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稀疏子孔径采样检测大口径光学器件
被引量:
5
1
作者
闫锋涛
范斌
+1 位作者
侯溪
伍凡
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期3193-3196,共4页
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测...
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率。
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关键词
光学检测
大口径镜面
稀疏子孔径
采样
抛光
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职称材料
拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化
被引量:
3
2
作者
罗倩
吴时彬
+2 位作者
汪利华
杨伟
范斌
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期29-35,共7页
稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一,其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型,推导出子孔径个数k在1到无穷区间取值,子孔径个数k与填充因子M的关系曲线,从而...
稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一,其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型,推导出子孔径个数k在1到无穷区间取值,子孔径个数k与填充因子M的关系曲线,从而得出在1.5 m以下系统检测的最优的七个稀疏子孔径排列布局图,并通过Φ200 mm自准干涉检验,验证了这种排列布局的合理性。
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关键词
稀疏子孔径
教学建模
拼接检测
波面重构
干涉测量
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职称材料
稀疏子孔径区域内正交多项式重构波前
被引量:
1
3
作者
罗倩
吴时彬
+2 位作者
汪利华
杨伟
范斌
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期201-208,共8页
提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化,构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式,并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合....
提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化,构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式,并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合.实验表明:根据算法重构与直接检测的全孔径波前残差PV=0.071 9λ,RMS=0.007 4λ.该算法可对所提取的七个子孔径波前像差数据进行有效的拼接.
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关键词
稀疏子孔径
正交多项式
Mathematica符号计算
拼接检测
波面重构
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职称材料
基于稀疏子孔径的大口径准直波前评价
4
作者
万鑫
田爱玲
+3 位作者
王大森
刘丙才
朱学亮
王红军
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期45-51,共7页
针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法。该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小...
针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法。该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小对重构精度的变化规律,得到优化的子孔径排布方式;采用子孔径口径大小为10.8 mm、相邻子孔径中心间距为9.72 mm的优化子孔径排布对300 mm口径准直波前进行稀疏子孔径评价。仿真结果表明:优化后的稀疏子孔径评价波前残差峰谷值(peak valley,PV)为0.0016λ、残差均方根值(root meam square,RMS)为1.6893e−4λ。
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关键词
波前评价
稀疏子孔径
子
孔径
排布
波前重构
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职称材料
题名
稀疏子孔径采样检测大口径光学器件
被引量:
5
1
作者
闫锋涛
范斌
侯溪
伍凡
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期3193-3196,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60908042)
文摘
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率。
关键词
光学检测
大口径镜面
稀疏子孔径
采样
抛光
Keywords
optical test
large-aperture mirror
sparse sub-aperture
sampling
polishing
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化
被引量:
3
2
作者
罗倩
吴时彬
汪利华
杨伟
范斌
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期29-35,共7页
基金
国家重点研发计划"地球观测与导航重点"专项(2016YFB0500200)~~
文摘
稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一,其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型,推导出子孔径个数k在1到无穷区间取值,子孔径个数k与填充因子M的关系曲线,从而得出在1.5 m以下系统检测的最优的七个稀疏子孔径排列布局图,并通过Φ200 mm自准干涉检验,验证了这种排列布局的合理性。
关键词
稀疏子孔径
教学建模
拼接检测
波面重构
干涉测量
Keywords
sparse subaperture
mathematical modeling
stitching detection
wavefront reconstruction
interferometry
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
稀疏子孔径区域内正交多项式重构波前
被引量:
1
3
作者
罗倩
吴时彬
汪利华
杨伟
范斌
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期201-208,共8页
基金
国家重点研发计划(No.2016YFB0500200)资助~~
文摘
提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化,构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式,并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合.实验表明:根据算法重构与直接检测的全孔径波前残差PV=0.071 9λ,RMS=0.007 4λ.该算法可对所提取的七个子孔径波前像差数据进行有效的拼接.
关键词
稀疏子孔径
正交多项式
Mathematica符号计算
拼接检测
波面重构
Keywords
Sparse subaperture
Orthogonal polynomials
Mathematica symbol calculation
Stiching;wavefront reconstruction
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
在线阅读
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职称材料
题名
基于稀疏子孔径的大口径准直波前评价
4
作者
万鑫
田爱玲
王大森
刘丙才
朱学亮
王红军
机构
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
内蒙古金属材料研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期45-51,共7页
基金
基础科研(JSZL2018411C001)。
文摘
针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法。该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小对重构精度的变化规律,得到优化的子孔径排布方式;采用子孔径口径大小为10.8 mm、相邻子孔径中心间距为9.72 mm的优化子孔径排布对300 mm口径准直波前进行稀疏子孔径评价。仿真结果表明:优化后的稀疏子孔径评价波前残差峰谷值(peak valley,PV)为0.0016λ、残差均方根值(root meam square,RMS)为1.6893e−4λ。
关键词
波前评价
稀疏子孔径
子
孔径
排布
波前重构
Keywords
wavefront evaluation
sparse subaperture
subaperture arrangement
wavefront reconstruction
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
稀疏子孔径采样检测大口径光学器件
闫锋涛
范斌
侯溪
伍凡
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化
罗倩
吴时彬
汪利华
杨伟
范斌
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
稀疏子孔径区域内正交多项式重构波前
罗倩
吴时彬
汪利华
杨伟
范斌
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
基于稀疏子孔径的大口径准直波前评价
万鑫
田爱玲
王大森
刘丙才
朱学亮
王红军
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
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职称材料
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