宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究 被引量：6

1

作者 徐均琪 弥谦 +2 位作者 杭凌侠 严一心 董网妮 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期23-27,53,共6页

介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究了离子源的离子能量及能量分布。结果表明，探针接收的离子最低能量随着引出电压和真空度的升高而升高... 介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究了离子源的离子能量及能量分布。结果表明，探针接收的离子最低能量随着引出电压和真空度的升高而升高。离子能量分布概率密度函数为单峰函数，其峰值位置随着真空度的降低向低能量方向移动，随着引出电压的升高向高能量方向移动。当引出电压为200～1200V时，离子平均能量为600-1600eV，呈线性规律变化。这种离子源的离子平均初始动能约为430-480eV。了解和掌握离子源的这些特性和参数，可以有效的对镀膜过程的微观环境（离子密度、离子能量等）进行控制，促进薄膜制备工艺更好地进行。 展开更多

关键词 离子能量 能量分布 离子源 离子束辅助沉积(IBAD) 薄膜

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螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断 被引量：6

2

作者 江南 王志强 +1 位作者 赵宁 李春茂 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期112-117,共6页

螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多 。 展开更多

关键词 密度 诊断 螺旋波等离子体 离子能量分布

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超高速碰撞产生等离子体云的粒子能量时空分布 被引量：2

3

作者 唐恩凌 张庆明 +5 位作者 王猛 相升海 夏瑾 杨明海 李乐新 张薇 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期3025-3028,共4页

为了研究超高速碰撞产生等离子体的粒子能量对航天器电路中元器件的毁伤,获得超高速碰撞产生等离子体粒子能量的时空分布特性是十分必要的。基于超高速碰撞产生稀薄等离子体中带电粒子的运动速度、等离子体的扩散特点,推导出等离子体的... 为了研究超高速碰撞产生等离子体的粒子能量对航天器电路中元器件的毁伤,获得超高速碰撞产生等离子体粒子能量的时空分布特性是十分必要的。基于超高速碰撞产生稀薄等离子体中带电粒子的运动速度、等离子体的扩散特点,推导出等离子体的粒子能量密度与带电粒子密度及带电粒子运动速度的关系式。进而通过对超高速碰撞2024-T4铝靶实验采集的原始数据分析,利用Matlab编程得到了超高速碰撞2024-T4铝靶产生膨胀等离子体云物理过程中,等离子体的粒子能量密度与带电粒子持续时间及被测点到碰撞点距离的时空分布规律。 展开更多

关键词 超高速碰撞 等离子体 能量密度 时空分布

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氮ECR微波等离子体的电子能量分布研究 被引量：1

4

作者 徐茵 顾彪 +1 位作者 夏亚红 秦福文 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期45-50,共6页

为了对ＧａＮ薄膜低温生长提供更多的活性氮，在一个腔耦合电子回旋共振（ＥＣＲ）半导体加工装置上，用朗谬探针和二次微分理论，研究了氮ＥＣＲ等离子体的实际电子能量分布。发现它们都是非麦克斯韦分布，含有高能电子，而且随着放电... 为了对ＧａＮ薄膜低温生长提供更多的活性氮，在一个腔耦合电子回旋共振（ＥＣＲ）半导体加工装置上，用朗谬探针和二次微分理论，研究了氮ＥＣＲ等离子体的实际电子能量分布。发现它们都是非麦克斯韦分布，含有高能电子，而且随着放电气压的下降和微波功率的增加，高能电子成分增加。 展开更多

关键词 电子能量分布 ECR 微波等离子体 半导体 掺杂

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相对论重离子碰撞的纵向流分布与碰撞能量关系的研究 被引量：1

5

作者 袁显宝 冯笙琴 《三峡大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第5期467-469,共3页

