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用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法被引量：4: 1; 作者于杰《中国光学与应用光学》 2010年第6期605-615,共11页; 针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法—权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,... 展开更多; 关键词移相干涉技术误差分析约束方程最小二乘法相位提取算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于时域傅里叶变换的波长移相算法被引量：4: 2; 作者于瀛洁张本好焦云芳《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期310-313,共4页; 基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理。这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测。介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法。叙述了新算法的实现过... 展开更多; 关键词计量学移相算法波长移相干涉技术离散傅里叶变换; 在线阅读下载PDF 职称材料

干涉图去包裹位相的二次校正被引量：1: 3; 作者于瀛洁陈明仪韦春龙《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期537-539,543,共4页; 相位去包裹是移相干涉技术中关键的组成部分。一些去包裹算法在处理具有较多无效成像点的干涉图时,会在处理结果中引入较大的算法误差。提出了通过对去包裹位相进行二次校正的方法,实现去包裹位相算法误差的有效消除。文中通过基于DCT... 展开更多; 关键词移相干涉技术去包裹算法二次校正; 在线阅读下载PDF 职称材料

移相式数字光学轮廓仪的研制: 4; 作者于瀛洁陈明仪韦春龙《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期145-146,共2页; 相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法。本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的 6 JA型干涉显微镜结合起来 ,研制成功了移相式数字光学轮廓仪 ,其测量范围 0 .5 nm～ 1um,精度达到了 σ<0 .0... 展开更多; 关键词移相干涉技术干涉显微镜数字光学轮廓仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法被引量：4: 1; 作者于杰; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《中国光学与应用光学》 2010年第6期605-615,共11页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目; 文摘针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法—权重待定的加权最小二乘算法。通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,获得多组约束方程,从而确定权重和新算法。对新算法和标准四步算法、Hariharan五步算法进行比对分析,验证了新算法对PZT线性和二阶非线性移相不准、光强的一阶二阶波动和光源频率一阶二阶波动等误差抑制能力远远优于标准四步算法和Hariharan五步算法;新算法对CCD的量化误差、光强噪声、频率噪声的抑制能力也具有一定优势,且对CCD的二阶响应非线性完全不敏感。; 关键词移相干涉技术误差分析约束方程最小二乘法相位提取算法; Keywords phase-shifting interferometry error analysis bound equation least square method phase extraction algorithm; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于时域傅里叶变换的波长移相算法被引量：4: 2; 作者于瀛洁张本好焦云芳; 机构上海大学精密机械工程系; 出处《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期310-313,共4页; 基金上海科技启明星项目(01QA14021); 文摘基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理。这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测。介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法。叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果。; 关键词计量学移相算法波长移相干涉技术离散傅里叶变换; Keywords Metrology Phase-shifting algorithm Phase-shifting by wavelength tuning Discrete Fourier transform(DFT); 分类号 TB96 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名干涉图去包裹位相的二次校正被引量：1: 3; 作者于瀛洁陈明仪韦春龙; 机构上海大学(延长校区)精密机械工程系; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期537-539,543,共4页; 基金上海市教育委员会青年基金资助项目。; 文摘相位去包裹是移相干涉技术中关键的组成部分。一些去包裹算法在处理具有较多无效成像点的干涉图时,会在处理结果中引入较大的算法误差。提出了通过对去包裹位相进行二次校正的方法,实现去包裹位相算法误差的有效消除。文中通过基于DCT变换的最小二乘去包裹算法为例进行了说明,并通过一光学平晶表面的处理结果对方法进行了验证。; 关键词移相干涉技术去包裹算法二次校正; Keywords Phase-stepping interferometry Phase-unwrapping algorithm Double revising; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名移相式数字光学轮廓仪的研制: 4; 作者于瀛洁陈明仪韦春龙; 机构上海大学(延长校区)精密机械工程系; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期145-146,共2页; 基金上海市教委青年基金项目资助; 文摘相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法。本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的 6 JA型干涉显微镜结合起来 ,研制成功了移相式数字光学轮廓仪 ,其测量范围 0 .5 nm～ 1um,精度达到了 σ<0 .0 5 nm(Ra) ,σ<0 .7nm(P- V)。由于相关技术的突破 ,该仪器可以对多种材料、多种轮廓形状的表面实现测量。; 关键词移相干涉技术干涉显微镜数字光学轮廓仪; Keywords Phase shifting technique Interferential microscope Digital optical profiler; 分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料