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题名系统级模拟的MEMS器件宏模型
被引量：6
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作者
戎华
黄庆安
李伟华
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机构
东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期366-371,共6页
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文摘
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。
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关键词
MEMS器件
系统级模拟
等效电路宏模型
硬件描述语言宏模型
微机电系统
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Keywords
System level simulation,Equivalent circuit macromodels,HDL macromodels
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分类号
TH－39
[机械工程]
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
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作者
李蓓佳
李伟华
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期607-610,共4页
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基金
国家863项目支持(2006AA04Z302)
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文摘
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。
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关键词
MEMS设计
系统级模拟
薄膜
受力分析
等效电路宏模型
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Keywords
MEMS design
system-level simulatiom thin membrane
force analysis
equivalent circuit macromodel
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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