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电弧离子镀制备TiBN纳米复合涂层被引量：1: 1; 作者田灿鑫李助军 +3 位作者刘怡飞杨兵付德君苏峰华《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期151-155,共5页; 目的在纯N_2气氛环境下,低温制备TiBN纳米复合涂层,为TiBN涂层工业化生产积累科学数据。方法采用离子源增强阴极电弧离子镀系统,在硬质合金衬底上制备TiBN纳米复合涂层,系统研究了N_2气压对TiBN涂层晶体结构、表面形貌、硬度和耐磨性能... 展开更多; 关键词离子源增强电弧离子镀 TiBN涂层显微硬度摩擦系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

气体离子源辅助电弧离子镀在硬质合金表面制备AlCrN涂层的性能被引量：1: 2; 作者冉龙姣郑思婷 +5 位作者范洪远鲜广熊计郭智兴赵海波敬正彪《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期94-98,共5页; 分别采用气体离子源辅助电弧离子镀和普通电弧离子镀方法在硬质合金表面沉积了AlCrN涂层,并对两种方法制备的AlCrN涂层的组织、成分、硬度、结合强度和耐磨性进行了对比分析。结果表明:两种方法制备的AlCrN涂层表面平整,涂层结合强度均... 展开更多; 关键词气体离子源辅助沉积电弧离子镀 AlCrN涂层硬质合金; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究被引量：2: 3; 作者刘一奇韩克昌 +3 位作者林国强石昌仑卢国英李晓勇《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期100-105,共6页; 在等离子体增强电弧离子镀设备中,用热丝增强放电的辉光等离子体对1Cr17Ni2马氏体不锈钢进行表面氮化处理。对氮化层的表面形貌、成分、相结构及性能进行了测试及分析。结果表明,氮化处理后不锈钢的表面硬度从3.67 GPa最高提升到9.25 G... 展开更多; 关键词 1Cr17Ni2不锈钢电弧离子镀等离子体增强氮化/DLC涂层复合改性; 在线阅读下载PDF 职称材料

非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究被引量：4: 4; 作者于大洋马胜歌 +1 位作者张以忱徐路《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2006年第6期43-46,共4页; 将非平衡磁控溅射和电弧离子镀工艺相结合,并使用霍尔离子源辅助,制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜。对DLC薄膜的表面形貌、内部结构、力学性能以及电学性能进行了分析测试,结果表明:膜层中含有sp2键和sp3键结构,硬度达到HV(20g)2... 展开更多; 关键词硬质膜 DLC 非平衡磁控溅射电弧离子镀霍尔离子源; 在线阅读下载PDF 职称材料

脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响被引量：1: 5; 作者李刚蔡长龙等《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第B12期67-70,共4页; 薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素，利用脉冲真空电弧离子镀技术在Si基片上沉积山类金刚石薄膜，采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量，研究服不同工艺参数对薄膜均匀性的影响。实验结果表明：脉冲离子源阴极和基片的距... 展开更多; 关键词脉冲真空电弧离子源工艺参数薄膜厚度分布脉冲电弧离子镀厚度均匀性制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

VN基硬质耐磨涂层的制备及其性能被引量：2: 6; 作者田灿鑫何诗敏 +5 位作者何世斌王泽松邹长伟唐晓山李助军刘怡飞《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期152-159,共8页; 目的在N2及其与C2H2混合气氛下,制备VN基硬质耐磨涂层,研究VN基涂层的结构及力学、耐磨、抗腐蚀性能,为工业化应用积累科学数据。方法采用阳极层离子源辅助阴极电弧离子镀系统,在高速钢衬底上制备VN、VCN和VCN/VN多层涂层,系统研究多层... 展开更多; 关键词电弧离子镀阳极层离子源 VN基涂层显微硬度耐磨性耐腐蚀性; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电弧离子镀制备TiBN纳米复合涂层被引量：1: 1; 作者田灿鑫李助军刘怡飞杨兵付德君苏峰华; 机构广州铁路职业技术学院机械与电子学院武汉大学加速器实验室华南理工大学机械与汽车工程学院; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期151-155,共5页; 基金国家自然科学基金(11405117 11405280) +2 种基金广州市属高校产学研基地(14CXY09)~~; 文摘目的在纯N_2气氛环境下,低温制备TiBN纳米复合涂层,为TiBN涂层工业化生产积累科学数据。