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密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
被引量：
6
1
作者
薛大同
肖祥正
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期721-729,共9页
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状...
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。
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关键词
氦质谱检
漏
仪
检
漏
密封器件
等效
标准
漏
率
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职称材料
基于二氧化碳传感器的气密性检测方法
2
作者
赵亚林
王学影
郭斌
《中国测试》
CAS
北大核心
2015年第10期30-33 62,62,共5页
针对当前工业上泄漏检测方法存在检测精度低、成本高等缺点,设计一种微量泄漏检测方法。该方法利用二氧化碳气体作为示踪物质,充满纯二氧化碳气体的被测件通过标准漏孔产生泄漏,气体进入检测容器中,通过二氧化碳气敏传感器测量检测容器...
针对当前工业上泄漏检测方法存在检测精度低、成本高等缺点,设计一种微量泄漏检测方法。该方法利用二氧化碳气体作为示踪物质,充满纯二氧化碳气体的被测件通过标准漏孔产生泄漏,气体进入检测容器中,通过二氧化碳气敏传感器测量检测容器内二氧化碳浓度的变化得到微量气体泄漏的泄漏率。与工业生产中传统的气密性检测方法相比,该方法在提高准确度的同时保证测试的准确性,并且能降低成本。试验结果表明:该检测方法测试的准确性不受温度和湿度变化的影响;在不同压力测试条件下,实测值与标准漏孔参考值误差<3%,验证方法的准确性;在相同压力测试条件下,测试结果相对标准偏差<5%,实验重复性良好。
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关键词
微量气体泄
漏
二氧化碳气体
浓度差
标准
漏
孔
等效漏率
测量准确度
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职称材料
题名
密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
被引量：
6
1
作者
薛大同
肖祥正
机构
兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期721-729,共9页
文摘
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。
关键词
氦质谱检
漏
仪
检
漏
密封器件
等效
标准
漏
率
Keywords
Helium mass spectrometer leak detector
Leak testing
Hermetically-sealed device
Equivalent standard leakage rate
分类号
TB774.3 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
基于二氧化碳传感器的气密性检测方法
2
作者
赵亚林
王学影
郭斌
机构
中国计量学院计测学院
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2015年第10期30-33 62,62,共5页
基金
浙江省公益性技术应用研究计划(2014C31105)
文摘
针对当前工业上泄漏检测方法存在检测精度低、成本高等缺点,设计一种微量泄漏检测方法。该方法利用二氧化碳气体作为示踪物质,充满纯二氧化碳气体的被测件通过标准漏孔产生泄漏,气体进入检测容器中,通过二氧化碳气敏传感器测量检测容器内二氧化碳浓度的变化得到微量气体泄漏的泄漏率。与工业生产中传统的气密性检测方法相比,该方法在提高准确度的同时保证测试的准确性,并且能降低成本。试验结果表明:该检测方法测试的准确性不受温度和湿度变化的影响;在不同压力测试条件下,实测值与标准漏孔参考值误差<3%,验证方法的准确性;在相同压力测试条件下,测试结果相对标准偏差<5%,实验重复性良好。
关键词
微量气体泄
漏
二氧化碳气体
浓度差
标准
漏
孔
等效漏率
测量准确度
Keywords
trace gas leak
CO2
concentration difference
standard leak
equivalent leak rate
detection accuracy
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
薛大同
肖祥正
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于二氧化碳传感器的气密性检测方法
赵亚林
王学影
郭斌
《中国测试》
CAS
北大核心
2015
0
在线阅读
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职称材料
已选择
0
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参考文献
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