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液压直驱手腕基于积分滑模面的自适应鲁棒控制 被引量:1
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作者 李虎林 汪成文 +1 位作者 赵二辉 成磊 《机床与液压》 北大核心 2024年第21期103-111,共9页
针对液压直驱手腕在参数不确定和未知干扰等不确定非线性存在情况下轨迹跟踪误差大的问题,对自适应鲁棒控制(ARC)算法做出改进,提出一种积分滑模面自适应鲁棒控制(ISMS-ARC)策略。基于手腕整体的高阶动力学模型引入积分滑模函数,并结合... 针对液压直驱手腕在参数不确定和未知干扰等不确定非线性存在情况下轨迹跟踪误差大的问题,对自适应鲁棒控制(ARC)算法做出改进,提出一种积分滑模面自适应鲁棒控制(ISMS-ARC)策略。基于手腕整体的高阶动力学模型引入积分滑模函数,并结合反步法和自适应鲁棒控制器设计方法构造控制器,在保证系统具有鲁棒性的同时实现对未知状态的解耦和对不确定参数的估计。结合李雅普诺夫稳定性理论证明控制器的稳定性。搭建基于AMESim、MATLAB/Simulink、ADAMS的手腕联合仿真模型,并将ISMS-ARC与ARC、DRC控制方法进行关节轨迹跟踪的仿真对比。结果表明:ISMS-ARC方法不仅有效减小了跟踪误差,而且在跟踪参考轨迹恒定或系统受到常值干扰时依然能实现渐进跟踪;与其他2种控制方法相比,该方法表现出更高的跟踪精度和更强的鲁棒性。 展开更多
关键词 液压直驱手腕 积分滑模面 自适应鲁棒控制
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一种改进积分滑模面在飞控中的应用 被引量:29
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作者 李鹏 孙未蒙 +1 位作者 李文强 郑志强 《控制工程》 CSCD 北大核心 2010年第3期269-271,289,共4页
针对传统积分型滑模面容易产生积分饱和从而导致超调量大的缺点,在Seshagiri和Khalil设计的条件积分型滑模面的基础上,提出了一种改进积分型滑模面,其可以根据系统的状态通过调节因子对积分项进行削弱来防止积分饱和。同时对调节因子的... 针对传统积分型滑模面容易产生积分饱和从而导致超调量大的缺点,在Seshagiri和Khalil设计的条件积分型滑模面的基础上,提出了一种改进积分型滑模面,其可以根据系统的状态通过调节因子对积分项进行削弱来防止积分饱和。同时对调节因子的取值范围进行了讨论。并将改进积分型滑模面应用到导弹的俯仰角速度跟踪滑模控制器设计中,对舵机输出受到干扰的情况进行了仿真。理论分析和仿真研究表明,改进积分型滑模面形式简单,便于工程实现,在其基础上设计的滑模控制器在受到类似脉冲干扰的情况下几乎没有超调和具有较短的调节时间。 展开更多
关键词 积分饱和 改进积分滑模 滑模控制 俯仰角速度跟踪
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永磁同步电机模糊积分终端滑模控制
3
作者 徐鹏 郭铖 +3 位作者 苏鑫 袁利兵 黄媛 但远宏 《电工电能新技术》 北大核心 2025年第4期52-59,共8页
滑模变结构控制因其良好的鲁棒性与响应速度,被广泛地应用于永磁电机控制系统中。但传统滑模控制仍存在着收敛速度、抖振等问题,为进一步提升控制性能,本文以传统滑模变结构控制为基础,设计了一种改进型模糊积分终端滑模变结构控制器。... 滑模变结构控制因其良好的鲁棒性与响应速度,被广泛地应用于永磁电机控制系统中。但传统滑模控制仍存在着收敛速度、抖振等问题,为进一步提升控制性能,本文以传统滑模变结构控制为基础,设计了一种改进型模糊积分终端滑模变结构控制器。通过线性函数与非线性函数相结合设计快速积分终端滑模面,使误差能够更快速地收敛,输出转速更快的响应且稳态误差更小。通过引入模糊控制并采用连续的饱和函数sat(s)代替符号函数sgn(s),对系统的趋近速度动态调节,且在零点附近平滑切换,提高了系统整体的抗干扰能力并削弱了系统输出抖振。仿真与实物实验结果表明,模糊积分终端滑模变结构控制在提高系统响应速度的同时也有效地削弱了抖振。验证了所设计的控制策略具备能够有效地提高系统的鲁棒性、削弱系统抖振的优点。 展开更多
关键词 永磁同步电机 滑模变结构控制 积分终端滑模 饱和函数 模糊控制