方法采用离子源增强阴极电弧离子镀系统,在硬质合金衬底上制备TiBN纳米复合涂层,系统研究了N_2气压对TiBN涂层晶体结构、表面形貌、硬度和耐磨性能的影响。结果 N_2气压对TiBN纳米复合涂层的晶体结构、表面形貌、硬度及摩擦系数的影响明显。随着N_2气压的升高,TiBN涂层中的TiN晶相逐渐增多,TiB_2晶相逐渐减少,为TiN晶粒和TiB_2晶粒镶嵌于非晶BN基体的复合结构。在0.5 Pa气压下,涂层硬度达3150HV。对于对磨材料硬质合金而言,TiBN涂层的摩擦系数为0.4左右。结论离子源增强电弧离子镀技术可以用于TiBN涂层的制备,制备出的TiBN涂层为纳米晶镶嵌于非晶的纳米复合涂层,涂层的显微硬度较高。在TiBN纳米复合涂层的工业化生产中,沉积N_2气压不宜偏高。; 关键词离子源增强电弧离子镀 TiBN涂层显微硬度摩擦系数; Keywords ion source-enhanced arc ion plating TiBN coatings microhardness friction coefficient; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气体离子源辅助电弧离子镀在硬质合金表面制备AlCrN涂层的性能被引量：1: 2; 作者冉龙姣郑思婷范洪远鲜广熊计郭智兴赵海波敬正彪; 机构成都大学机械工程学院四川大学机械工程学院四川大学分析测试中心成都工业职业技术学院装备制造学院; 出处《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期94-98,共5页; 基金国家自然科学基金重点项目(51634006) 四川省科技重大项目(2020ZDZX0022) +1 种基金川大-自贡校地科技合作专项(2019CDZG-11)。; 文摘分别采用气体离子源辅助电弧离子镀和普通电弧离子镀方法在硬质合金表面沉积了AlCrN涂层,并对两种方法制备的AlCrN涂层的组织、成分、硬度、结合强度和耐磨性进行了对比分析。结果表明:两种方法制备的AlCrN涂层表面平整,涂层结合强度均在100 N以上。普通电弧离子镀方法制备的AlCrN涂层厚度较薄,金属原子占比较小,表面粗糙度相对较低,摩擦系数较小,硬度和耐磨性也较低。由于气体离子源辅助沉积具有提高金属原子离化率的作用,气体离子源辅助电弧离子镀方法制备的AlCrN涂层生长速率更快,硬度和耐磨性提高。; 关键词气体离子源辅助沉积电弧离子镀 AlCrN涂层硬质合金; Keywords gas ion source assisted deposition arc ion plating AlCrN coating cemented carbide; 分类号 TG711 [金属学及工艺—刀具与模具]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究被引量：2: 3; 作者刘一奇韩克昌林国强石昌仑卢国英李晓勇; 机构大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室常州夸克涂层科技有限公司沈阳飞机工业(集团)有限公司; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期100-105,共6页; 文摘在等离子体增强电弧离子镀设备中,用热丝增强放电的辉光等离子体对1Cr17Ni2马氏体不锈钢进行表面氮化处理。对氮化层的表面形貌、成分、相结构及性能进行了测试及分析。结果表明,氮化处理后不锈钢的表面硬度从3.67 GPa最高提升到9.25 GPa,并且在50μm深的范围内保持7.32 GPa以上的硬度,改性层内有CrN和Fe_2N新相生成是硬化的主要原因,不过与基体相比,摩擦系数仅从1.1略微降低到0.9。在氮化预处理的基础上,再一体化用碳靶阴极弧等离子体对1Cr17Ni2钢进行氮化/DLC涂层复合改性处理,对表面DLC涂层改性层的品质及性能进行了测试与分析。结果表明,复合改性处理后,因表面得到1.5μm厚的高品质的DLC涂层,及氮化预处理使得表面硬度有梯度提升,使1Cr17Ni2钢的整体表面硬度进一步提高到17.06 GPa,且摩擦系数显著降低到0.08。; 关键词 1Cr17Ni2不锈钢电弧离子镀等离子体增强氮化/DLC涂层复合改性; Keywords 1Cr17Ni2 stainless steel Arc ion plating Plasma enhanced Nitriding/DLC coating composite modification; 分类号 TG156 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究被引量：4: 4; 作者于大洋马胜歌张以忱徐路; 机构东北大学机械学院深圳国家; 出处《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2006年第6期43-46,共4页; 文摘将非平衡磁控溅射和电弧离子镀工艺相结合,并使用霍尔离子源辅助,制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜。对DLC薄膜的表面形貌、内部结构、力学性能以及电学性能进行了分析测试,结果表明:膜层中含有sp2键和sp3键结构,硬度达到HV(20g)2600以上,摩擦因数接近0.1,电阻高于2MΩ。