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石英MEMS陀螺检测模块的测试方法研究
1
作者
朱振忠
王清亮
+3 位作者
李世国
张锐
苏永川
蒋昭兴
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第5期692-694,698,共4页
提出了一种石英微机械(MEMS)陀螺检测模块的测试方法和测试系统方案。该方法仅将检测模块的输入/输出端口接入测试系统,无需其他位置的信号注入和引出,即可实现增益、相位、频带、阻尼等电路特性的测试和标定,适用于生产过程对检测模块...
提出了一种石英微机械(MEMS)陀螺检测模块的测试方法和测试系统方案。该方法仅将检测模块的输入/输出端口接入测试系统,无需其他位置的信号注入和引出,即可实现增益、相位、频带、阻尼等电路特性的测试和标定,适用于生产过程对检测模块的快速测试及研制过程对检测模块的性能分析。
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关键词
石英微机械(MEMS)陀螺
检测模块
锁定放大器
等效输入信号
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职称材料
题名
石英MEMS陀螺检测模块的测试方法研究
1
作者
朱振忠
王清亮
李世国
张锐
苏永川
蒋昭兴
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第5期692-694,698,共4页
文摘
提出了一种石英微机械(MEMS)陀螺检测模块的测试方法和测试系统方案。该方法仅将检测模块的输入/输出端口接入测试系统,无需其他位置的信号注入和引出,即可实现增益、相位、频带、阻尼等电路特性的测试和标定,适用于生产过程对检测模块的快速测试及研制过程对检测模块的性能分析。
关键词
石英微机械(MEMS)陀螺
检测模块
锁定放大器
等效输入信号
Keywords
quartz MEMS gyroscope
detection module
lock-in amplifier
equivalent input signal
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
V241 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名
作者
出处
发文年
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1
石英MEMS陀螺检测模块的测试方法研究
朱振忠
王清亮
李世国
张锐
苏永川
蒋昭兴
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012
0
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