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带角度约束的三维积分二阶滑模拦截制导律 被引量:3
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作者 尤浩 常新龙 +1 位作者 赵久奋 石学乾 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期590-602,共13页
针对导弹在三维场景中以期望角度拦截加速度未知的机动目标问题,提出了一种考虑角度约束的三维拦截制导律。首先,建立了三维弹目非线性拦截制导模型;其次,设计了一种全滑动模态的积分滑模面,省去了传统滑模制导律中的滑模趋近阶段,有效... 针对导弹在三维场景中以期望角度拦截加速度未知的机动目标问题,提出了一种考虑角度约束的三维拦截制导律。首先,建立了三维弹目非线性拦截制导模型;其次,设计了一种全滑动模态的积分滑模面,省去了传统滑模制导律中的滑模趋近阶段,有效地降低了拦截制导过程中的能量消耗;而后,基于设计的积分滑模面和二阶滑模控制理论,在弹目视线法向和侧向上分别设计了一种带角度约束的三维积分二阶滑模拦截制导律,有效地抑制了抖振现象,同时对目标机动造成的未知干扰进行了在线补偿;此外,对所设计算法进行了严格的Lyapunov稳定性数学证明;最后,数值仿真结果验证了本文所提三维拦截制导律的有效性、优越性以及抗干扰的鲁棒性。 展开更多
关键词 导弹 角度约束 三维拦截制导 积分滑模面 机动目标
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改进滑模调节的电子水泵模型预测控制
5
作者 马西沛 许明浩 +2 位作者 范平清 沈黎吉 冯晓丹 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2025年第7期202-209,共8页
针对电子水泵在高速和扰动情况下控制系统抖动较大的问题,提出一种非线性积分滑模面(NISMS)和动态变量函数(DVF)调节的模型预测滑模控制方法。首先,设计非线性积分滑模面,引入动态变量函数及sigmoid函数设计改进趋近率,并根据非线性积... 针对电子水泵在高速和扰动情况下控制系统抖动较大的问题,提出一种非线性积分滑模面(NISMS)和动态变量函数(DVF)调节的模型预测滑模控制方法。首先,设计非线性积分滑模面,引入动态变量函数及sigmoid函数设计改进趋近率,并根据非线性积分滑模面及改进趋近率设计滑模速度控制器;其次,设计滑模观测器用于观测转速及转子位置跟踪信息;最后,设计模型预测控制器,对输出电流进行预测控制。仿真结果表明,采用NISMS及DVF调节的控制方法可有效提高转速跟踪效果,减小转子位置跟踪误差,提高系统抗干扰性能。 展开更多
关键词 电子水泵 动态变量函数 非线性积分滑模面 模型预测控制 趋近率
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基于线性自抗扰控制的船舶航迹积分滑模控制器 被引量:14
6
作者 邱峰 李伟 宁君 《上海海事大学学报》 北大核心 2017年第3期12-17,51,共7页
为解决欠驱动船舶航迹直线和曲线跟踪控制问题,选取能解决航向不稳定等非线性问题的Bech模型,借助双曲正切函数,构造期望艏向方程,将航迹控制问题转化为航向控制问题。设计3阶跟踪微分器,对期望艏向及其微分信号进行精确提取。采用变结... 为解决欠驱动船舶航迹直线和曲线跟踪控制问题,选取能解决航向不稳定等非线性问题的Bech模型,借助双曲正切函数,构造期望艏向方程,将航迹控制问题转化为航向控制问题。设计3阶跟踪微分器,对期望艏向及其微分信号进行精确提取。采用变结构积分滑模面函数设计非线性误差反馈控制律,加快系统收敛速度,提出基于线性自抗扰控制(Linear Active Disturbance Rejection Control,LADRC)的船舶航迹积分滑模控制器。该控制器的线性扩张状态观测器对系统内外总扰动进行在线估计与实时补偿;引入Hurwitz多项式,减少需整定的参数。仿真结果表明,航迹收敛快速准确,无超调,对外界干扰具有较强的鲁棒性。控制器参数具有一定的普适性,故其适用范围广。 展开更多
关键词 船舶航迹控制 Bech模型 线性自抗扰控制(LADRC) 积分滑模面
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基于复合积分滑模的永磁同步电机硬件在环位置控制 被引量:6
