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PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
1
作者
金哲山
霍建宾
+2 位作者
董杰
刘晓婷
胡毓龙
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期1039-1042,共4页
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监...
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。
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关键词
真空腔室
等离子体
增强型化学气相沉积
漏气
光谱
检测
等离子体光谱分析仪
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职称材料
题名
PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
1
作者
金哲山
霍建宾
董杰
刘晓婷
胡毓龙
机构
北京京东方显示技术有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期1039-1042,共4页
文摘
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。
关键词
真空腔室
等离子体
增强型化学气相沉积
漏气
光谱
检测
等离子体光谱分析仪
Keywords
Vacuum Chamber
PECVD
Leak
Spectrum detection
RTPSA
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
金哲山
霍建宾
董杰
刘晓婷
胡毓龙
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
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