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稀土Dy掺杂对ZnO,CdO和SnO_2薄膜性能的影响
被引量：
2
1
作者
韩菲
李健
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第12期936-942,共7页
用热蒸发法和热处理制备稀土Dy掺杂金属氧化物CdO,ZnO和SnO2薄膜,研究不同Dy掺杂浓度及热处理对3种薄膜性能的影响。XRD和SEM测试结果显示:适当的Dy掺杂和热处理可改善薄膜的结构特性,使薄膜表面的致密性变好。CdO,ZnO和SnO2薄膜的最佳...
用热蒸发法和热处理制备稀土Dy掺杂金属氧化物CdO,ZnO和SnO2薄膜,研究不同Dy掺杂浓度及热处理对3种薄膜性能的影响。XRD和SEM测试结果显示:适当的Dy掺杂和热处理可改善薄膜的结构特性,使薄膜表面的致密性变好。CdO,ZnO和SnO2薄膜的最佳掺Dy原子数分数为5%,5%和3%。掺Dy后Cd O,ZnO和SnO2薄膜的导电类型均为n型,电阻值降低约一个数量级。Dy掺杂使得薄膜的致密性增加而导致光透过率降低。制备的薄膜都是直接带隙半导体,相应的光学带隙:Cd O约2.232 eV,CdO∶Dy(Dy原子数分数5%)的略增为2.241 e V,ZnO薄膜约为3.31 eV;ZnO∶Dy(Dy原子数分数5%)约3.25 eV,SnO2薄膜约3.07 eV,SnO2∶Dy(Dy原子数分数3%)约3.03 eV。
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关键词
热蒸发
CDO
ZNO
SNO2
薄膜
稀土dy掺杂
热处理
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职称材料
稀土Dy掺杂CdO薄膜的结构与光学特性
被引量：
1
2
作者
白海平
李健
韩菲
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期1110-1114,共5页
采用真空热蒸发法,在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂CdO薄膜并进行热处理。对薄膜进行结构和光学特性测试分析。实验给出:掺Dy后CdO薄膜沿(111)晶向的衍射峰增强,随掺Dy含量的增大峰强度逐渐减弱。掺Dy含量为5%时可促进薄膜晶粒的生长改善薄...
采用真空热蒸发法,在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂CdO薄膜并进行热处理。对薄膜进行结构和光学特性测试分析。实验给出:掺Dy后CdO薄膜沿(111)晶向的衍射峰增强,随掺Dy含量的增大峰强度逐渐减弱。掺Dy含量为5%时可促进薄膜晶粒的生长改善薄膜的晶相结构特性。制备的薄膜表面颗粒均匀,存在颗粒聚集现象。随掺Dy含量增加薄膜的透光率增大,掺Dy含量为9at%时,在波长大于900nm的区域透光率可达90%,略高于纯CdO薄膜。
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关键词
真空蒸发
稀土dy掺杂
热处理
结构
光学特性
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职称材料
题名
稀土Dy掺杂对ZnO,CdO和SnO_2薄膜性能的影响
被引量：
2
1
作者
韩菲
李健
机构
燕京理工学院机电工程学院
内蒙古大学物理科学与技术学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第12期936-942,共7页
文摘
用热蒸发法和热处理制备稀土Dy掺杂金属氧化物CdO,ZnO和SnO2薄膜,研究不同Dy掺杂浓度及热处理对3种薄膜性能的影响。XRD和SEM测试结果显示:适当的Dy掺杂和热处理可改善薄膜的结构特性,使薄膜表面的致密性变好。CdO,ZnO和SnO2薄膜的最佳掺Dy原子数分数为5%,5%和3%。掺Dy后Cd O,ZnO和SnO2薄膜的导电类型均为n型,电阻值降低约一个数量级。Dy掺杂使得薄膜的致密性增加而导致光透过率降低。制备的薄膜都是直接带隙半导体,相应的光学带隙:Cd O约2.232 eV,CdO∶Dy(Dy原子数分数5%)的略增为2.241 e V,ZnO薄膜约为3.31 eV;ZnO∶Dy(Dy原子数分数5%)约3.25 eV,SnO2薄膜约3.07 eV,SnO2∶Dy(Dy原子数分数3%)约3.03 eV。
关键词
热蒸发
CDO
ZNO
SNO2
薄膜
稀土dy掺杂
热处理
Keywords
thermal evaporation
CdO
ZnO
Sn02
thin film
rare-earth
dy
doping
heattreatment
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
稀土Dy掺杂CdO薄膜的结构与光学特性
被引量：
1
2
作者
白海平
李健
韩菲
机构
内蒙古大学新能源研究中心
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期1110-1114,共5页
基金
内蒙古自治区高等学校科学研究项目(NJ05030)
文摘
采用真空热蒸发法,在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂CdO薄膜并进行热处理。对薄膜进行结构和光学特性测试分析。实验给出:掺Dy后CdO薄膜沿(111)晶向的衍射峰增强,随掺Dy含量的增大峰强度逐渐减弱。掺Dy含量为5%时可促进薄膜晶粒的生长改善薄膜的晶相结构特性。制备的薄膜表面颗粒均匀,存在颗粒聚集现象。随掺Dy含量增加薄膜的透光率增大,掺Dy含量为9at%时,在波长大于900nm的区域透光率可达90%,略高于纯CdO薄膜。
关键词
真空蒸发
稀土dy掺杂
热处理
结构
光学特性
Keywords
vacuum evaporation
dy
-doping
heat treatment
structure
optical characteristics
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
稀土Dy掺杂对ZnO,CdO和SnO_2薄膜性能的影响
韩菲
李健
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
稀土Dy掺杂CdO薄膜的结构与光学特性
白海平
李健
韩菲
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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职称材料
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