利用相对论纵向非均匀集体流模型 ,讨论较大的碰撞系统 (Au Au和Pb Pb作用 )分别在AGS、SPS和RHIC能区的重子纵向集体流分布特征 .发现 :能量越高 ,纵向流的非均匀分布特征越强 ,即在最新的RHIC能区所产生的粒子系统具有很强的非均匀分... 利用相对论纵向非均匀集体流模型 ,讨论较大的碰撞系统 (Au Au和Pb Pb作用 )分别在AGS、SPS和RHIC能区的重子纵向集体流分布特征 .发现 :能量越高 ,纵向流的非均匀分布特征越强 ,即在最新的RHIC能区所产生的粒子系统具有很强的非均匀分布特征 ,表现为很强的核透明性 .这一研究不仅可以帮助了解最新的RHIC能区的粒子分布特征 。 展开更多

关键词 RHIC能区 相对论重离子碰撞 能量关系 粒子分布 重子 非均匀 能量变化 纵向 AGS 分布特征

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等离子喷涂枪喷嘴能量分布的数值模拟

6

作者 李德元 韩海玲 +1 位作者 钱静娜 董晓强 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2010年第3期270-274,共5页

为了给等离子枪体的设计提供理论依据,利用FLUENT软件对等离子喷涂枪水冷却流动和换热进行了数值建模与计算.由于等离子枪体的热压缩效应主要是靠内部水冷系统完成,理想的水冷系统应该能尽快地将等离子束流所产生的热量带走,因此,对等... 为了给等离子枪体的设计提供理论依据,利用FLUENT软件对等离子喷涂枪水冷却流动和换热进行了数值建模与计算.由于等离子枪体的热压缩效应主要是靠内部水冷系统完成,理想的水冷系统应该能尽快地将等离子束流所产生的热量带走,因此,对等离子枪体冷却水流场进行了研究,得出了喷嘴的温度场和水流速度场,明确了喷嘴的能量分布.研究结果表明,等离子枪体损失功率的一部分能量集中在阳极斑点,其他均匀分布在喷嘴上.其结论对等离子喷涂枪的设计具有参考价值. 展开更多

关键词 等离子枪体 热喷涂 喷嘴 能量分布 阳极斑点 数值模拟 流场 温度场

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强流脉冲离子束能量密度分布的红外诊断 被引量：3

7

作者 屈苗 喻晓 +7 位作者 张洁 沈杰 钟昊玟 张艳燕 颜莎 张小富 张高龙 乐小云 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期216-220,共5页

强流脉冲离子束在靶上的能量密度分布是其研究和应用的一个重要参数.为了解决现有束流能量密度诊断方法的不足,利用红外成像仪测量靶背面的温度分布,从而建立了强流脉冲离子束能量密度分布的红外诊断方法.对能量密度1J/cm2量级、脉冲宽... 强流脉冲离子束在靶上的能量密度分布是其研究和应用的一个重要参数.为了解决现有束流能量密度诊断方法的不足,利用红外成像仪测量靶背面的温度分布,从而建立了强流脉冲离子束能量密度分布的红外诊断方法.对能量密度1J/cm2量级、脉冲宽度为102ns量级的束流,该方法测量误差好于5%,空间分辨率可达到1～2mm,具有操作简便、成本低的优点,是强脉冲能量沉积分布的一种高效迅速的诊断方法. 展开更多

关键词 强流脉冲离子束 红外诊断 红外校准曲线 能量密度分布 横向扩散

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热离子能量转换器铯电弧工况下电子势能的分布特性 被引量：3

8

作者 钟武烨 吕征 +1 位作者 郑剑平 杨启法 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期2223-2232,共10页

