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一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究
被引量：
3
1
作者
陈涛
廖旭东
+2 位作者
黄颖军
白国云
李波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期542-546,共5页
真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义。本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快...
真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义。本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快速获取,解决了在未知检漏系统体积与实际抽速的情况下,反应时间的获取问题。为进一步验证该方法的准确性,分别设计了不同体积的真空系统,开展了反应时间测量实验与研究,测得体积为6.19,11.61,19.88和40.78 L的真空系统反应时间分别为7.25,14.26,24.49,40.63 s,各线性相关系数均达到了0.99以上,数据重复性、线性度好,准确性高。研究表明,该方法可有效、快速、准确的获取反应时间,为检漏信号稳定时机的判断提供科学依据。
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关键词
氦质谱检漏
反应时间
稳定时机
最小二乘法
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职称材料
题名
一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究
被引量：
3
1
作者
陈涛
廖旭东
黄颖军
白国云
李波
机构
重庆大学机械传动国家重点实验室
西北核技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期542-546,共5页
文摘
真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义。本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快速获取,解决了在未知检漏系统体积与实际抽速的情况下,反应时间的获取问题。为进一步验证该方法的准确性,分别设计了不同体积的真空系统,开展了反应时间测量实验与研究,测得体积为6.19,11.61,19.88和40.78 L的真空系统反应时间分别为7.25,14.26,24.49,40.63 s,各线性相关系数均达到了0.99以上,数据重复性、线性度好,准确性高。研究表明,该方法可有效、快速、准确的获取反应时间,为检漏信号稳定时机的判断提供科学依据。
关键词
氦质谱检漏
反应时间
稳定时机
最小二乘法
Keywords
Helium mass detection
Response time
Steady opportunity
Least square method
分类号
TP31 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究
陈涛
廖旭东
黄颖军
白国云
李波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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