7
作者 黄家才 张玎橙 施昕昕 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期108-114,共7页
为了提高永磁同步电机位置控制系统在启动阶段位置响应的快速性以及负载扰动时位置响应的鲁棒性,基于分数阶微积分理论,引入状态变量的分数阶积分项,提出一种非线性复合积分滑模面,设计了相应的复合积分滑模控制器,并通过Lyapunov定理... 为了提高永磁同步电机位置控制系统在启动阶段位置响应的快速性以及负载扰动时位置响应的鲁棒性,基于分数阶微积分理论,引入状态变量的分数阶积分项,提出一种非线性复合积分滑模面,设计了相应的复合积分滑模控制器,并通过Lyapunov定理证明其稳定性。采用线性二次型调节器方法设计了控制器的参数,并在基于SIMULINK/QuaRC的PMSM硬件在环实时控制系统中,对所提控制算法做了性能测试与对比试验。实验结果表明,所提方法在位置响应的快速性以及对负载扰动的抑制能力方面,优于传统整数阶积分滑模控制方法。 展开更多
关键词 永磁同步电机 分数阶微积分 复合积分滑模面 积分滑模控制 位置控制 硬件在环
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不确定非线性系统自适应反演积分滑模控制 被引量:8
8
作者 江道根 江维 +1 位作者 潘世华 尹湘源 《控制工程》 CSCD 北大核心 2021年第9期1780-1786,共7页
针对一类n阶参数严格反馈型非匹配不确定非线性系统,提出一种自适应反演快速积分终端滑模控制方法。控制的前n-1步采用标准自适应反演控制策略并给出自适应律,第n步构造出一种积分非奇异终端滑模面。为降低控制量抖振,将滑模终端吸引子... 针对一类n阶参数严格反馈型非匹配不确定非线性系统,提出一种自适应反演快速积分终端滑模控制方法。控制的前n-1步采用标准自适应反演控制策略并给出自适应律,第n步构造出一种积分非奇异终端滑模面。为降低控制量抖振,将滑模终端吸引子思想引入滑模面的设计中,进而求出系统总控制律,从而消除非匹配不确定性影响并提升系统的动态性和鲁棒性。通过Lyapunov理论证明系统状态在有限时间内收敛。最后,对比仿真实验验证了所提控制方法的有效性。 展开更多
关键词 非线性不确定系统 自适应反演法 积分滑模面 非奇异快速终端滑模
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采用分数阶趋近律的汽车ABS积分滑模控制研究 被引量:3
9
作者 陈炎冬 吴阳 +1 位作者 杨敏 许轰烈 《机械设计与制造》 北大核心 2019年第12期131-134,共4页
为研究和评价ABS性能,以单轮车辆模型为基础,建立了单轮车辆动力学模型、轮胎模型及滑移率与附着系数的数学模型。在此基础上,提出了一种采用分数指数趋近律的汽车防抱死制动系统滑模变结构控制策略。这里主要采用含积分的滑模函数来设... 为研究和评价ABS性能,以单轮车辆模型为基础,建立了单轮车辆动力学模型、轮胎模型及滑移率与附着系数的数学模型。在此基础上,提出了一种采用分数指数趋近律的汽车防抱死制动系统滑模变结构控制策略。这里主要采用含积分的滑模函数来设计切换函数,并结合分数阶指数微分方程、F-函数定义与性质,设计了分数阶指数趋近律。然后以实现高精度的滑模控制为目标,推导得到控制器总的等效控制输出。同时,在Matlab/Simulink中进行系统建模和仿真实验。结果表明:相比整数阶的汽车防抱死滑模控制系统滑移率能够更快、更准的跟踪达到期望值,制动时间和制动距离明显降低。 展开更多
关键词 制动防抱死系统 分数阶指数趋近律 积分滑模面 仿真
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拦截大气层内机动目标的自适应积分滑模制导律 被引量:14
10
作者 黄景帅 张洪波 +1 位作者 汤国建 包为民 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期51-60,共10页
