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薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析
被引量：
1
1
作者
王宇航
高杨
+1 位作者
韩宾
吕军光
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第7期67-72,共6页
实验证明薄膜体声波谐振器(FBAR)用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率偏移的原因。其中结构一FBAR为四层叠层结构(金属层-压电层...
实验证明薄膜体声波谐振器(FBAR)用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率偏移的原因。其中结构一FBAR为四层叠层结构(金属层-压电层-氧化层-金属层),伽马辐照之后,会在辐照敏感层(氧化层)形成一个电压,相当于给压电层施加了一个直流电压,从而使谐振频率发生偏移;结构二与结构一不同的是,结构二FBAR在氧化层和压电层之间有一半导体层,辐照之后在氧化层中形成的电压改变了半导体的表面势,使半导体空间电荷层电容发生改变,从而改变谐振频率。通过仿真得到两种不同机理的结果,并与相关文献的测试结果对比,发现频率偏移的趋势和频率偏移量的数量级是相同的,因此提出来的两种机理是可行的。
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关键词
薄膜体声波谐振器
伽马辐照
频率偏移
空间电荷层电容
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职称材料
题名
薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析
被引量：
1
1
作者
王宇航
高杨
韩宾
吕军光
机构
西南科技大学信息工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
中国科学院高能物理研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第7期67-72,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61574131)
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001)
+2 种基金
西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01)
西南科技大学研究生创新基金项目(16ycx102)
核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02)
文摘
实验证明薄膜体声波谐振器(FBAR)用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率偏移的原因。其中结构一FBAR为四层叠层结构(金属层-压电层-氧化层-金属层),伽马辐照之后,会在辐照敏感层(氧化层)形成一个电压,相当于给压电层施加了一个直流电压,从而使谐振频率发生偏移;结构二与结构一不同的是,结构二FBAR在氧化层和压电层之间有一半导体层,辐照之后在氧化层中形成的电压改变了半导体的表面势,使半导体空间电荷层电容发生改变,从而改变谐振频率。通过仿真得到两种不同机理的结果,并与相关文献的测试结果对比,发现频率偏移的趋势和频率偏移量的数量级是相同的,因此提出来的两种机理是可行的。
关键词
薄膜体声波谐振器
伽马辐照
频率偏移
空间电荷层电容
Keywords
film bulk acoustic resonators
gamma irradiation
frequency shift
space charge layer capacitance
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TL818.4 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析
王宇航
高杨
韩宾
吕军光
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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