为阐明热离子能量转换器铯电弧工况下电子势能分布的特征,基于动理学方法建立了电极间隙低温弱电离等离子体的输运方程,将等离子体鞘层处理为输运的边界条件。采用牛顿迭代法编制了计算程序,实现了等离子体输运方程与边界条件的自适应... 为阐明热离子能量转换器铯电弧工况下电子势能分布的特征,基于动理学方法建立了电极间隙低温弱电离等离子体的输运方程,将等离子体鞘层处理为输运的边界条件。采用牛顿迭代法编制了计算程序,实现了等离子体输运方程与边界条件的自适应解耦求解。研究发现,采用输运理论获得的伏安特性与实验符合较好,随着输出电流密度的增大,发射极鞘层的电子势能跃变产生了由非单调到单调的变化,同时接收极鞘层的电子势能发生跃变方向的改变。 展开更多

关键词 热离子能量转换 电弧工况 电子势能分布

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聚变等离子体中α粒子的密度与能量分布的诊断 被引量：2

9

作者 陈志煜 郑曙昕 李兴中 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期23-29,共7页

本文提出了一种基于弹丸注入技术和（α，ｎγ）核反应的α粒子诊断方案。它的基本原理是，将由铍制成的弹丸高速射入聚变等离子体中，在其未被等离子体完全烧蚀掉前，测量α粒子打到弹丸表面时发生核反应所放出的γ射线和中子。由于９... 本文提出了一种基于弹丸注入技术和（α，ｎγ）核反应的α粒子诊断方案。它的基本原理是，将由铍制成的弹丸高速射入聚变等离子体中，在其未被等离子体完全烧蚀掉前，测量α粒子打到弹丸表面时发生核反应所放出的γ射线和中子。由于９Ｂｅ与α粒子间两个反应产额的分支比随着入射α粒子能量的变化而迅速升降，因此通过测量这两个反应分支的反应数及其比值，就可以获得弹丸附近α粒子的密度和能量信息。由于此诊断核反应集中发生在弹丸表面，因此易于在空间上确定反应发生的位置，从而可以诊断出α粒子的空间分布。这是目前其它一些诊断方案所难以做到的。 展开更多

关键词 α粒子诊断 能量分布 核聚变 等离子体 密度分布

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射频等离子体离子能量分布特性研究

10

作者 邢海龙 金伟 +6 位作者 梁传辉 代波 任勇 毛新春 王东平 王小英 陈长安 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期598-602,共5页

利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低... 利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐渐降低;而氮-氘混合等离子体生成的氨系离子ND_(4)^(+),峰值离子能量随氘气进气速率先降低后上升,通量密度先增大后降低。 展开更多

关键词 感应耦合等离子体 离子能量分布 进气速率

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不同离子强度下饱和多孔介质中多分散颗粒沉积特征

11

作者 邹志科 余蕾 +3 位作者 李亚龙 牛书瑶 乔伟 边久 《长江科学院院报》 北大核心 2025年第6期71-77,共7页

多分散颗粒在自然环境中广泛存在,精确预测不利条件下(颗粒-介质表面存在排斥力)多分散颗粒在饱和介质中的运移和沉积至关重要。开展了不同离子强度条件下(1、6、20、200 mM)多分散颗粒(0.375~18.863μm)人工回灌一维砂柱定流量试验,探... 多分散颗粒在自然环境中广泛存在,精确预测不利条件下(颗粒-介质表面存在排斥力)多分散颗粒在饱和介质中的运移和沉积至关重要。开展了不同离子强度条件下(1、6、20、200 mM)多分散颗粒(0.375~18.863μm)人工回灌一维砂柱定流量试验,探索不同离子强度(不利条件和有利条件)下多分散颗粒的沉积特征,耦合不利条件下胶体吸附效率模型与多分散颗粒沉积模型,建立不利条件下多分散颗粒沉积模型,并进行相应的数值模拟。物理试验和数值模拟结果表明:相比有利条件,不利条件下微观尺度多分散颗粒的捕获概率因存在能量势垒而减小了8.5%~67.6%,颗粒粒径越小,颗粒捕获概率的降幅越大;有利条件下颗粒的最终沉积剖面曲线呈“上陡下缓”的超指数分布,沉积总量随离子强度的增加而增加,在砂柱上部的沉积总量为16.7%~24.6%,离子强度的降低加剧了沉积剖面“上陡下缓”的非均等分布。 展开更多