针对大气层内机动目标拦截的末制导问题,提出了一种自适应积分滑模制导律。基于抑制弹目视线旋转的原则,设计了一种视线转率收敛速率可调的跟踪剖面,选取跟踪误差与其积分为状态变量,采用状态有限时间收敛的积分滑模面与快速趋近律推导... 针对大气层内机动目标拦截的末制导问题,提出了一种自适应积分滑模制导律。基于抑制弹目视线旋转的原则,设计了一种视线转率收敛速率可调的跟踪剖面,选取跟踪误差与其积分为状态变量,采用状态有限时间收敛的积分滑模面与快速趋近律推导得到了积分滑模制导律。为了处理未知的目标机动项,提出了一种自适应算法,对目标机动项上界的平方进行估计,构成了自适应积分滑模制导律,并证明了其有限时间收敛的特性,给出了各状态变量的收敛域。最后,将制导律转换成适用于大气层内拦截的形式。仿真结果表明,所提制导律能够精确拦截机动目标,剖面跟踪误差收敛速度快,过载分布均匀,能量消耗少,并具有良好的噪声特性,易于工程实现。 展开更多
关键词 导弹制导 机动目标 积分滑模面 自适应算法 有限时间收敛
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新型变倾斜参数S型函数的积分滑模水下机器人控制方法研究 被引量:3
11
作者 薛丰 朱大奇 邓志刚 《高技术通讯》 北大核心 2017年第1期62-71,共10页
研究了水下机器人轨迹的滑模跟踪控制。针对滑模抖动对系统稳定性的影响,设计了一种基于变倾斜参数sigmoid函数的积分滑模切换函数。基于这个函数设计的控制器在避免抖振现象的同时,保持了高控制精度,且能抑制传统积分滑模控制器常见的... 研究了水下机器人轨迹的滑模跟踪控制。针对滑模抖动对系统稳定性的影响,设计了一种基于变倾斜参数sigmoid函数的积分滑模切换函数。基于这个函数设计的控制器在避免抖振现象的同时,保持了高控制精度,且能抑制传统积分滑模控制器常见的超调现象。该控制方法有效性已通过理论证明和仿真实验得到了验证。 展开更多
关键词 水下机器人 轨迹跟踪 滑模控制 积分滑模面 S型函数
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基于ESO的气流引纬滑模分数阶反步控制 被引量:1
12
作者 郝祖茂 沈丹峰 +1 位作者 赵刚 李许锋 《现代纺织技术》 北大核心 2024年第11期72-80,共9页
针对气流引纬纱线在飞行过程中存在不确定时变因素和未建模问题,提出了一种基于有限时间扩张状态观测器的神经积分滑模分数阶反步控制器。通过对纬纱在气流引纬过程的动力学分析,得到系统的状态方程,引入有限时间扩张状态观测器,对复合... 针对气流引纬纱线在飞行过程中存在不确定时变因素和未建模问题,提出了一种基于有限时间扩张状态观测器的神经积分滑模分数阶反步控制器。通过对纬纱在气流引纬过程的动力学分析,得到系统的状态方程,引入有限时间扩张状态观测器,对复合扰动问题进行有效估计降低跟踪误差,设计非线性积分滑模面,采用RBF神经网络对滑模面系数进行补偿修正,并融合到反步控制中保证了算法有限时间收敛和稳定性,在虚拟控制律中加入了分数阶理论,进一步提升了系统的稳定性和抗干扰能力。最后,为了使得引纬完成的时间更接近设定值,在筘幅中间额外增加了4个探纬器,并对纱线的运动状态做出调整。研究设计的控制器和改善的引纬结构使得引纬完成的时间更接近设定值,研究验证了所设计方案的有效性。 展开更多
关键词 气流引纬结构 扩张状态观测器 积分滑模面 分数阶 RBF神经网络
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基于改进超螺旋算法的永磁同步电机快速积分终端滑模速度控制 被引量:5
13
作者 南宇洋 朱其新 +1 位作者 刘红俐 朱永红 《机床与液压》 北大核心 2023年第17期70-74,共5页
针对永磁同步电机伺服系统的滑模速度控制存在抖振和鲁棒性不强问题,采用改进积分终端滑模面与广义超螺旋相结合的方法设计转速控制环。提出分段滑模面的方法设计改进的快速积分终端滑模面,可以使得抖振问题得到明显改善;设计改进的广... 针对永磁同步电机伺服系统的滑模速度控制存在抖振和鲁棒性不强问题,采用改进积分终端滑模面与广义超螺旋相结合的方法设计转速控制环。提出分段滑模面的方法设计改进的快速积分终端滑模面,可以使得抖振问题得到明显改善;设计改进的广义超螺旋控制器作为切换控制,能够更好地改善系统的动态特性,并证明了此算法的稳定性。仿真结果表明:该方法具有抑制抖振性能强、收敛速度快和跟踪性能好等优点。 展开更多
关键词 永磁同步电机 积分终端滑模 广义超螺旋 转速控制
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基于扩展观测器的永磁同步电机快速积分终端滑模控制 被引量:2
14
作者 陆园 朱其新 朱永红 《机床与液压》 北大核心 2023年第24期116-121,共6页
