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静电微泵的端点特性研究
被引量：
2
1
作者
应济
陈坚美
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期628-631,636,共5页
针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题,建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型.使用端点特性建模技术,由拉格朗日方程得出微泵的运动方程,并给出了静电微泵的端点特性模型和流量表达式;利用能量耦合法和ANSY...
针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题,建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型.使用端点特性建模技术,由拉格朗日方程得出微泵的运动方程,并给出了静电微泵的端点特性模型和流量表达式;利用能量耦合法和ANSYS分析软件,由宏模型的动态响应方程仿真静电微泵腔的端点特性量关系式.对静电微泵进行动态特性仿真研究,分析结果表明只需泵膜半径、泵膜厚度、静电间隙等参数就能分析微泵腔的动态响应,减少了计算过程的复杂性.
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关键词
静电微泵
端点特性
流量表达式
动态
特性
仿真
动态响应
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职称材料
复杂微系统的端点特性建模理论
2
作者
林谢昭
应济
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第S1期284-287,共4页
复杂微系统的模拟要求建立统一的、适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型。以热力学概念作为通用理论框架,建立多畴耦合微系统通用模型的一般性理论。利用热力学共轭参量"流"和"势"统一表达从属于不同物理域子...
复杂微系统的模拟要求建立统一的、适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型。以热力学概念作为通用理论框架,建立多畴耦合微系统通用模型的一般性理论。利用热力学共轭参量"流"和"势"统一表达从属于不同物理域子系统的端点特性,可建立各个子系统多端口组件模型。结合广义的Kirchhoffian网络理论,建立适合于电网络仿真器计算的MEMS系统级模型。便于对MEMS系统进行反复模拟和优化设计。以静电微泵为例,阐述了这一建模方法的有效性。
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关键词
端点特性
系统级模拟
Kirchhoffian网络理论
多物理场耦合
MEMS
CAD
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职称材料
题名
静电微泵的端点特性研究
被引量：
2
1
作者
应济
陈坚美
机构
浙江大学机械工程学系
出处
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期628-631,636,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50105020).
文摘
针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题,建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型.使用端点特性建模技术,由拉格朗日方程得出微泵的运动方程,并给出了静电微泵的端点特性模型和流量表达式;利用能量耦合法和ANSYS分析软件,由宏模型的动态响应方程仿真静电微泵腔的端点特性量关系式.对静电微泵进行动态特性仿真研究,分析结果表明只需泵膜半径、泵膜厚度、静电间隙等参数就能分析微泵腔的动态响应,减少了计算过程的复杂性.
关键词
静电微泵
端点特性
流量表达式
动态
特性
仿真
动态响应
Keywords
Computer simulation
Dynamic response
Electrostatic actuators
Equations of motion
Finite element method
Liquid membranes
Pump linings
分类号
TH3 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
复杂微系统的端点特性建模理论
2
作者
林谢昭
应济
机构
福州大学机械工程及自动化学院
浙江大学机械与能源工程学院
出处
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第S1期284-287,共4页
基金
国家自然科学基金(50475104)
浙江省自然科学基金重点项目(Z106519)
福建省教育厅项目(JB07007)
文摘
复杂微系统的模拟要求建立统一的、适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型。以热力学概念作为通用理论框架,建立多畴耦合微系统通用模型的一般性理论。利用热力学共轭参量"流"和"势"统一表达从属于不同物理域子系统的端点特性,可建立各个子系统多端口组件模型。结合广义的Kirchhoffian网络理论,建立适合于电网络仿真器计算的MEMS系统级模型。便于对MEMS系统进行反复模拟和优化设计。以静电微泵为例,阐述了这一建模方法的有效性。
关键词
端点特性
系统级模拟
Kirchhoffian网络理论
多物理场耦合
MEMS
CAD
Keywords
terminal behaviors
system-level simulations
kirchhoffian networks
multi-physical coupling
MEMS CAD
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
静电微泵的端点特性研究
应济
陈坚美
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
在线阅读
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职称材料
2
复杂微系统的端点特性建模理论
林谢昭
应济
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
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