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有效减小大细长比微结构电铸层残余应力的兆声辅助微电铸方法
1
作者
杜立群
蔡小可
+2 位作者
郭柄江
王帅
聂伟荣
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期138-146,共9页
在利用微电铸工艺制作微机电系统(MEMS)开关的过程中,针对离心保险锁结构因电铸层残余应力大而出现翘曲、扭转等变形问题,采用兆声辅助微电铸方法减小电铸层残余应力。为探究兆声波对电铸层残余应力的影响,基于等效参考温度(ERT)法,建...
在利用微电铸工艺制作微机电系统(MEMS)开关的过程中,针对离心保险锁结构因电铸层残余应力大而出现翘曲、扭转等变形问题,采用兆声辅助微电铸方法减小电铸层残余应力。为探究兆声波对电铸层残余应力的影响,基于等效参考温度(ERT)法,建立兆声作用下离心保险锁微结构电铸层残余应力的仿真模型以优选兆声辅助微电铸的工艺参数——兆声功率密度。仿真结果表明,随着兆声功率密度的增大,离心保险锁的残余应力呈现先减小后增大的趋势,当兆声功率密度为2.54 W/cm^(2)时,离心保险锁的最大残余应力为52.58 MPa,相较于无兆声作用时减小了85.4%。在数值模拟的基础上进行微电铸实验验证研究。实验结果表明:兆声功率密度为2.54 W/cm^(2)时,大细长比微结构的变形量减小了88.6%,实验结果与仿真结果一致。在上述仿真结果和实验研究的基础上,制作出了高800μm、细长比高达1∶70的离心保险锁结构,并完成MEMS开关的制作与装配。
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关键词
兆声
微电铸
残余应力
大细长比微结构
等效
参考
温度
(ERT)
法
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职称材料
南京青奥景观桥斜拉索应力松弛行为对结构的影响分析
被引量：
6
2
作者
田雨金
高飞
王通
《世界桥梁》
北大核心
2015年第5期53-57,共5页
针对工程实践中出现的斜拉索应力松弛现象,结合主跨240m的双塔双索面斜拉桥——南京青奥景观桥工程实例,分析斜拉索应力松弛行为对结构的影响。采用MIDAS软件建立南京青奥景观桥整体模型,分别用影响矩阵法和等效温度法模拟分析斜拉索应...
针对工程实践中出现的斜拉索应力松弛现象,结合主跨240m的双塔双索面斜拉桥——南京青奥景观桥工程实例,分析斜拉索应力松弛行为对结构的影响。采用MIDAS软件建立南京青奥景观桥整体模型,分别用影响矩阵法和等效温度法模拟分析斜拉索应力松弛行为,并比较二者的差异;最后采用等效温度法计算南京青奥桥斜拉索松弛对结构的影响。结果表明:斜拉索的松弛行为可采用影响矩阵法和等效温度法进行模拟,2种方法均有足够的模拟精度,等效温度法更为直接方便;斜拉索松弛对桥塔内力和位移以及主梁轴力影响较小,对主梁局部区域弯矩和位移影响相对较大。
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关键词
斜拉桥
斜拉索
应力松弛
影响矩阵
法
等效温度法
内力重分配
松弛率
有限元
法
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职称材料
偶氮掺杂液晶中热致光学非线性的测量
被引量：
3
3
作者
周鹏程
李燕
+7 位作者
陈超平
李潇
刘澍鑫
袁亚超
荣娜
黄帅佳
王科宇
苏翼凯
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期131-137,共7页
偶氮掺杂液晶具有非常强的三阶光学非线性,其非线性机理包括光致热效应等多种物理机理。为了测量偶氮掺杂液晶三阶光学非线性,本文采用非线性干涉法,定量测量了波长632.8nm下,光强变化所引起的折射率改变。为了测量得到热效应对掺杂液...
