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集成电路技术发展的物理极限挑战与对策
被引量：
1
1
作者
邝小飞
金湘亮
《半导体情报》
2001年第5期17-21,共5页
介绍了集成电路芯片发展的基本规律和现状 ,着重综述了这些规律在微电子学领域所遇到的物理极限挑战及解决这些问题的最新技术 ,并预测了 2
关键词
集成电路
摩尔定律
等比例缩小规律
集成系统
量子器件
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职称材料
题名
集成电路技术发展的物理极限挑战与对策
被引量：
1
1
作者
邝小飞
金湘亮
机构
零陵师专物理系
中国科学院微电子中心
出处
《半导体情报》
2001年第5期17-21,共5页
文摘
介绍了集成电路芯片发展的基本规律和现状 ,着重综述了这些规律在微电子学领域所遇到的物理极限挑战及解决这些问题的最新技术 ,并预测了 2
关键词
集成电路
摩尔定律
等比例缩小规律
集成系统
量子器件
Keywords
integrated circuit(IC)
moore's law
scaling down law
integrated system(IS)
SOI
quantum device
分类号
TN401 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
集成电路技术发展的物理极限挑战与对策
邝小飞
金湘亮
《半导体情报》
2001
1
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