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局部高效的SEM下三维测量法
1
作者
易杰
麻绍君
+3 位作者
钟凯
李中伟
刘苗
曾鹏
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第11期133-135,共3页
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确...
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D-SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜(VHX-6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征。结果表明:所提方法有效可靠。
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关键词
微纳测量
视差
-深度映射
极线校准
稠密视差获取
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职称材料
题名
局部高效的SEM下三维测量法
1
作者
易杰
麻绍君
钟凯
李中伟
刘苗
曾鹏
机构
湖南工业职业技术学院
华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第11期133-135,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(51675208)
湖南省自然科学基金资助项目(2019JJ70077)
湖南省教育厅优秀青年项目(18B552)
文摘
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D-SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜(VHX-6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征。结果表明:所提方法有效可靠。
关键词
微纳测量
视差
-深度映射
极线校准
稠密视差获取
Keywords
micro-nano measurement
parallax-depth mapping
polar line calibration
dense parallax acquisition
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
局部高效的SEM下三维测量法
易杰
麻绍君
钟凯
李中伟
刘苗
曾鹏
《传感器与微系统》
CSCD
2019
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职称材料
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