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题名基于立体相位测量偏折术的预应力薄镜面形检测
被引量：6
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作者
陈贞屹
赵文川
张启灿
汉语
刘元坤
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机构
四川大学电子信息学院
中国科学院光电技术研究所
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期80-88,共9页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61675141,61505216)
中国科学院青年创新促进会资助。
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文摘
应力抛光技术通过在镜面上施加预定载荷,将包括自由曲面在内的非球面转化为球面进行加工,对加工镜面的形变进行精准检测是实现高精度应力抛光的关键。利用立体相位测量偏折术对预应力薄镜进行镜面面形和形变检测,获得被测镜表面的连续相位分布,结合表面法线唯一性与梯度分布积分,最终得到被测镜的高度分布和面形。模拟了系统误差成分,同时采用旋转平均法对系统误差进行标定去除,保证和提高了测量精度。对一块口径320 mm,球面半径5200 mm的预应力薄镜面形和变形量进行测量,静态测量结果与三坐标机测量结果对比,动态应变测量结果与有限元仿真结果对比,分别一致吻合,表明本文方法具备微米级的测量精度,相比于干涉仪和三坐标机更适用于大面形变化的预应力薄镜检测。
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关键词
光学面形检测
立体相位测量偏折术
系统误差
预应力抛光
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Keywords
optical testing
stereoscopic phase measuring deflectometry
systematic error
stressed mirror polishing
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
TH741
[机械工程—光学工程]
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