期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试
被引量：
3
1
作者
赵学森
高党忠
+4 位作者
马小军
孟婕
唐永建
张林
孙涛
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期1014-1018,共5页
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了...
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了气浮轴系系统误差数据,在实际测量时作为系统误差进行消除。综合测量实验证明,该系统的测量噪声峰谷极差约22nm,RMS为5.2nm。
展开更多
关键词
ICF靶丸
AFM
表面轮廓仪
立式轴系结构
测量精度
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试
被引量：
3
1
作者
赵学森
高党忠
马小军
孟婕
唐永建
张林
孙涛
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期1014-1018,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51005061)
教育部新教师博士点基金资助项目(20092302120006)
文摘
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了气浮轴系系统误差数据,在实际测量时作为系统误差进行消除。综合测量实验证明,该系统的测量噪声峰谷极差约22nm,RMS为5.2nm。
关键词
ICF靶丸
AFM
表面轮廓仪
立式轴系结构
测量精度
Keywords
ICF capsule
AFM
surface profiler
vertical spindle structure
measure precision
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试
赵学森
高党忠
马小军
孟婕
唐永建
张林
孙涛
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
