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几何光探针在表面形貌测量中的应用
被引量：
2
1
作者
杨春兰
浦昭邦
赵辉
《激光杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期1-4,共4页
本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 ,并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。
关键词
几何光探针
离焦误差检测
表面形貌测量
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
几何光探针在表面形貌测量中的应用
被引量：
2
1
作者
杨春兰
浦昭邦
赵辉
机构
哈尔滨工业大学
出处
《激光杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期1-4,共4页
文摘
本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 ,并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。
关键词
几何光探针
离焦误差检测
表面形貌测量
Keywords
geometrical optical stylus,defocusing error detection,confocal microscope,surface topographt
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
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作者
出处
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1
几何光探针在表面形貌测量中的应用
杨春兰
浦昭邦
赵辉
《激光杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
2
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