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题名空间静电加速度计研究之进展
被引量：3
- 1
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作者
李树德
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机构
中国地震局地震研究所
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出处
《大地测量与地球动力学》
CSCD
北大核心
2005年第2期88-93,共6页
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基金
"863"课题:中国地震科学卫星计划的预研与制定(2003AA134060)
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文摘
介绍了空间静电加速度计的发展过程和已经达到的精度。
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关键词
空间静电加速度计
卫星重力探测技术
卫星运动轨迹
地球重力场
工作原理
无阻尼补偿技术
噪声测量
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Keywords
electrostatic accelerometer,satellite,gravity observing,capacitive sensor,development
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分类号
P223
[天文地球—大地测量学与测量工程]
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题名硅微静电加速度计的支承刚度特性
被引量：1
- 2
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作者
韩丰田
吴秋平
孙搏谦
张汉蒸
马高印
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机构
清华大学精密仪器系
北京航天控制仪器研究所
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第1期100-103,124,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(41074049
61374207)
高等学校博士点学科专项科研基金项目(20130002110031)
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文摘
静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、平行六面体状检验质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,推导并讨论了静电支承回路的典型刚度特性与控制参数之间的关系式。采用基于DSP的数字控制器,实现了敏感质量的六自由度稳定支承,在大气环境下测试了静电支承回路的主要性能。分析与测试结果表明,在支承系统频带内,支承刚度特性与控制器参数及气膜阻尼系数密切相关;同时,改变预载电压可以在较大范围内在线调整加速度计的量程和支承刚度等指标。
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关键词
微机电系统
微机械加速度计
空间静电加速度计
静电支承
支承刚度
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Keywords
MEMS
micromachined accelerometer
space electrostatic accelerometer
electrostatic suspension
suspension stiffness
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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