期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量 被引量:2
1
作者 陈津平 郭彤 +4 位作者 胡春光 栗大超 胡晓东 傅星 胡小唐 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第B06期125-128,共4页
微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位.提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法.该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量.系统采用4步相移... 微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位.提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法.该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量.系统采用4步相移调制方法得到调制干涉条纹对比度的零级Bessel函数分布.在微谐振器件上进行的实验说明系统可以测量任意频率的离面运动,水平分辨力在微米范围内,离面探测极限在5nm左右. 展开更多
关键词 微结构 时间平均干涉法 离面运动 快速测量
在线阅读 下载PDF
MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现 被引量:5
2
作者 谢勇君 史铁林 刘世元 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2010年第7期66-68,92,共4页
利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集,再通过五步相... 利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集,再通过五步相移算法和分割线去包裹算法分别对干涉条纹图和包裹相位图进行分析处理可得到被测MEMS结构的离面微运动情况。为实现浮点型相位图数据的有效存取,提出了一种新的相位图文件格式。通过实验对硅微悬臂梁在不同幅值正弦基础激励下的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性误差小于10nm。 展开更多
关键词 微机电系统结构 频闪成像 显微干涉 离面运动
在线阅读 下载PDF
利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动 被引量:8
3
作者 郭彤 胡春光 +4 位作者 胡晓东 栗大超 金翠云 傅星 胡小唐 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1545,共4页
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运... 描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力. 展开更多
关键词 微机电系统 Mirau显微干涉仪 运动 离面运动 频闪照明
在线阅读 下载PDF
Influences of anisotropy and inhomogeneity on supporting pressure of tunnel face with kinematical approach 被引量:3
4
作者 杨小礼 李闻韬 潘秋景 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期3536-3543,共8页
Based on the active failure mechanism generated by a spatial discretization technique, the stability of tunnel face was studied. With the help of the spatial discretization technique, not only the anisotropy and inhom... Based on the active failure mechanism generated by a spatial discretization technique, the stability of tunnel face was studied. With the help of the spatial discretization technique, not only the anisotropy and inhomogeneity of the cohesion but also the inhomogeneity of the internal friction angle was taken into account in the analysis of the supporting forces. From the perspective of upper bound theorem, the upper bound solutions of supporting pressure were derived. The influence of the anisotropy and heterogeneity on the supporting forces as well as the failure mechanisms was discussed. The results show that the spatial discretization characteristics of cohesion and internal frictional angle impose a significant effect on the supporting pressure, which indicates that above factors should be considered in the actual engineering. 展开更多
关键词 tunnel face supporting forces ANISOTROPY INHOMOGENEITY upper bound theorem
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部