为了优化永磁同步电机(PMSM)调速系统的动态性能,使用滑模控制的PMSM控制系统的非线性速度控制算法。提出一种新的快速积分终端滑模面(FITSMC),以提高传统积分终端滑模控制在速度误差远离平衡点时的跟踪误差收敛速度。针对高切换增益引... 为了优化永磁同步电机(PMSM)调速系统的动态性能,使用滑模控制的PMSM控制系统的非线性速度控制算法。提出一种新的快速积分终端滑模面(FITSMC),以提高传统积分终端滑模控制在速度误差远离平衡点时的跟踪误差收敛速度。针对高切换增益引起的大抖动现象,提出一种改进的抗干扰滑模速度控制器,该方法引入扩展状态观测器观测集中扰动,并在FITSMC中添加前馈补偿项。最后,通过仿真验证所提控制方法的有效性。结果表明:采用FITSMC替代传统的PI控制器,可以有效地降低动态速度跟踪误差。通过与传统方法进行比较,验证了所提方法(FITSMC+ESO)的优越性。 展开更多
关键词 快速积分终端滑模(FITSMC) 永磁同步电机(PMSM) 滑模控制 扩展状态观测器
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基于模糊时变滑模的永磁同步电机调速系统设计 被引量:4
15
作者 李旭阳 黎晓曦 +1 位作者 朱其新 朱永红 《机床与液压》 北大核心 2024年第7期98-104,共7页
针对永磁同步电机突然加入负载时存在的转速波动和不稳定问题,提出一种基于积分时变滑模面和新型模糊增益趋近律的滑模调速方法。采用积分时变滑模面,在传统积分滑模面中加入一个时变项,借此提升系统的响应速度。改进传统的指数趋近律,... 针对永磁同步电机突然加入负载时存在的转速波动和不稳定问题,提出一种基于积分时变滑模面和新型模糊增益趋近律的滑模调速方法。采用积分时变滑模面,在传统积分滑模面中加入一个时变项,借此提升系统的响应速度。改进传统的指数趋近律,加入非线性函数来削弱系统的抖振,同时根据不同的系统状态用模糊算法整定趋近律增益参数,着重于提升趋近速度和系统抗扰动能力。最后,使用李雅普诺夫稳定性判据证明了该控制系统的稳定性。在MATLAB/Simulink环境下将此控制策略与传统滑模控制策略进行对比,仿真结果表明:采用此控制方法的系统响应速度更快、抑制系统扰动和抖振的能力更强,具备更好的综合性能。 展开更多
关键词 永磁同步电机 矢量控制 积分时变滑模 模糊算法 调速系统
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直流电机驱动农用履带机器人轨迹跟踪自适应滑模控制 被引量:23
16
作者 焦俊 陈靖 +4 位作者 乔焰 王文周 王谟仕 辜丽川 李郑涛 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期64-70,共7页
为了提高农用履带机器人轨迹跟踪控制的性能,将履带机器人模型视为由电机驱动方程和运动方程组成的级联系统,在考虑了履带机器人运动学模型和电机驱动模型动态特性的基础上,构建了一种变倾斜参数的自适应积分滑模切换函数,基于这个函数... 为了提高农用履带机器人轨迹跟踪控制的性能,将履带机器人模型视为由电机驱动方程和运动方程组成的级联系统,在考虑了履带机器人运动学模型和电机驱动模型动态特性的基础上,构建了一种变倾斜参数的自适应积分滑模切换函数,基于这个函数设计了由等效控制和切换控制组成的自适应滑模控制,将机器人的位姿误差以及在线辨识的驱动电机时变不确定参数反馈至控制器中,计算出左右轮驱动电机的期望角速度,控制履带机器人运行。田间试验结果表明,当机器人分别以1,3,4 m/s速度运行时,在运动方向距离误差、侧向距离误差和航向角的误差分别在-0.04~0.04 m,-0.09~0.07 m和-0.03~0.05 rad范围内。因此,基于电机驱动的机器人自适应滑模控制具有良好的控制精度,能够满足田间实际作业的要求。 展开更多
关键词 机器人 滑模控制 运动学 自适应 位姿误差 积分滑模面 级联系统
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电动汽车PMSM MTPA控制系统滑模速度控制 被引量:33
17
作者 金宁治 王旭东 李文娟 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第8期52-58,共7页
