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滚动导轨系统空间误差检测的正交光栅补偿 被引量:1
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作者 朱爽 王琳 +1 位作者 高强 彭胡 《激光杂志》 CAS 北大核心 2022年第9期193-197,共5页
为解决由于光栅信号随机性和不均匀性导致滚动导轨系统空间误差点补偿精度较低等问题,提出一种滚动导轨系统空间误差检测的正交光栅补偿方法。根据滚动导轨移动方向和自由度构建空间误差模型,为确保两路光栅信号严格正交,通过纵向矢量... 为解决由于光栅信号随机性和不均匀性导致滚动导轨系统空间误差点补偿精度较低等问题,提出一种滚动导轨系统空间误差检测的正交光栅补偿方法。根据滚动导轨移动方向和自由度构建空间误差模型,为确保两路光栅信号严格正交,通过纵向矢量调整补偿量,完成相位量的补偿。将神经网络技术与正交光栅误差空间误差补偿模型相结合,降低导轨噪声等干扰信号与光栅信号叠加的概率,实现滚动导轨系统空间误差误差检测的正交光栅补偿。实验结果表明:所提方法对滚动导轨系统空间误差点补偿精度始终高于90%,具有一定可行性。 展开更多
关键词 正交光栅补偿 移动方向 自由度 神经网络技术 空间误差检测
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