偶氮掺杂液晶具有非常强的三阶光学非线性,其非线性机理包括光致热效应等多种物理机理。为了测量偶氮掺杂液晶三阶光学非线性,本文采用非线性干涉法,定量测量了波长632.8nm下,光强变化所引起的折射率改变。为了测量得到热效应对掺杂液晶非线性的贡献,我们提出了温度等效法,通过在暗室中加热掺杂液晶样品产生与光照时相同的温度变化,模拟出等效的热效应,从而将热效应从多种非线性机理中单独区分出来;通过测量此时的折射率改变,以及对应的温度和光强变化,得到了热效应导致的光学非线性。为了提高非线性干涉方法的灵敏度和消除环境震动带来的误差,本文采用了双路干涉的方法,使得测量精确性大为提高。测量结果表明:在波长632.8nm下,掺杂液晶三阶非线性系数n_2为0.268cm^2/W,其中热效应的贡献为0.091cm^2/W。
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关键词
三阶非线性效应
偶氮掺杂液晶
热效应
温度
等效
法
双路干涉
法
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职称材料
题名
有效减小大细长比微结构电铸层残余应力的兆声辅助微电铸方法
1
作者
杜立群
蔡小可
郭柄江
王帅
聂伟荣
机构
大连理工大学机械工程学院高性能精密制造全国重点实验室
大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
南京理工大学机械工程学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期138-146,共9页
基金
国家自然科学基金(52375561)。
文摘
在利用微电铸工艺制作微机电系统(MEMS)开关的过程中,针对离心保险锁结构因电铸层残余应力大而出现翘曲、扭转等变形问题,采用兆声辅助微电铸方法减小电铸层残余应力。为探究兆声波对电铸层残余应力的影响,基于等效参考温度(ERT)法,建立兆声作用下离心保险锁微结构电铸层残余应力的仿真模型以优选兆声辅助微电铸的工艺参数——兆声功率密度。仿真结果表明,随着兆声功率密度的增大,离心保险锁的残余应力呈现先减小后增大的趋势,当兆声功率密度为2.54 W/cm^(2)时,离心保险锁的最大残余应力为52.58 MPa,相较于无兆声作用时减小了85.4%。在数值模拟的基础上进行微电铸实验验证研究。实验结果表明:兆声功率密度为2.54 W/cm^(2)时,大细长比微结构的变形量减小了88.6%,实验结果与仿真结果一致。在上述仿真结果和实验研究的基础上,制作出了高800μm、细长比高达1∶70的离心保险锁结构,并完成MEMS开关的制作与装配。
关键词
兆声
微电铸
残余应力
大细长比微结构
等效
参考
温度
(ERT)
法
Keywords
megasonic
microelectroforming
residual stress
large slender ratio microstructure
equivalent reference temperature(ERT)method
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
南京青奥景观桥斜拉索应力松弛行为对结构的影响分析
被引量：
6
2
作者
田雨金
高飞
王通
机构
中交第二航务工程局第四工程有限公司
出处
《世界桥梁》
北大核心
2015年第5期53-57,共5页
文摘
针对工程实践中出现的斜拉索应力松弛现象,结合主跨240m的双塔双索面斜拉桥——南京青奥景观桥工程实例,分析斜拉索应力松弛行为对结构的影响。采用MIDAS软件建立南京青奥景观桥整体模型,分别用影响矩阵法和等效温度法模拟分析斜拉索应力松弛行为,并比较二者的差异;最后采用等效温度法计算南京青奥桥斜拉索松弛对结构的影响。结果表明:斜拉索的松弛行为可采用影响矩阵法和等效温度法进行模拟,2种方法均有足够的模拟精度,等效温度法更为直接方便;斜拉索松弛对桥塔内力和位移以及主梁轴力影响较小,对主梁局部区域弯矩和位移影响相对较大。
关键词
斜拉桥
斜拉索
应力松弛
影响矩阵
法
等效温度法
内力重分配
松弛率
有限元
法
Keywords
cable-stayed bridge
stay cable
relaxation of prestressing strand
influential matrix method
equivalent temperature method
internal force redistribution
relaxation rate
finite element method
分类号
U441 [建筑科学—桥梁与隧道工程]
U448.27 [建筑科学—桥梁与隧道工程]
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职称材料
题名
偶氮掺杂液晶中热致光学非线性的测量
被引量：
3
3
作者
周鹏程
李燕
陈超平
李潇
刘澍鑫
袁亚超
荣娜
黄帅佳
王科宇
苏翼凯
机构
上海交通大学电子工程系
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期131-137,共7页
基金
973项目(No.2013CB328804)
国家自然科学基金(No.61307028
+2 种基金
No.61405114)
上海市科委基金项目(No.13ZR1420000
No.14ZR1422300)~~
文摘
偶氮掺杂液晶具有非常强的三阶光学非线性,其非线性机理包括光致热效应等多种物理机理。为了测量偶氮掺杂液晶三阶光学非线性,本文采用非线性干涉法,定量测量了波长632.8nm下,光强变化所引起的折射率改变。为了测量得到热效应对掺杂液晶非线性的贡献,我们提出了温度等效法,通过在暗室中加热掺杂液晶样品产生与光照时相同的温度变化,模拟出等效的热效应,从而将热效应从多种非线性机理中单独区分出来;通过测量此时的折射率改变,以及对应的温度和光强变化,得到了热效应导致的光学非线性。为了提高非线性干涉方法的灵敏度和消除环境震动带来的误差,本文采用了双路干涉的方法,使得测量精确性大为提高。测量结果表明:在波长632.8nm下,掺杂液晶三阶非线性系数n_2为0.268cm^2/W,其中热效应的贡献为0.091cm^2/W。
关键词
三阶非线性效应
偶氮掺杂液晶
热效应
温度
等效
法
双路干涉
法
Keywords
third-order optical nonlinearity
azo-dye-doped liquid crystal
thermal effect
temperature equivalent method
double-beam interferometry
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
有效减小大细长比微结构电铸层残余应力的兆声辅助微电铸方法
杜立群
蔡小可
郭柄江
王帅
聂伟荣
《微纳电子技术》
CAS
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
南京青奥景观桥斜拉索应力松弛行为对结构的影响分析
田雨金
高飞
王通
《世界桥梁》
北大核心
2015
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
偶氮掺杂液晶中热致光学非线性的测量
周鹏程
李燕
陈超平
李潇
刘澍鑫
袁亚超
荣娜
黄帅佳
王科宇
苏翼凯
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
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