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基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究被引量：2: 1; 作者董茂进冯煜东 +6 位作者韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期99-103,共5页; 柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O;)为反应气体,... 展开更多; 关键词硅氧烷薄膜对电极辊等离子体增强化学气相沉积方法阻隔膜透水率; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米结构ZrO_2(Y)和ZrO_2(Y)-Al_2O_3粉体低温退火前后的结构和性质被引量：1: 2; 作者 KulkovS 袁华军 +2 位作者韩炜 MelinikovA 邹广田《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期61-64,共4页; 研究等离子体 -化学方法制备的纳米结构 Zr O2 -Y2 O3 和 Zr O2 -Y2 O3-Al2 O3 粉体及其不同温度退火前后的结构、性质变化 .结果表明 ,用这种方法制备的粉体 ,烧结后具有很好的聚合性能 ,聚合结构可达到 1～ 2 μm,且内部晶粒尺寸很小 ... 展开更多; 关键词纳米结构退火超细陶瓷微粉等离子体化学方法结构性质氧化锈氧化钇氧化铝; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性被引量：2: 3; 作者李凯金晓 +2 位作者甘孔银王汉斌胡和平《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1744-1748,共5页; 简要介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程,并对制备的薄膜进行了表面分析。在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置,得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数,取得了... 展开更多; 关键词高平均功率自由电子激光纳米金刚石膜微波等离子体化学气相沉积方法二次电子发射特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

PECVD布气装置气流场的模拟分析被引量：2: 4; 作者金捷朱红萍王成刚《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2012年第12期93-96,123,共5页; 采用Fluent、Templot等相关软件对PECVD布气装置气流的流动过程进行模拟,并进行可视化分析;得出气流入口采用直口开孔方式,同时,气流入口到布气板距离L=4.5mm时布气最均匀,这为均匀布气装置的研制提供了依据。; 关键词等离子体增强化学气相沉积方法布气装置气流场分布模拟分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

RF-PECVD掺溴非晶碳氢膜的Raman光谱分析: 5; 作者冯建鸿卢铁城 +1 位作者吴卫东贾鹏《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3309-3311,共3页; 在室温条件下,以溴乙烷为单体、氢气为载气,用13.56MHz射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)在硅片衬底上生长了掺溴非晶碳氢薄膜(a-C∶Br∶H)。通过对其进行Raman光谱分析,研究了工作气压对薄膜结构的影响。结果显示:随着气体工作... 展开更多; 关键词拉曼光谱射频等离子体化学气相淀积方法掺溴非晶碳氢薄膜 SP2; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究被引量：2: 1; 作者董茂进冯煜东韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期99-103,共5页; 文摘柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O;)为反应气体,制备了柔性硅氧烷(SiOxCyHz)薄膜。研究了膜厚,氧气/单体比例、压力等参数对透水率(WVTR)的影响规律、测试了膜层的组分、透射光谱、应力等特性。研究结果表明,透水率随硅氧烷薄膜厚度增大而减小,随氧气/单体比例增大而减小,随压力减小而增大。500 nm厚的硅氧烷薄膜透水率低于5×10;g/(m;·day),可见光谱段(380-760 nm)透光率达到88.6%,表面粗糙度为1.8 nm,薄膜应力随薄膜厚度增加显著增大。; 关键词硅氧烷薄膜对电极辊等离子体增强化学气相沉积方法阻隔膜透水率; Keywords SiOxCyHz Counter-electrode roller Plasma-enhanced chemical vapor deposition Barrier film Water permeability; 分类号 TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理] TB484.5 [一般工业技术—包装工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米结构ZrO_2(Y)和ZrO_2(Y)-Al_2O_3粉体低温退火前后的结构和性质被引量：1: 2; 作者 KulkovS 袁华军韩炜 MelinikovA 邹广田; 机构吉林大学超硬材料国家重点实验室俄罗斯科学院西伯利亚分院强度物理与材料研究所俄罗斯科学院西伯利亚分院强度物理与材料研究所; 出处《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期61-64,共4页; 文摘研究等离子体 -化学方法制备的纳米结构 Zr O2 -Y2 O3 和 Zr O2 -Y2 O3-Al2 O3 粉体及其不同温度退火前后的结构、性质变化 .