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金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺
被引量：
2
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作者
李栋
吴校生
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第12期7-9,共3页
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微...
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微陀螺的结构。使用有限元方法对陀螺金属振子进行了动力学仿真,验证了金属结构多环振动盘陀螺的可行性,并对微陀螺的加工工艺流程进行了微加工制作,获得了微陀螺芯片。研究解决了实现金属结构多环振动盘微陀螺的关键技术。
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关键词
金属振子
多环结构
科式效应
微陀螺
动力学仿真
微加工工艺
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职称材料
题名
金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺
被引量：
2
1
作者
李栋
吴校生
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第12期7-9,共3页
基金
微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目(9140C790402150C79005)
上海市科委浦江人才计划项目(14PJD022)
文摘
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微陀螺的结构。使用有限元方法对陀螺金属振子进行了动力学仿真,验证了金属结构多环振动盘陀螺的可行性,并对微陀螺的加工工艺流程进行了微加工制作,获得了微陀螺芯片。研究解决了实现金属结构多环振动盘微陀螺的关键技术。
关键词
金属振子
多环结构
科式效应
微陀螺
动力学仿真
微加工工艺
Keywords
metallic resonator
multi-ring disc resonator
Coriolis effect
micro gyroscopes
dynamic simulation
micromachining process
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺
李栋
吴校生
《传感器与微系统》
CSCD
2017
2
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