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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用被引量：1: 1; 作者孙屹群汤彦骐《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期318-320,共3页; 叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。; 关键词离子束辅助蒸发冷阴极离子源真空镀膜技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究被引量：10: 2; 作者白秀琴李健严新平《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期19-21,共3页; 以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜... 展开更多; 关键词 DLC薄膜真空蒸发离子束辅助镀膜表面形貌摩擦学性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

近红外激光薄膜滤光片的研制被引量：8: 3; 作者李候俊徐均琪 +2 位作者王建李绵苏俊宏《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期231-236,共6页; 以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计... 展开更多; 关键词近红外薄膜离子束辅助热蒸发沉积激光损伤阈值电场强度后续处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备被引量：4: 4; 作者李子杨刘华松 +6 位作者孙鹏杨霄白金林徐颖杨仕琪季一勤苏建忠《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期408-414,共7页; 在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展... 展开更多; 关键词光学薄膜双谱段减反射膜系设计热蒸发离子束辅助沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用被引量：1: 1; 作者孙屹群汤彦骐; 机构云南光学仪器厂; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期318-320,共3页; 文摘叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。; 关键词离子束辅助蒸发冷阴极离子源真空镀膜技术; Keywords ion beam auxiliary deposition(IAD) cold cathode ion source; 分类号 TN305.8 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究被引量：10: 2; 作者白秀琴李健严新平; 机构武汉理工大学可靠性工程研究所武汉材料保护研究所; 出处《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期19-21,共3页; 基金国家自然科学基金项目资助(50175041).; 文摘以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑,颗粒均匀,粒度小,摩擦因数降低;DLC薄膜比弹簧钢片及Ti6Al4V球基体耐磨;DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善。; 关键词 DLC薄膜真空蒸发离子束辅助镀膜表面形貌摩擦学性能; Keywords Amorphous films Ion beams Surface roughness Surface topography Vapor deposition; 分类号 TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名近红外激光薄膜滤光片的研制被引量：8: 3; 作者李候俊徐均琪王建李绵苏俊宏; 机构西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期231-236,共6页; 基金陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(Nos.2016KW-036,2018KWZ-02) 西安市智能探视感知重点实验室项目(No.201805061ZD12CG45)~~; 文摘以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计出1.064μm高反、1.2~3μm波段增透的长波通滤光片.长波通膜系膜系结构为G|4H2L1.5H2L2H1.5L2H4L|A,减反射膜膜系结构为G|3.5 H3.5L|A.最终实现1.2~3μm波段峰值透过率达98.48%,平均透过率为92.35%,1.064μm处透过率为5.09%的光谱特性.对薄膜样品分别采用离子束处理和退火处理,发现适当的工艺参数,有助于提高薄膜激光损伤阈值,当退火温度为250℃时,其激光损伤阈值可达6.3 J/cm^2.本文研究可为近红外薄膜滤光片设计和制备提供参考.; 关键词近红外薄膜离子束辅助热蒸发沉积激光损伤阈值电场强度后续处理; Keywords Near infrared film Ion beam-assisted thermal evaporation deposition Laser induced damage threshold Electric field intensity Post-treatment; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备被引量：4: 4; 作者李子杨刘华松孙鹏杨霄白金林徐颖杨仕琪季一勤苏建忠; 机构天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室王之江激光创新中心; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期408-414,共7页; 基金国家自然科学基金(61775167,61975150) 天津市自然科学基金(19 JCZDJC38400) +1 种基金国家拔尖青年人才支持计划天津市人才发展专项支持计划高层次创新团队。; 文摘在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明,该薄膜在1 064 nm处透射率为94.0%,在8~12μm长波红外谱段平均透射率为96.3%,在8.2μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能,可以应用于多模复合精确探测光电装备之中,对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。; 关键词光学薄膜双谱段减反射膜系设计热蒸发离子束辅助沉积; Keywords optical thin-film dual-band antireflection thin-film thin-film design thermal evaporation ion-assisted deposition; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用	孙屹群汤彦骐	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	1997	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究	白秀琴李健严新平	《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	10	在线阅读下载PDF 职称材料
3	近红外激光薄膜滤光片的研制	李候俊徐均琪王建李绵苏俊宏	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	8	在线阅读下载PDF 职称材料
4	激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备	李子杨刘华松孙鹏杨霄白金林徐颖杨仕琪季一勤苏建忠	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2022	4	在线阅读下载PDF 职称材料