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题名微波感耦稀有气体等离子体光谱激发的空间分布特性
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作者
雷杰
李晋芳
傅宏郎
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机构
云南大学物理系
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
1992年第1期30-31,共2页
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文摘
微波感耦等离子体(MIP)独具一些其它低温等离子体所不及的优点,它装置简单,阻抗稳定,匹配容易,炬焰稳定无噪声,无电极污染,活性粒子多,效率高,因而有广泛的应用前景。然而,有关这类等离子体的各种参量的空间分布和光谱激发过程的研究,迄今仍缺乏比较详尽和满意的结果。
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关键词
等离子体光谱
空间分布特性
稀有气体等离子体
激发温度
低温等离子体
微波功率
亚稳原子
亚稳态
低能电子
粒子数布居
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分类号
TN201-55
[电子电信—物理电子学]
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