期刊文献+
共找到5篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
离子源辅助电子束沉积凹印版耐磨层 被引量:2
1
作者 张跃飞 王正铎 +3 位作者 付亚波 陈强 张广秋 葛袁静 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期317-320,共4页
针对凹印版电镀存在的污染和高能耗,采用射频感应偶合(ICP)离子源辅助电子束沉积硬质铬耐磨层,通过控制离子源参数和加入过渡层来提高薄膜与基体的结合力和显微硬度。利用扫描电镜、原子力显微镜、显微硬度计、划痕仪、表面轮廓仪,摩擦... 针对凹印版电镀存在的污染和高能耗,采用射频感应偶合(ICP)离子源辅助电子束沉积硬质铬耐磨层,通过控制离子源参数和加入过渡层来提高薄膜与基体的结合力和显微硬度。利用扫描电镜、原子力显微镜、显微硬度计、划痕仪、表面轮廓仪,摩擦磨损仪对膜层的组织结构和性能进行了研究,探讨了在薄膜沉积过程中,离子源工艺参数对薄膜界面结合机理,组织结构和性能的影响。 展开更多
关键词 离子源辅助沉积 过渡层 离子轰击 附着牢度
在线阅读 下载PDF
基于塑料镜片防水加硬抗老化光学薄膜的研制 被引量:11
2
作者 付秀华 刘禹冰 +2 位作者 熊仕富 郭贵新 杨永亮 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期83-88,共6页
为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加... 为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加热法镀制防水膜。通过选择新材料SV-55作为连接层,增强了塑料镜片与膜层的附着力,解决了膜系与塑料镜片膨胀系数不匹配的问题,提高了塑料镜片的抗温能力。通过优化工艺参数,得到400nm^700nm反射率R≤1%的绿色减反膜。测试结果显示,研制的薄膜具有耐摩擦、抗老化、防水和防油污的特性。 展开更多
关键词 光学薄膜 光学塑料 减反膜 离子源辅助沉积
在线阅读 下载PDF
多功能防油污减反膜的研制 被引量:4
3
作者 付秀华 吴冠岐 +2 位作者 刘冬梅 寇洋 韩放 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期198-202,共5页
为了改善光学镜头表面的耐污染性,选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料.借助TFCalc软件进行膜系设计,采用离子源辅助沉积的方法,通过电子柬真空镀膜设备进行制备.对... 为了改善光学镜头表面的耐污染性,选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料.借助TFCalc软件进行膜系设计,采用离子源辅助沉积的方法,通过电子柬真空镀膜设备进行制备.对比实验发现,不同的真空度环境以及不同的膜层厚度,对于薄膜的防油污性能的影响有所差异.通过对防油污性能的测试,不断优化沉积工艺参量,获得了在350~700nm波段平均理论反射率小于1%的宽带减反射膜.该薄膜具有憎水憎油抗污染能力,牢固度好,抗辐射能力强,可应用于军事、医疗、民用等各个领域. 展开更多
关键词 光学薄膜 防油污 宽带减反膜 离子源辅助沉积 抗辐射
在线阅读 下载PDF
车载抬头显示光学系统塑料元件反射膜的研制 被引量:2
4
作者 刘冬梅 刘文成 +3 位作者 付秀华 张静 岳鹏飞 李爽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1083-1089,共7页
为了提高抬头显示系统中投影镜和反射镜的耐环境性和光学性能,以聚碳酸酯(PC)作为基底,采用电子束蒸发技术,使用过渡层和连接层技术以及渐增式离子源工艺,解决了薄膜与基底的附着力问题;利用真空退火,改善了环境测试过程中薄膜的膜裂现... 为了提高抬头显示系统中投影镜和反射镜的耐环境性和光学性能,以聚碳酸酯(PC)作为基底,采用电子束蒸发技术,使用过渡层和连接层技术以及渐增式离子源工艺,解决了薄膜与基底的附着力问题;利用真空退火,改善了环境测试过程中薄膜的膜裂现象;通过调节最外层SiO2的离子源工艺,改善了水煮测试过程中薄膜因水汽渗透而导致的反射率下降的问题。制备了耐环境性能强的平均反射率大于95%的金属-介质结构的高反射膜。实际样品满足抬头显示系统的要求,并通过了多项环境测试。 展开更多
关键词 光学薄膜 抬头显示系统 光学塑料 铝反射膜 离子源辅助沉积
在线阅读 下载PDF
光纤激光器相关的薄膜设计 被引量:1
5
作者 岳威 洪冬梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1160-1161,共2页
文章介绍了两种应用于光纤激光器的薄膜类型,分别为长波通和短波通截止滤光膜。光纤激光器用薄膜的显著特点,就是在具有较高的激光损伤阈值的同时,又能把近波长的光线按照光谱特性要求分离,这其中就包括泵浦光波长(980nm)和信号... 文章介绍了两种应用于光纤激光器的薄膜类型,分别为长波通和短波通截止滤光膜。光纤激光器用薄膜的显著特点,就是在具有较高的激光损伤阈值的同时,又能把近波长的光线按照光谱特性要求分离,这其中就包括泵浦光波长(980nm)和信号光波长(1050~1100nm)。 展开更多
关键词 光纤激光器 截止滤光膜 离子源辅助沉积
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部