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题名离轴椭球面的反射式补偿检验
被引量：1
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作者
李红光
刘秀梅
达争尚
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所先进光学仪器研究室
长安大学兴华学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第8期2152-2155,共4页
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基金
国家高技术研究与发展计划(091Z511BOA)
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文摘
使用要求离轴椭球镜的面形PV(峰谷)值优于0.4λ(λ=351 nm)。根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理,得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式。由已知数据求解补偿光路的初始结构参数,并带入软件中得到优化后的设计结果,优化后的结果和初始结构参数没有变化,说明补偿光路的求解方法是正确的。考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差,将误差带入检测光路进行模拟分析后,得出被检元件的面形精度:取98%的合格概率时,椭球镜的面形PV为0.379λ(λ=351 nm),能够满足使用要求,说明离轴椭球面的反射式补偿检验法是可行的。
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关键词
反射式补偿检验
精度分析
离轴椭球面
三级像差理论
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Keywords
mirror-compensation test
precision analysis
off-axis elliptic surface
third-order aberration theory
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分类号
TH744
[机械工程—光学工程]
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题名离轴椭球面反射系统的设计
被引量：2
- 2
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作者
万国贤
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机构
长春光学精密机械学院基础科学系
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1995年第3期22-24,共3页
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文摘
阐述了离轴椭球面反射系统的设计方法，并提出改进设计的意见。
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关键词
离轴椭球面
反射系统
设计
红外光学系统
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Keywords
Non-Coaxial ellipsond, Reflective system
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分类号
TN21
[电子电信—物理电子学]
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题名一种基于离轴椭球面的小光程差波面整形系统
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作者
王泽宇
陈洁
杨磊
谢洪波
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机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期399-408,共10页
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基金
国防预研基金。
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文摘
为了实现空间中一定距离的近似等光程光束传输,设计了一种包含离轴椭球面反射镜的波面整形系统。基于几何光学与初级像差理论,结合Zemax光学设计软件,分析了椭球面反射镜圆锥系数、离轴量对像面处光程差的影响;设计了平面-椭球面反射镜和双椭球面反射镜2种光学结构的波面整形系统,并比较了2种结构的公差。分析结果表明:平面-椭球面反射系统和双椭球面反射系统均实现了空间中1 m距离的光束传输,且2种结构系统在3 mm物高视场和孔径角为6°条件下,各视场光瞳之间的光程差分别为0.14 mm和0.04 mm,因此,双椭球面反射结构整形效果优于平面-椭球面反射系统,但双椭球面反射结构对公差的敏感度更高。
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关键词
波面整形
小光程差
离轴椭球面
光学设计
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Keywords
wavefront shaping
tiny optical path difference
off-axis ellipsoidal surface
optical design
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分类号
TN202
[电子电信—物理电子学]
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