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稀疏子孔径采样检测大口径光学器件 被引量:5
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作者 闫锋涛 范斌 +1 位作者 侯溪 伍凡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3193-3196,共4页
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测... 针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率。 展开更多
关键词 光学检测 大口径镜面 稀疏子孔径 采样 抛光
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拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化 被引量:3
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作者 罗倩 吴时彬 +2 位作者 汪利华 杨伟 范斌 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期29-35,共7页
稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一,其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型,推导出子孔径个数k在1到无穷区间取值,子孔径个数k与填充因子M的关系曲线,从而... 稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一,其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型,推导出子孔径个数k在1到无穷区间取值,子孔径个数k与填充因子M的关系曲线,从而得出在1.5 m以下系统检测的最优的七个稀疏子孔径排列布局图,并通过Φ200 mm自准干涉检验,验证了这种排列布局的合理性。 展开更多
关键词 稀疏子孔径 教学建模 拼接检测 波面重构 干涉测量
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稀疏子孔径区域内正交多项式重构波前 被引量:1
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作者 罗倩 吴时彬 +2 位作者 汪利华 杨伟 范斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期201-208,共8页
提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化,构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式,并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合.... 提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化,构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式,并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合.实验表明:根据算法重构与直接检测的全孔径波前残差PV=0.071 9λ,RMS=0.007 4λ.该算法可对所提取的七个子孔径波前像差数据进行有效的拼接. 展开更多
关键词 稀疏子孔径 正交多项式 Mathematica符号计算 拼接检测 波面重构
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基于稀疏子孔径的大口径准直波前评价
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作者 万鑫 田爱玲 +3 位作者 王大森 刘丙才 朱学亮 王红军 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期45-51,共7页
针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法。该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小... 针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法。该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小对重构精度的变化规律,得到优化的子孔径排布方式;采用子孔径口径大小为10.8 mm、相邻子孔径中心间距为9.72 mm的优化子孔径排布对300 mm口径准直波前进行稀疏子孔径评价。仿真结果表明:优化后的稀疏子孔径评价波前残差峰谷值(peak valley,PV)为0.0016λ、残差均方根值(root meam square,RMS)为1.6893e−4λ。 展开更多
关键词 波前评价 稀疏子孔径 孔径排布 波前重构
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