结果表明 ,用这种方法制备的粉体 ,烧结后具有很好的聚合性能 ,聚合结构可达到 1～ 2 μm,且内部晶粒尺寸很小 (2 5～ 35 nm) ;在 12 0 0℃以下退火 ,X射线衍射图谱上没有 Al2 O3 的衍射峰 ;对于两种体系 ,主相 Zr O2 的结构虽大致相同 ,但当低温退火 (<12 0 0℃ )时其在 Zr O2 -Y2 O3 体系中的晶格畸变比在 Zr O2 -Y2 O3-Al2 O3 系统中的变化更大 ;晶粒尺寸 (D)为 10～ 15; 关键词纳米结构退火超细陶瓷微粉等离子体化学方法结构性质氧化锈氧化钇氧化铝; Keywords ZrO 2 Y 2O 3 ZrO 2 Y 2O 3 Al 2O 3 nano structure annealing; 分类号 TB383.03 [一般工业技术—材料科学与工程] TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性被引量：2: 3; 作者李凯金晓甘孔银王汉斌胡和平; 机构中国工程物理研究院应用电子学研究所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1744-1748,共5页; 文摘简要介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程,并对制备的薄膜进行了表面分析。在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置,得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数,取得了二次发射系数为15的满意结果,表明纳米金刚石薄膜作为二次电子发射材料具有很好的应用前景。; 关键词高平均功率自由电子激光纳米金刚石膜微波等离子体化学气相沉积方法二次电子发射特性; Keywords High average power FEL Nano-diamond films MPCVD Secondary electron emission coefficient; 分类号 O46 [理学—电子物理学] O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PECVD布气装置气流场的模拟分析被引量：2: 4; 作者金捷朱红萍王成刚; 机构沙洲职业工学院上海大学机电工程及自动化学院; 出处《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2012年第12期93-96,123,共5页; 基金上海汇盛电子机械设备有限公司技术开发基金项目(D11-0109-08-010); 文摘采用Fluent、Templot等相关软件对PECVD布气装置气流的流动过程进行模拟,并进行可视化分析;得出气流入口采用直口开孔方式,同时,气流入口到布气板距离L=4.5mm时布气最均匀,这为均匀布气装置的研制提供了依据。; 关键词等离子体增强化学气相沉积方法布气装置气流场分布模拟分析; Keywords PECVD gas distributor distribution of airflow field simulation analysis; 分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名RF-PECVD掺溴非晶碳氢膜的Raman光谱分析: 5; 作者冯建鸿卢铁城吴卫东贾鹏; 机构四川大学物理系中国工程物理研究院激光聚变研究中心中国科学院国际材料物理中心; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3309-3311,共3页; 基金国家高技术发展计划项目资助; 文摘在室温条件下,以溴乙烷为单体、氢气为载气,用13.56MHz射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)在硅片衬底上生长了掺溴非晶碳氢薄膜(a-C∶Br∶H)。通过对其进行Raman光谱分析,研究了工作气压对薄膜结构的影响。结果显示:随着气体工作压力从20Pa下降至5Pa,样品D峰强度增强,ID/IG值逐步由1.18增加至1.36,G峰的位置向高频轻微移动;与此同时,薄膜生长方式逐步转为低能态形式生长,薄膜中sp2C逐步由链式结构向环式结构转化。; 关键词拉曼光谱射频等离子体化学气相淀积方法掺溴非晶碳氢薄膜 SP2; Keywords Raman spectroscopy RF-PECVD a-C∶Br∶H sp2; 分类号 O657.3 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究	董茂进冯煜东韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	纳米结构ZrO_2(Y)和ZrO_2(Y)-Al_2O_3粉体低温退火前后的结构和性质	KulkovS 袁华军韩炜 MelinikovA 邹广田	《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 北大核心	2001	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性	李凯金晓甘孔银王汉斌胡和平	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	PECVD布气装置气流场的模拟分析	金捷朱红萍王成刚	《现代制造工程》 CSCD 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	RF-PECVD掺溴非晶碳氢膜的Raman光谱分析	冯建鸿卢铁城吴卫东贾鹏	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料