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工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响被引量：3: 1; 作者佟军民胡松 +2 位作者董小春严伟余国彬《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期55-60,共6页; 针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟... 展开更多; 关键词掩模移动曝光技术曲线移动 “竹节”形误差面形精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计被引量：1: 2; 作者佟军民胡松《制造技术与机床》北大核心 2015年第8期47-50,共4页; 提出了一种用于接近式光刻机的掩模移动曝光CCD图象对准系统,可以实现连续浮雕微光学元件的制作。由一次预对准和一次精对准实现基片的安装定位,先后通过两次预对准和两次精对准实现掩模的两次安装定位。CCD图象对准系统由两支完全相同... 展开更多; 关键词掩模移动曝光技术接近式光刻机对准系统对准精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

高衍射效率连续面形分束器的设计与制备被引量：4: 3; 作者刘文静庞辉 +4 位作者曹阿秀吴育娟史立芳付永启邓启凌《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期9-16,共8页; 为了解决目前光学分束器件衍射效率低的问题,在传统的Gerchberg-Saxton(GS)算法基础上,对初始相位和迭代算法中的振幅限制方式作改进.先利用二次相位来作为迭代算法的初始相位,再在迭代过程中将输出平面分为信号区和噪音区两部分,保持... 展开更多; 关键词衍射二元光学 Gerchberg-Saxton算法移动掩模技术衍射光学元件分束器; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅基非球面柱面微透镜阵列制备方法被引量：1: 4; 作者张畅达高明友 +4 位作者周岩邓晓洲熊欣刘风雷张为国《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期377-385,共9页; 非球面柱面微透镜是一种重要的微光学元件,具有激光准直、聚焦、匀化等功能,在激光通信、光纤传感、激光雷达测距、激光泵浦等系统中具有广泛的应用。为了减小光电系统的体积、提升光纤性能,增大透镜数值孔径是一种常用的解决方案。提... 展开更多; 关键词光学工程非球面柱面微透镜阵列移动掩模硅基大数值孔径等离子体刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于投影光刻技术的微透镜阵列加工方法被引量：3: 5; 作者龚健文王建 +2 位作者刘俊伯孙海峰胡松《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第12期81-90,共10页; 本文提出了一种基于投影光刻技术的微透镜阵列制备方法,成功制备多种口径、面形及表面粗糙度均良好的微透镜阵列。该方法采用0.2倍投影物镜,降低掩模板制造成本,实现不同口径微透镜阵列制备。采用掩模移动滤波技术,在降低掩模制备复杂... 展开更多; 关键词微透镜阵列投影光刻技术掩模移动滤波技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

100%填充系数的微透镜阵列薄膜及应用研究被引量：2: 6; 作者张凯华董连和 +2 位作者孙艳军冷雁冰陈哲《科学技术与工程》北大核心 2012年第9期2193-2196,共4页; 研究了掩模移动法制作一种高填充因子、高垂跨比的柱面微透镜阵列(MLA)薄膜,并应用于有机发光二极管(OLED)平板中来提高输出效率。测试结果显示OLED的输出效率最多可以提高46%,并且没有明显的色差。实验证明具有高填充因子、高垂跨比的... 展开更多; 关键词掩模移动法微透镜阵列薄膜有机发光二极管; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响被引量：3: 1; 作者佟军民胡松董小春严伟余国彬; 机构中国科学院光电技术研究所中国科学院研究生院河南许昌职业技术学院; 出处《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期55-60,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(60606012) 中科院仪器改造项目; 文摘针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因。最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利。; 关键词掩模移动曝光技术曲线移动 “竹节”形误差面形精度; Keywords mask moving exposure technique curve movement ＇bamboo＇ shape variation error surface shape accuracy; 分类号 TN206 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计被引量：1: 2; 作者佟军民胡松; 机构许昌职业技术学院中国科学院光电技术研究所; 出处《制造技术与机床》北大核心 2015年第8期47-50,共4页; 基金国家自然科学基金(61376110 61274108); 文摘提出了一种用于接近式光刻机的掩模移动曝光CCD图象对准系统,可以实现连续浮雕微光学元件的制作。由一次预对准和一次精对准实现基片的安装定位,先后通过两次预对准和两次精对准实现掩模的两次安装定位。CCD图象对准系统由两支完全相同且相互独立的光路组成,各光路分别照明掩模和基片上的标记后,清晰地呈现在CCD象面上,采集卡将CCD采集到的数据送入计算机,进行算法处理,给出X、Y、θ的偏差,从而调节掩模和基片的相对位置。该方案可以获得优于1μm的对准精度,工作更为方便、易升级为自动对准。; 关键词掩模移动曝光技术接近式光刻机对准系统对准精度; Keywords mask moving exposure technique proximity aligner alignment system alignment accuracy; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高衍射效率连续面形分束器的设计与制备被引量：4: 3; 作者刘文静庞辉曹阿秀吴育娟史立芳付永启邓启凌; 机构中国科学院光电技术研究所电子科技大学物理学院中国科学院大学; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期9-16,共8页; 基金国家自然科学基金(Nos.51703227,C0025053,61605211) 中科院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20180008) +4 种基金中科院西部之光人才支撑计划中国科学院青年创新促进会项目(No.2015308)~~; 文摘为了解决目前光学分束器件衍射效率低的问题,在传统的Gerchberg-Saxton(GS)算法基础上,对初始相位和迭代算法中的振幅限制方式作改进.