期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
等离子浸没离子注入法合成氧化钛/氮化钛梯度薄膜与控制研究
被引量：
1
1
作者
文峰
戴虹
+1 位作者
黄楠
孙鸿
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2002年第12期34-38,共5页
使用等离子浸没离子注入和反应沉积 (Plasmaimmersionionimplantationandre actiondeposition ,PIIID)的方法合成了氧化钛 /氮化钛梯度薄膜。研究开发了一套由可编程逻辑控制器 (ProgrammableLogicalControl,PLC)、D/A和质量流量控制器 ...
使用等离子浸没离子注入和反应沉积 (Plasmaimmersionionimplantationandre actiondeposition ,PIIID)的方法合成了氧化钛 /氮化钛梯度薄膜。研究开发了一套由可编程逻辑控制器 (ProgrammableLogicalControl,PLC)、D/A和质量流量控制器 (MassFlowControl,MFC)组成的智能控制系统 ,控制金属源阴极的推进和气体成分的改变。现场使用表明 ,整个控制系统稳定、可靠 ,具有较强的抗干扰能力 ,能够灵活方便地设置相应的技术参数。通过显微硬度计测试 ,针盘式摩擦磨损试验和结合力测试 ,分析了控制合成的薄膜的机械性能。采用X射线衍射、扫描电镜和SIMS ,分析与评价了薄膜的特性。结果表明 ,控制合成的Ti O/Ti N梯度薄膜具有良好的机械性能。
展开更多
关键词
等离子体侵没离子注入
可编程控制器
质量流量控制器
氮化钛
氧化钛梯度薄膜
合成
控制
半导体技术
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
等离子浸没离子注入法合成氧化钛/氮化钛梯度薄膜与控制研究
被引量：
1
1
作者
文峰
戴虹
黄楠
孙鸿
机构
西南交通大学材料科学与工程学院生物材料与表面工程研究所
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2002年第12期34-38,共5页
基金
973规划 (G19990 6 470 6 )
86 3计划 ( 10 2-12 - 0 9- 1)
国家自然科学基金 ( 39870 199)资助项目。
文摘
使用等离子浸没离子注入和反应沉积 (Plasmaimmersionionimplantationandre actiondeposition ,PIIID)的方法合成了氧化钛 /氮化钛梯度薄膜。研究开发了一套由可编程逻辑控制器 (ProgrammableLogicalControl,PLC)、D/A和质量流量控制器 (MassFlowControl,MFC)组成的智能控制系统 ,控制金属源阴极的推进和气体成分的改变。现场使用表明 ,整个控制系统稳定、可靠 ,具有较强的抗干扰能力 ,能够灵活方便地设置相应的技术参数。通过显微硬度计测试 ,针盘式摩擦磨损试验和结合力测试 ,分析了控制合成的薄膜的机械性能。采用X射线衍射、扫描电镜和SIMS ,分析与评价了薄膜的特性。结果表明 ,控制合成的Ti O/Ti N梯度薄膜具有良好的机械性能。
关键词
等离子体侵没离子注入
可编程控制器
质量流量控制器
氮化钛
氧化钛梯度薄膜
合成
控制
半导体技术
Keywords
Plasma immersion ion implantation, Programmable logical control, Mass flow control, Ti-O/Ti-N gradient film
分类号
TG156.8 [金属学及工艺—热处理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子浸没离子注入法合成氧化钛/氮化钛梯度薄膜与控制研究
文峰
戴虹
黄楠
孙鸿
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2002
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