为了提高电动汽车电机驱动系统对参数摄动和负载扰动的鲁棒性,同时削弱滑模变结构控制(SMVSC)固有的抖振,将一种改进的滑模控制策略应用于永磁同步电机(PMSM)最大转矩电流比(MTPA)控制调速系统中。采用最大转矩电流比控制方法分配定子... 为了提高电动汽车电机驱动系统对参数摄动和负载扰动的鲁棒性,同时削弱滑模变结构控制(SMVSC)固有的抖振,将一种改进的滑模控制策略应用于永磁同步电机(PMSM)最大转矩电流比(MTPA)控制调速系统中。采用最大转矩电流比控制方法分配定子直轴、交轴电流,将他们与转矩的关系分别拟合为低阶多项式,提高了该方法的工程实用性;速度环采用基于变指数趋近律的滑模控制策略,选取积分滑模面,并将控制律连续化,有效地削弱了滑模控制系统固有的抖振。仿真与实验表明,所设计控制器提高了系统鲁棒性,具有优良的稳态、动态性能,适用于电动汽车电机驱动系统。 展开更多
关键词 永磁同步电机 最大转矩电流比控制 滑模变结构控制 变指数趋近律 积分滑模面
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基于轨迹跟踪的农用履带机器人自适应滑模控制 被引量:7
18
作者 许正荣 王文周 +3 位作者 辜丽川 乔焰 褚刚秀 焦俊 《江苏农业学报》 CSCD 北大核心 2018年第3期711-720,共10页
为了提高农用履带机器人轨迹跟踪控制的性能,在履带机器人运动学模型的基础上,设计了自适应滑模控制,构建了一种变倾斜参数的自适应积分滑模切换函数,基于这个函数提出了由等效控制和切换控制组成的自适应滑模跟踪控制,将机器人的位姿误... 为了提高农用履带机器人轨迹跟踪控制的性能,在履带机器人运动学模型的基础上,设计了自适应滑模控制,构建了一种变倾斜参数的自适应积分滑模切换函数,基于这个函数提出了由等效控制和切换控制组成的自适应滑模跟踪控制,将机器人的位姿误差,以及在线辨识的时变不确定参数反馈至控制器中,计算出左右轮驱动电机的期望角速度,同时利用李亚普诺夫方法证明了所设计滑模跟踪控制的稳定性。田间试验结果表明,当机器人以1~4 m/s速度运行时,在运动方向距离误差、侧向距离误差和航向角的误差分别为-0.04~0.04 m,-0.09~0.07m和-0.03~0.05 rad。因此,机器人自适应滑模控制具有良好的控制精度,能够满足田间实际作业的要求。 展开更多
关键词 机器人 滑模控制 运动学 自适应 位姿误差 积分滑模面
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光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制 被引量:8
19
作者 武志鹏 陈兴林 刘川 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期50-54,共5页
为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒... 为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果。变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7nm,标准差为2.2nm。扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。 展开更多
关键词 宏微控制 最优积分滑模面 滑模控制 工件台
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不确定分数阶PMSM混沌系统自适应滑模控制 被引量:6
20
作者 林飞飞 曾喆昭 《电力科学与技术学报》 CAS 北大核心 2018年第2期66-72,共7页
针对参数不确定分数阶永磁同步电机混沌系统,研究在含非线性不确定项和外部扰动情况下的控制问题。结合自适应控制理论和滑模控制理论,通过选取一种具有较强鲁棒性的分数阶积分滑模面,设计自适应滑模控制器。该控制器可在参数不确定项... 针对参数不确定分数阶永磁同步电机混沌系统,研究在含非线性不确定项和外部扰动情况下的控制问题。结合自适应控制理论和滑模控制理论,通过选取一种具有较强鲁棒性的分数阶积分滑模面,设计自适应滑模控制器。该控制器可在参数不确定项、非线性不确定项和外部扰动的上界未知的情况下,实现局部渐进稳定。数值仿真结果验证了该控制器的有效性。 展开更多
关键词 分数阶 永磁同步电机 分数阶积分滑模面 自适应滑模控制
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