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纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用
被引量：
9
1
作者
万军
贾向红
+1 位作者
宋铭炜
王守国
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第10期2299-2302,共4页
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之...
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为20 mm,针电极与平板零电位之间的距离为25mm,在每个负高压针电极末端周围同时形成圆锥形辉光放电,在平板地电极则形成大面积辉光放电。采用电压探针测量了该新型等离子体的放电特性,结果表明:放电脉冲的上升时间为26 ns,最高脉冲输出峰值电压为27 kV;利用该辉光等离子体对幅宽为1 000 mm聚四氟乙烯薄膜进行了表面改性处理,处理后其表面接触角由原来的124°降到69°,亲水性能大为提高。
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关键词
纳秒脉冲放电
半导体断路开关
空气辉光等离子体
表面处理
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职称材料
题名
纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用
被引量：
9
1
作者
万军
贾向红
宋铭炜
王守国
机构
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第10期2299-2302,共4页
基金
科技部02重大专项资助课题(2009ZX02037-008)
中国科学院微电子研究所所长基金项目
文摘
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为20 mm,针电极与平板零电位之间的距离为25mm,在每个负高压针电极末端周围同时形成圆锥形辉光放电,在平板地电极则形成大面积辉光放电。采用电压探针测量了该新型等离子体的放电特性,结果表明:放电脉冲的上升时间为26 ns,最高脉冲输出峰值电压为27 kV;利用该辉光等离子体对幅宽为1 000 mm聚四氟乙烯薄膜进行了表面改性处理,处理后其表面接触角由原来的124°降到69°,亲水性能大为提高。
关键词
纳秒脉冲放电
半导体断路开关
空气辉光等离子体
表面处理
Keywords
nanosecond pulsed discharge
semiconductor opening switch
atmospheric pressure glow air plasma
surface treatment
分类号
O646.9 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用
万军
贾向红
宋铭炜
王守国
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
9
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