关键词 多分散颗粒 沉积特征 离子强度 数值模拟 能量势垒 吸附效率 超指数分布

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均匀密度等离子体柱中螺旋波径向场型分布及能量分布数值研究

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作者 李文秋 王刚 苏小保 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1295-1300,共6页

本文考察在高密度、强磁化径向密度均匀等离子体柱中,在径向等离子体密度量级及轴向静磁场数值不断增大的情况下,等离子体柱内右旋螺旋波与左旋螺旋波的电磁场幅值分布特性及径向模式能量分布特性。采用数值方法,求解基于m=-1方程组的... 本文考察在高密度、强磁化径向密度均匀等离子体柱中,在径向等离子体密度量级及轴向静磁场数值不断增大的情况下,等离子体柱内右旋螺旋波与左旋螺旋波的电磁场幅值分布特性及径向模式能量分布特性。采用数值方法,求解基于m=-1方程组的耦合波方程组,得到2×10-2~9×10-2T磁场变化区间与1×10^(13)~9×10^(13)cm^(-3)径向等离子体密度量级变化条件下等离子体柱内右旋螺旋波与左旋螺旋波的场幅值及其径向能量分布情形。计算结果表明,轴向静磁场B0增大(2×10^(-2)~9×10^(-2)T),左旋螺旋波(LH-wave)场幅值减小,右旋螺旋波(RH-wave)场幅值增大,RH-wave与LH-wave径向能量幅值均减小;径向密度n_0增大,LH-wave场幅值增大,RH-wave场幅值减小,RH-wave与LH-wave径向能量幅值均增大;LH-wave能量峰值位置在距等离子体柱中心轴1/5半径处,而RH-wave能量峰值位置出现在中心轴附近处;B0约为几百高斯、n_0约为10^(13)cm^(-3)量级条件下,RH-wave总是较LH-wave在场幅值与能量沉积过程中占主导地位。 展开更多

关键词 螺旋波 磁化等离子体 能量分布 数值方法

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LEAD螺旋波射频等离子体电子能量分布函数的测量

13

作者 朱宇轩 聂林 +14 位作者 许敏 刘灏 王华杰 陈逸航 王晨宇 柯锐 王占辉 胡世林 李兵利 龚少博 袁金榜 严一帆 龙婷 余羿 吴婷 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期71-76,共6页

通过电压扫描探针测量了LEAD装置螺旋波射频等离子体伏安特性曲线和电子能量分布函数,并对等离子体基本参数剖面如电子温度、密度、等离子体电位和鞘电位降系数等进行了计算。实验发现在LEAD装置半径5cm以内的位置电子能量分布函数都遵... 通过电压扫描探针测量了LEAD装置螺旋波射频等离子体伏安特性曲线和电子能量分布函数,并对等离子体基本参数剖面如电子温度、密度、等离子体电位和鞘电位降系数等进行了计算。实验发现在LEAD装置半径5cm以内的位置电子能量分布函数都遵循麦克斯韦分布。而在半径7cm附近,即与射频源线圈处于相同径向位置,电子能量呈现出典型的双麦克斯韦分布特征,这将导致传统探针基于麦克斯韦分布假设的诊断结果需要修正。 展开更多

