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离子束动态混合形成非晶膜及其特性研究
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作者 王培录 刘仲阳 姜景云 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第2期128-132,共5页
同时用离子溅射及高能离子轰击相结合的离予束动态混合技术,直接在轴承钢GCr15衬底土制备富Ta表面合金。适当控制沉积温度及原子·离子到达比,可形成一定组分的非晶合金膜。分别用TEM、EDAX与XPS观察膜的结构与其所含主要成分。在N... 同时用离子溅射及高能离子轰击相结合的离予束动态混合技术,直接在轴承钢GCr15衬底土制备富Ta表面合金。适当控制沉积温度及原子·离子到达比,可形成一定组分的非晶合金膜。分别用TEM、EDAX与XPS观察膜的结构与其所含主要成分。在NaCl、H_2SO_4溶液中检验了膜的抗局部腐蚀和均匀腐蚀能力。通过硬度测试、摩擦、磨损试验考查了膜的机械性能。实验表明,用此工艺形成的GCrl5-Ta非晶合金膜,具有优良的化学性质和物理性质。在盐溶液中的自腐蚀电位、点蚀电位和保护电位均明显上升,在酸溶液中的极化电流密度降低2~3个数量级,钝化区大大扩大。 展开更多
关键词 离子束动态混合 非晶合金 保护电位 点蚀电位 表面合金 均匀腐蚀 自腐蚀电位 钝化区 磨损试验 晶膜
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动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究 被引量:4
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作者 展长勇 杜纪富 黄宁康 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期241-245,共5页
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形... 分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形成与基体有组分梯度的界面过渡层,减小了薄膜内应力,同时薄膜与基体具有较好的热学相容性,从而提高了薄膜的附着性能。Ar+束轰击的动态离子束混合沉积钛的氧化物薄膜中,Ti主要以+4价存在,而O+束轰击的动态离子束混合沉积形成的钛氧化物薄膜中含有次价态的钛氧化物。 展开更多
关键词 钛氧化物薄膜 动态离子混合技术 AES XPS
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大面积强流直流离子源
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作者 余增亮 何建军 +2 位作者 周骏 邓建国 胡纯栋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第6期379-382,共4页
为了适应离子注入和离子束动态混合沉积技术工业应用的要求,中国科学院等离子体物理所致力于具有大辐照面积的强流直流离子源的研制。目前引出的离子流对氢为350mA,氮为200mA,氩为150mA,能量达到50keV。源等离子体如同ORNL一样由热阴极... 为了适应离子注入和离子束动态混合沉积技术工业应用的要求,中国科学院等离子体物理所致力于具有大辐照面积的强流直流离子源的研制。目前引出的离子流对氢为350mA,氮为200mA,氩为150mA,能量达到50keV。源等离子体如同ORNL一样由热阴极反射型弧放电形成,但中间电极几何尺寸与ORNL有较大的不同。引出系统由加-减速栅组成,19个孔径为6mm的孔在三电极上六边形排列。引出面直径为6cm,在距引出栅2m处直径为25cm的靶上测得束的均匀性约90%。 展开更多
关键词 离子 强流 离子束动态混合 热阴极 离子体物理 均匀性 引出电极 反射型 沉积技术 三电
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聚四氟乙烯薄膜表面滴状冷凝传热实验研究 被引量:10
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作者 马学虎 刘延来 +2 位作者 陈嘉宾 朱晓波 安家明 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期27-30,共4页
为了探索实现滴状冷凝传热的新表面涂层 ,采用离子束动态混合注入技术制备了紫铜基聚四氟乙烯(PTFE)薄膜 ,显著地提高了水蒸气冷凝传热性能。实验表明 ,该表面涂层能够实现常压水蒸气稳定的滴状冷凝形态 ,在表面过冷度 9.8— 1 4 .2K范... 为了探索实现滴状冷凝传热的新表面涂层 ,采用离子束动态混合注入技术制备了紫铜基聚四氟乙烯(PTFE)薄膜 ,显著地提高了水蒸气冷凝传热性能。实验表明 ,该表面涂层能够实现常压水蒸气稳定的滴状冷凝形态 ,在表面过冷度 9.8— 1 4 .2K范围内 ,滴状冷凝传热通量和传热系数比膜状冷凝结果提高 30—47倍。同时发现 ,在大气压附近 ,热通量和冷凝传热系数都随着水蒸气蒸汽温度的增加而增加 。 展开更多
关键词 聚四氟乙烯薄膜 表面滴状冷凝传热 实验研究 蒸气温度效应 离子束动态混合注入
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《真空科学与技术》第11卷(1991)总目次 被引量:1
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《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第6期416-418,共3页
关键词 真空科学 中国真空学会 真空镀膜 会议纪要 质谱仪器 分子外延技术 快速阀 低能电子衍射 薄膜技术 离子束动态混合
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