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高超声速风洞稀薄流场转动温度和振动温度测量研究
1
作者
陈爱国
田颖
+4 位作者
王杰
杨彦广
李志辉
李中华
李震乾
《实验流体力学》
北大核心
2025年第2期46-53,共8页
稀薄流场中转动温度与振动温度的不一致是热力学非平衡的具体表现,可采用电子束荧光技术这一非接触测量手段对稀薄流场的转动温度和振动温度进行测量。本文介绍了电子束荧光技术用于测量稀薄流场转动温度与振动温度的基本原理和方法,给...
稀薄流场中转动温度与振动温度的不一致是热力学非平衡的具体表现,可采用电子束荧光技术这一非接触测量手段对稀薄流场的转动温度和振动温度进行测量。本文介绍了电子束荧光技术用于测量稀薄流场转动温度与振动温度的基本原理和方法,给出了在某风洞中开展的喷管出口稀薄流场转动温度、振动温度测量结果。重复性测量结果表明:转动温度最大相对不确定度为0.26%,振动温度最大相对不确定度为0.8%;Ma=12和16锥形喷管出口截面上的转动温度与振动温度分布特征体现了锥形喷管膨胀流动的特点,而各喷管在3个不同状态的测量结果表明:随着稀薄度增加,振动温度与转动温度的偏差会越大,热力学非平衡现象也越突出。
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关键词
电子束荧光
稀薄流场
转动温度
振动温度
低密度风洞
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职称材料
极紫外真空动态气体锁流场分析与研究
被引量：
5
2
作者
陈进新
王魁波
王宇
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期940-946,共7页
满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进...
满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进行不同清洁气体种类、不同清洁气体流量的稀薄气体流场仿真分析。计算和仿真结果表明,同等条件下动态气体锁抑制率随清洁气体流量的增加而增加,随清洁气体分子量的增加而增加;清洁气体种类由动态气体锁抑制率和EUV透过率共同决定,优选为氢气和氩气的混合气体;清洁气体总流量为6500 Pa·L/s时,能够抑制超过90%的污染气体,能够为EUV真空的应用提供良好的环境保障。
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关键词
极紫外光刻机
动态气体锁
稀薄
气体
流场
抑制率
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职称材料
题名
高超声速风洞稀薄流场转动温度和振动温度测量研究
1
作者
陈爱国
田颖
王杰
杨彦广
李志辉
李中华
李震乾
机构
中国空气动力研究与发展中心
出处
《实验流体力学》
北大核心
2025年第2期46-53,共8页
文摘
稀薄流场中转动温度与振动温度的不一致是热力学非平衡的具体表现,可采用电子束荧光技术这一非接触测量手段对稀薄流场的转动温度和振动温度进行测量。本文介绍了电子束荧光技术用于测量稀薄流场转动温度与振动温度的基本原理和方法,给出了在某风洞中开展的喷管出口稀薄流场转动温度、振动温度测量结果。重复性测量结果表明:转动温度最大相对不确定度为0.26%,振动温度最大相对不确定度为0.8%;Ma=12和16锥形喷管出口截面上的转动温度与振动温度分布特征体现了锥形喷管膨胀流动的特点,而各喷管在3个不同状态的测量结果表明:随着稀薄度增加,振动温度与转动温度的偏差会越大,热力学非平衡现象也越突出。
关键词
电子束荧光
稀薄流场
转动温度
振动温度
低密度风洞
Keywords
electron beam fluorescence
rarefied flow field
rotational temperature
vibrational temperature
low density wind tunnel
分类号
V211.7 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
极紫外真空动态气体锁流场分析与研究
被引量：
5
2
作者
陈进新
王魁波
王宇
机构
中国科学院光电研究院
中国科学院大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期940-946,共7页
基金
国家科技重大专项资助(2012ZX02702007)
文摘
满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进行不同清洁气体种类、不同清洁气体流量的稀薄气体流场仿真分析。计算和仿真结果表明,同等条件下动态气体锁抑制率随清洁气体流量的增加而增加,随清洁气体分子量的增加而增加;清洁气体种类由动态气体锁抑制率和EUV透过率共同决定,优选为氢气和氩气的混合气体;清洁气体总流量为6500 Pa·L/s时,能够抑制超过90%的污染气体,能够为EUV真空的应用提供良好的环境保障。
关键词
极紫外光刻机
动态气体锁
稀薄
气体
流场
抑制率
Keywords
EUV lithography
Dynamic gas lock
Rarefied gas flow
Suppression ratio
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
O356 [理学—流体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高超声速风洞稀薄流场转动温度和振动温度测量研究
陈爱国
田颖
王杰
杨彦广
李志辉
李中华
李震乾
《实验流体力学》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
极紫外真空动态气体锁流场分析与研究
陈进新
王魁波
王宇
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
5
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职称材料
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