关键词 螺旋波射频等离子体 电子能量分布函数 电压扫描探针 线性装置

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高功率红宝石激光脱附的铜团簇离子的速率和能量分布

14

作者 吴美萍 朱雷 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期53-57,共5页

用飞行时间质谱仪测量了铜阳离子团簇Ｃｕ＋的能量。团簇Ｃｕ＋ｎ（ｎ≤５）用高功率脉冲红宝石激光从铜样品上脱附。用两次质谱法测定了主铜离子团簇Ｃｕ＋的速度分布与相应的能量分布，发现它的最可几速率和最可几能量分别为１０ｋｍ... 用飞行时间质谱仪测量了铜阳离子团簇Ｃｕ＋的能量。团簇Ｃｕ＋ｎ（ｎ≤５）用高功率脉冲红宝石激光从铜样品上脱附。用两次质谱法测定了主铜离子团簇Ｃｕ＋的速度分布与相应的能量分布，发现它的最可几速率和最可几能量分别为１０ｋｍ／ｓ和３３ｅＶ。结果还表明，它的动能分布在一个很宽的范围内（０－１５０ｅＶ）。对离子产生机理进行的探讨表明，在激光和固体的这种相互作用时，固—气两相处在非平衡态中。 展开更多

关键词 红宝石激光脱附 团簇离子 速度分布 能量分布

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激光等离子体能量角分布及吸收定标律 被引量：2

15

作者 孙可煦 谢平 江文勉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期51-60,共10页

主要研究激光平面靶等离子体发射能量角分布及吸收定标律。实验利用高斯型1.06μm激光脉冲,其能量为2～50J,脉冲宽度为0.3～2.2ns,靶面平均辐照强度为1.8×1013～1.1x10^(15)W/cm^2,光束以25°角入射。实验采用了Au、Ag、Ti、Al... 主要研究激光平面靶等离子体发射能量角分布及吸收定标律。实验利用高斯型1.06μm激光脉冲,其能量为2～50J,脉冲宽度为0.3～2.2ns,靶面平均辐照强度为1.8×1013～1.1x10^(15)W/cm^2,光束以25°角入射。实验采用了Au、Ag、Ti、Al和C_8H_8等厚靶。用等离子体卡计测量靶面吸收的激光能量。用指数函数拟合实验数据,给出了吸收效率分别作为激光强度、脉冲宽度和靶材料原子序数的函数的定标关系式。这些关系式定性地与逆轫致吸收的理论关系式相一致。 展开更多

关键词 激光等离子体 能量 角分布 吸收

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等离子体离子能量自动分析器的研制和应用 被引量：8

16

作者 吴先球 陈俊芳 +3 位作者 蒋珍美 熊予莹 吴开华 任兆杏 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期186-188,共3页

为了快速获得等离子体离子能量的分布规律 ,研制了一套等离子体离子能量自动分析器 .离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成 .利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为 12～ 4 2eV ,不存... 为了快速获得等离子体离子能量的分布规律 ,研制了一套等离子体离子能量自动分析器 .离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成 .利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为 12～ 4 2eV ,不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子 。 展开更多

关键词 离子能量分布 器件损伤 自动能量分析器 ECR-PECVD

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轰击阴极的重粒子能量分布 被引量：2

17

作者 张连珠 于威 傅广生 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期94-100,共7页

采用蒙特卡罗模拟对氮辉光放电等离子体中轰击阴极的重粒子 (N+ 2 ,N+ ,Nf 及N2f)能量分布随放电参数的变化规律进行了研究。结果表明 :阴极壁前诸粒子的能量分布取决于粒子被加速的能量和碰撞频率 ,能量较低的快原子Nf 的密度比高能粒... 采用蒙特卡罗模拟对氮辉光放电等离子体中轰击阴极的重粒子 (N+ 2 ,N+ ,Nf 及N2f)能量分布随放电参数的变化规律进行了研究。结果表明 :阴极壁前诸粒子的能量分布取决于粒子被加速的能量和碰撞频率 ,能量较低的快原子Nf 的密度比高能粒子N+ 的密度高近两个量级。在活性氮粒子 (N+ ,Nf)产率最高的放电条件下 ,适当降低放电气压 ,提高阴极位降和气体温度 ,有利于两种活性氮粒子 (N+ ,Nf)达到阴极。 展开更多

