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第三代半导体器件用高可靠性环氧塑封料的制备 被引量:2
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作者 王殿年 李泽亮 +1 位作者 郭本东 段嘉伟 《电子与封装》 2022年第11期6-12,共7页
第三代半导体器件以其在高温、高压、高频条件下稳定运行的特点深受市场青睐。环氧塑封料(EMC)对器件的可靠性起着至关重要的作用。通过多种类型树脂的调配和不同离子捕捉剂的添加,优化制配出了1种高性能的环氧塑封料,该环氧塑封料的玻... 第三代半导体器件以其在高温、高压、高频条件下稳定运行的特点深受市场青睐。环氧塑封料(EMC)对器件的可靠性起着至关重要的作用。通过多种类型树脂的调配和不同离子捕捉剂的添加,优化制配出了1种高性能的环氧塑封料,该环氧塑封料的玻璃化转变温度(T_(g))高达190℃,对金属银的密着力高达73.5 N/cm^(2),其阻燃级别达到了UL94 V-0级。通过模拟封装验证了环氧塑封料的可靠性,结果表明,实验室模拟的封装样品能达到吸湿敏感度等级一级(MSL1)。该样品经过封装厂的多方面验证,在1700 V的Si C半导体场效应晶体管(MOSFET)上表现出良好的可靠性,通过了电性能可靠性、环境可靠性、使用可靠性等一系列可靠性考核。这款高可靠性环氧塑封料有望应用于耐高温、耐高压的第三代半导体器件上。 展开更多
关键词 第三代半导体器件 环氧塑封料 高可靠性
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车规级功率器件的封装关键技术及封装可靠性研究进展 被引量:4
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作者 武晓彤 邓二平 +3 位作者 吴立信 刘鹏 杨少华 丁立健 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期689-701,共13页
半导体技术的进步推动了车规级功率器件封装技术的不断发展和完善,然而车规级功率器件应用工况十分复杂,面临高度多样化的热循环挑战,对其可靠性提出了更高的要求。因此,在设计、制造和验证阶段都必须执行更为严格的高功能安全标准。综... 半导体技术的进步推动了车规级功率器件封装技术的不断发展和完善,然而车规级功率器件应用工况十分复杂,面临高度多样化的热循环挑战,对其可靠性提出了更高的要求。因此,在设计、制造和验证阶段都必须执行更为严格的高功能安全标准。综述了车规级功率器件的封装关键技术和封装可靠性研究进展,通过系统地归纳适应市场发展需求的车规级功率器件封装结构,总结了封装设计关键技术和先进手段,同时概述了封装可靠性研究面临的挑战。深入探讨了车规级功率器件封装设计和封装可靠性的重要问题,在此基础上,借鉴总结已有的研究成果,提出了可行的解决方案。 展开更多
关键词 车规级功率器件 封装关键技术 封装结构 封装可靠性 第三代半导体器件
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