先利用二次相位来作为迭代算法的初始相位,再在迭代过程中将输出平面分为信号区和噪音区两部分,保持这两部分的相位不变,信号区内振幅乘上一个随迭代次数不断变化的因子,噪音区内振幅保持不变.通过该方法设计9×9连续面形的分束器件,并与传统GS算法设计的分束器进行了对比,结果表明:GS算法设计得到的分束器相位存在严重的突变和不连续等问题,而本文方法设计得到的分束器相位连续平滑,可利用移动掩模技术加工.最终制备出1×3和1×9分束器,其实测的衍射效率分别为83.5%和89.4%,均匀性误差分别为3.56%和15.23%.; 关键词衍射二元光学 Gerchberg-Saxton算法移动掩模技术衍射光学元件分束器; Keywords Diffractive Binary optics Gerchberg-Saxton algorithm Moving mask technique Diffractive optical element Beam splitter; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅基非球面柱面微透镜阵列制备方法被引量：1: 4; 作者张畅达高明友周岩邓晓洲熊欣刘风雷张为国; 机构中国科学院重庆绿色智能技术研究院微纳制造与系统集成研究中心重庆交通大学信息科学与工程学院天津津航技术物理研究所; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期377-385,共9页; 基金国家自然科学基金(61775213)。; 文摘非球面柱面微透镜是一种重要的微光学元件,具有激光准直、聚焦、匀化等功能,在激光通信、光纤传感、激光雷达测距、激光泵浦等系统中具有广泛的应用。为了减小光电系统的体积、提升光纤性能,增大透镜数值孔径是一种常用的解决方案。提出采用折射率更大的硅作为低折射率石英基底的替代材料,使得微透镜在相同体积下数值孔径大幅提升,同时可以降低加工量从而提升制备效率。针对传统石英微透镜的制备方法不再适用硅基微透镜的问题,提出基于掩模移动曝光方法制备光刻胶非球面图案,使用多次涂胶和循环曝光方法,分别解决厚胶涂覆均匀性差及曝光掩模痕迹明显等问题,最终利用等离子体刻蚀技术进行图案转移传递,从而实现微透镜的制备。以数值孔径2.9的硅基非球面柱面透镜阵列为例开展实际制备工艺实验,所制备的微透镜列阵面型精度PV为0.766μm,表面粗糙度Ra为3.4 nm,表面光洁与设计值符合较好,验证了制备方法的可行性。该方法有望促进非球面柱面微透镜列阵在紧凑化红外光电系统中的大规模应用。; 关键词光学工程非球面柱面微透镜阵列移动掩模硅基大数值孔径等离子体刻蚀; Keywords optical engineering aspheric cylindrical microlens array moving masks silicon based large numerical apertures plasma etching; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于投影光刻技术的微透镜阵列加工方法被引量：3: 5; 作者龚健文王建刘俊伯孙海峰胡松; 机构中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室电子科技大学光电科学与工程学院中国科学院大学; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第12期81-90,共10页; 基金国家重点研发计划项目(2021YFB3200204) 国家自然科学基金项目(61604154,61875201,61975211,62005287) +2 种基金四川省科技计划项目(2023JDRC0104)。; 文摘本文提出了一种基于投影光刻技术的微透镜阵列制备方法,成功制备多种口径、面形及表面粗糙度均良好的微透镜阵列。该方法采用0.2倍投影物镜,降低掩模板制造成本,实现不同口径微透镜阵列制备。采用掩模移动滤波技术,在降低掩模制备复杂性的同时,提高了微透镜阵列面形精度。本文对四种不同口径的微透镜阵列进行制备实验,分别为50μm、100μm、300μm、500μm,其表面形貌加工精度达到微米级,表面粗糙度达到纳米级。实验结果表明,该方法在微透镜阵列制造中具有很大的潜力,与传统方法相比,能够实现更低的线宽和更高的表面面形精度。; 关键词微透镜阵列投影光刻技术掩模移动滤波技术; Keywords microlens array projection lithography mask moving filtering technology; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名100%填充系数的微透镜阵列薄膜及应用研究被引量：2: 6; 作者张凯华董连和孙艳军冷雁冰陈哲; 机构长春理工大学光电工程学院; 出处《科学技术与工程》北大核心 2012年第9期2193-2196,共4页; 文摘研究了掩模移动法制作一种高填充因子、高垂跨比的柱面微透镜阵列(MLA)薄膜,并应用于有机发光二极管(OLED)平板中来提高输出效率。测试结果显示OLED的输出效率最多可以提高46%,并且没有明显的色差。实验证明具有高填充因子、高垂跨比的微透镜阵列薄膜可以提高各种显示器的光学效率或者平板光源的照明效果。; 关键词掩模移动法微透镜阵列薄膜有机发光二极管; Keywords mask moving microlens arrays film organic light emitting diodes; 分类号 TN209 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响	佟军民胡松董小春严伟余国彬	《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计	佟军民胡松	《制造技术与机床》北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	高衍射效率连续面形分束器的设计与制备	刘文静庞辉曹阿秀吴育娟史立芳付永启邓启凌	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	硅基非球面柱面微透镜阵列制备方法	张畅达高明友周岩邓晓洲熊欣刘风雷张为国	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于投影光刻技术的微透镜阵列加工方法	龚健文王建刘俊伯孙海峰胡松	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
6	100%填充系数的微透镜阵列薄膜及应用研究	张凯华董连和孙艳军冷雁冰陈哲	《科学技术与工程》北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料