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题名空间晶体生长炉综合控制方法
被引量：3
- 1
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作者
于强
俞号峰
刘威
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机构
中国科学院空间科学与应用研究中心
中国科学院研究生院
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出处
《空间科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期87-92,共6页
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文摘
空间晶体生长炉控制对象复杂,具有纯滞后、强耦合、非线性等不利于控制的特性.为实现炉温的精确控制,提出了一个空间晶体生长炉综合控制方法并通过软件来实现.将相关系数法和增广递推最小二乘法相结合,辨识系统模型,使用Hooke-Jeeves模式搜索法进行PID参数的自整定,采用PID加前馈控制的算法对系统进行仿真,使用同样的算法和控制参数对空间晶体生长炉进行实时控制,并在控制的过程中实时调整控制参数,以达到最佳的控制结果.实验结果表明,当三个温区的温度均达到700℃时,温度稳定度小于±0.3℃,满足系统设计要求.同时介绍了实现综合控制软件的基本原理、功能、特点及在实际中的应用.实际工程的应用结果表明,该软件可满足空间晶体生长炉对控制系统的要求.
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关键词
系统辨识
空间晶体生长炉
系统控制
系统仿真
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Keywords
System identification
Space crystal growth furnace
Real-time system control
Computeraided design and simulation
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分类号
O782
[理学—晶体学]
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题名多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制
被引量：1
- 2
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作者
于强
石春
吕旭涛
秦琳琳
岳大志
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机构
中国科学院空间科学与应用研究中心
中国科学技术大学自动化系
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出处
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1667-1670,1674,共5页
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文摘
多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。
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关键词
多温区空间晶体生长炉
解耦控制
积分滑模变结构控制
匹配条件
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Keywords
multi-zone furnace for space crystal growth
decoupling control
integral slide-mode variable structure control
match condition
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分类号
TP13
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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