关键词 辉光放电 蒙特卡罗方法 重粒子 能量分布 放电参数 等离子体 阴极壁

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针—板介质阻挡放电中电子能量空间分布研究 被引量：1

18

作者 董丽芳 嵇亚飞 李永辉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3210-3212,共3页

测量了大气压环境下氩气空心针—板放电等离子体中原子与分子谱线强度的空间分布,分析了等离子体中电子能量的空间分布。实验利用空心针—板放电装置,得到了约3cm长的放电等离子体弧。在300～800nm范围内采集发射光谱,发现了强度较高的A... 测量了大气压环境下氩气空心针—板放电等离子体中原子与分子谱线强度的空间分布,分析了等离子体中电子能量的空间分布。实验利用空心针—板放电装置,得到了约3cm长的放电等离子体弧。在300～800nm范围内采集发射光谱,发现了强度较高的ArⅠ谱线、N2第二正带系谱线C 3Πu(ν′=0)→B3Πg(ν″=0)以及强度较弱的OⅠ谱线。实验测量了N2谱线(337.1,357.6及380.4nm)、氩原子谱线(696.54,763.51,772.42及794.82nm)和OⅠ777.2nm谱线强度的空间分布,结果表明:氮分子谱线强度由弧根开始逐渐升高,当距离弧根12mm时强度达到最大值并开始下降;氩原子谱线强度由弧根到弧梢逐渐降低;氧原子谱线强度从弧根开始逐渐升高,当距离弧根6mm时强度达到最大值并开始下降。定性地讨论了等离子体弧中电子能量分布,发现距离弧根为6mm处电子能量最高,而弧根处电子能量最低。 展开更多

关键词 等离子体弧 空间分布 电子能量

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27.12 MHz基片偏压在调控磁控溅射离子能量中的作用研究 被引量：1

19

作者 吴茂成 叶超 刘溪悦 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期373-380,共8页

在基片上施加射频偏压,调控入射离子能量特性,可以有效地控制薄膜生长与性能。常用的13.56 MHz射频基片偏压具有入射离子能量呈展宽发散分布、较强的高能离子轰击作用问题。为解决这些问题,本文通过提高射频偏压频率的方法,采用拒斥场... 在基片上施加射频偏压,调控入射离子能量特性,可以有效地控制薄膜生长与性能。常用的13.56 MHz射频基片偏压具有入射离子能量呈展宽发散分布、较强的高能离子轰击作用问题。为解决这些问题,本文通过提高射频偏压频率的方法,采用拒斥场能量分析技术,研究了27.12 MHz射频基片偏压对磁控溅射基片表面离子能量分布特性和离子通量密度性能的影响。结果表明,27.12 MHz射频基片偏压可以有效降低高能离子密度,提高低能离子密度,使离子能量更集中分布,从而降低高能离子对基片的轰击作用。离子能量分布特性的变化与基片偏压频率提高导致的离子渡越鞘层时间τi延长、离子与中性基团碰撞几率增大有关。碰撞几率增大使高能离子比例降低、低能离子比例增大,离子能量分布变窄,离子能量的发散降低。因此,提高基片射频偏压频率,可以降低离子能量的发散和高能离子对基片产生的不利作用。 展开更多

关键词 磁控溅射 基片偏压 离子能量分布 射频放电

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用背散射方法研究砷离子注入单晶硅的分布和热退火后的再分布 被引量：1

20

作者 王大椿 朱光华 +3 位作者 卢殿通 卢志恒 郑胜男 赵玉华 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS 1983年第2期57-62,共6页

与注磷相比,五价的砷元素作为施主杂质注入半导体材料硅中,具有许多独特的优点:(1)固溶度高;(2)投影射程小,可以得到较浅的p-n结;(3)有可能通过人为控制,使砷扩散后的浓度分布趋于对发射极有利的矩形分布;(4)引起的损伤较浅。

关键词 背散射分析 施主杂质 投影射程 注入能量 半导体材料 浓度分布 退火温度 峰值浓度 离子注入 退火条件

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