基础上,统计分析了1999年2月至1999年8月期间有较大的CME发生情况下,在CME影响下L1拉格朗日点附近等离子体参数... CME在产生和发展过程中与日冕和行星际介质相互作用并发出不同波长的射电辐射.在研究了无CME时空间等离子体的各种辐射机制基础上,统计分析了1999年2月至1999年8月期间有较大的CME发生情况下,在CME影响下L1拉格朗日点附近等离子体参数发生变化后的射电辐射机制.分析结果表明,其射电辐射机制主要是轫致辐射、微量的回旋辐射和更加微弱的复合辐射.此外,分析讨论了1999年2月至1999年8月期间与CME共生的太阳微波爆发.分析结果表明,与CME共生的是微波逐渐型爆发、尖峰爆发,其辐射机制主要是轫致辐射、回旋共振辐射、等离子体辐射及电子回旋脉泽辐射. 展开更多

关键词 射电辐射 CME 机制研究 共生 1999年8月 辐射机制 空间等离子体 等离子体参数 太阳微波爆发 电子回旋脉泽 等离子体辐射 分析结果 轫致辐射 拉格朗日点 相互作用 星际介质 发展过程 发生情况 统计分析 发生变化 复合辐射

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脉冲等离子体推力器等离子体电参数的计算方法 被引量：1

19

作者 程笑岩 刘向阳 +1 位作者 WilliamYeong Liang Ling 王宁飞 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1436-1442,共7页

脉冲等离子体推力器(pulsed plasma thruster,PPT)是一种结构简单、比冲高的电推进装置,可用于微小卫星的姿态控制、位置保持等。PPT等离子体的电参数(电阻、电感),可为PPT放电特性研究以及性能优化提供参考依据。文中采用电流分段拟合... 脉冲等离子体推力器(pulsed plasma thruster,PPT)是一种结构简单、比冲高的电推进装置,可用于微小卫星的姿态控制、位置保持等。PPT等离子体的电参数(电阻、电感),可为PPT放电特性研究以及性能优化提供参考依据。文中采用电流分段拟合法计算电参数,与前人采用的特征值法相比,该方法充分利用了实验数据,并能计算得到电参数在放电过程中的变化。经计算对比验证可知,采用电流分段拟合法得到的等离子体电参数更为准确。计算结果表明:随着放电的进行,等离子体电阻增大,等离子体电感减小,且初始电压主要影响放电末期的电阻变化;在等离子体能量分布上,变化的等离子体电参数主要影响放电前期的磁能和放电后期的沉积能量。 展开更多

关键词 脉冲等离子体推力器 等离子体电参数 特征值法 分段拟合法 能量分布

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辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断

20

作者 付亚波 张跃飞 +3 位作者 张广秋 高原 王建忠 隗晓云 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期114-117,共4页

利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电... 利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电压变化的原因。结果表明,该放电为典型的反常辉光等离子体放电,电子温度在1 eV^15 eV之间变化,且随工作气压和电压的的升高迅速增大,这与实际观测的放电效果相符合,实验结果表明,发射光谱法是测量离子渗金属中等离子体参数的一种有效手段。 展开更多

关键词 辉光放电 等离子体参数 发射光谱诊断

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