期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备
被引量：
8
1
作者
王宏臣
易新建
+2 位作者
陈四海
黄光
李雄伟
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期64-66,共3页
采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化...
采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数 (TCR)在 2 0℃分别为 5 0KΩ和 - 0 .0 2 1K-1.
展开更多
关键词
非致冷红外探测器
氧化钒多晶薄膜
离子束溅射镀膜
电阻温度系数
半导体材料
薄膜结构
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备
被引量：
8
1
作者
王宏臣
易新建
陈四海
黄光
李雄伟
机构
华中科技大学光电子工程系
中国科技大学图象识别和人工智能教育部重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期64-66,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 60 10 60 0 3 )
文摘
采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数 (TCR)在 2 0℃分别为 5 0KΩ和 - 0 .0 2 1K-1.
关键词
非致冷红外探测器
氧化钒多晶薄膜
离子束溅射镀膜
电阻温度系数
半导体材料
薄膜结构
Keywords
vanadium oxides thin film
ion beam sputtering
temperature coefficient of resistance
uncooled IR detectors
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
O484.1 [理学—固体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备
王宏臣
易新建
陈四海
黄光
李雄伟
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
