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溅射稳定态合金靶表面的化学成分
1
作者
张竹林
张秉楚
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2001年第2期27-29,共3页
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学...
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学成分 ,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。
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关键词
择优溅射
表面结合能
Andersen-Sigmund关系式
稳定态合金靶
化学成分
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职称材料
题名
溅射稳定态合金靶表面的化学成分
1
作者
张竹林
张秉楚
机构
安徽省淮南工业学院
出处
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2001年第2期27-29,共3页
基金
安徽省教育厅自然科学基金资助项目 !(2 0 0 0j12 0 8)
文摘
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学成分 ,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。
关键词
择优溅射
表面结合能
Andersen-Sigmund关系式
稳定态合金靶
化学成分
Keywords
surface binding energy
preferential sputtering
Andersen Sigmund relation
分类号
O571.33 [理学—粒子物理与原子核物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溅射稳定态合金靶表面的化学成分
张竹林
张秉楚
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2001
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