; 关键词硬质膜 DLC 非平衡磁控溅射电弧离子镀霍尔离子源; Keywords hard film DLC unbalanced magnetron sputtering cathode arc hall ion source; 分类号 O484.4 [理学—固体物理] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响被引量：1: 5; 作者李刚蔡长龙等; 机构西安工业学院光电科学与工程系; 出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第B12期67-70,共4页; 文摘薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素，利用脉冲真空电弧离子镀技术在Si基片上沉积山类金刚石薄膜，采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量，研究服不同工艺参数对薄膜均匀性的影响。实验结果表明：脉冲离子源阴极和基片的距离，主回路工作电压以及沉积频率对薄膜均匀性有不同程度的影响。根据分析结果，找出最佳工艺参数，通过比较两种离子源的结果表明，离子源结构对其镀膜均匀性有较大的影响。; 关键词脉冲真空电弧离子源工艺参数薄膜厚度分布脉冲电弧离子镀厚度均匀性制备; 分类号 TB43 [一般工业技术] O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名VN基硬质耐磨涂层的制备及其性能被引量：2: 6; 作者田灿鑫何诗敏何世斌王泽松邹长伟唐晓山李助军刘怡飞; 机构岭南师范学院广州铁路职业技术学院; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期152-159,共8页; 基金广东省科技计划-国际合作项目(2018A050506082) 岭南师范学院人才项目(ZL1931) 大学物理教学团队项目(114961700249)~~; 文摘目的在N2及其与C2H2混合气氛下,制备VN基硬质耐磨涂层,研究VN基涂层的结构及力学、耐磨、抗腐蚀性能,为工业化应用积累科学数据。方法采用阳极层离子源辅助阴极电弧离子镀系统,在高速钢衬底上制备VN、VCN和VCN/VN多层涂层,系统研究多层涂层调制周期厚度变化对涂层晶体结构、表面形貌、硬度、耐磨性及耐腐蚀性能的影响。结果 C原子的加入和VCN/VN多层涂层调制周期的变化对VCN/VN涂层的晶体结构、表面形貌、硬度、摩擦系数及耐腐蚀性能均有明显影响。随着VCN/VN涂层调制周期的增加,VN(200)衍射峰逐渐减弱并宽化,VN (111)衍射峰消失,涂层表面金属熔滴大颗粒数量减少,小颗粒数量明显增加。VN涂层硬度为1890HV,VCN涂层硬度为2290HV,VN/VCN多层涂层硬度为2350HV左右。对磨材料为氧化铝时,VN涂层的摩擦系数为0.74左右,VCN涂层和VCN/VN涂层的摩擦系数明显降低,在0.60左右,磨损机理由以磨削磨损为主(VN涂层)逐渐转化为粘着磨损为主(S5),磨削磨损起次要作用。随着C原子的加入和VCN/VN多层涂层调制周期的变化,涂层耐腐蚀性能明显增强,自腐蚀电位由VN的-0.26 V增大到VCN的-0.14 V,自腐蚀电流密度由1.63′10^(-5) A/cm^2降低到2.7′10(-6) A/cm^2。结论采用阳极层离子源辅助电弧离子镀技术可制备VN基硬质耐磨涂层,C元素的加入可有效提高VN涂层的硬度,降低VN涂层的摩擦系数,增强VN涂层的耐腐蚀性能。VCN/VN多层涂层通过周期厚度的调制可以有效提高VN基涂层的硬度、耐磨及耐腐蚀性能。; 关键词电弧离子镀阳极层离子源 VN基涂层显微硬度耐磨性耐腐蚀性; Keywords cathodic arc ion plating anode layer ion source VN hard coatings microhardness wear resistance corrosion property; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	电弧离子镀制备TiBN纳米复合涂层	田灿鑫李助军刘怡飞杨兵付德君苏峰华	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	气体离子源辅助电弧离子镀在硬质合金表面制备AlCrN涂层的性能	冉龙姣郑思婷范洪远鲜广熊计郭智兴赵海波敬正彪	《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究	刘一奇韩克昌林国强石昌仑卢国英李晓勇	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究	于大洋马胜歌张以忱徐路	《中国表面工程》 EI CAS CSCD	2006	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响	李刚蔡长龙等	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2002	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	VN基硬质耐磨涂层的制备及其性能	田灿鑫何诗敏何世斌王泽松邹长伟唐晓山李助军刘怡飞	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料