离子束加工镍单晶原子级去除行为与表面损伤机制研究

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作者 李晓静 王泽骜 +2 位作者 秦胜建 高永亮 王林 《表面技术》 北大核心 2025年第22期129-140,共12页

目的模拟氩(Ar)离子束溅射单晶镍(Ni)的行为,分析其原子级结构演变规律,揭示金属Ni的去除机制及表面与亚表面损伤机制。方法采用分子动力学(MD)方法,模拟不同溅射能量(600 eV、1000 eV和1400 eV)、剂量(1.5625×10^(13)ions/cm^(2)... 目的模拟氩(Ar)离子束溅射单晶镍(Ni)的行为,分析其原子级结构演变规律,揭示金属Ni的去除机制及表面与亚表面损伤机制。方法采用分子动力学(MD)方法,模拟不同溅射能量(600 eV、1000 eV和1400 eV)、剂量(1.5625×10^(13)ions/cm^(2)和3.1250×10^(13)ions/cm^(2))及入射角度(30°、45°、60°、75°和90°)下,Ar离子束溅射单晶金属Ni(001)表面过程。基于原子级微结构表征,系统分析溅射能量、剂量及角度对Ni(001)表面损伤形貌、应变分布以及溅射产额的影响规律,阐明其表面损伤机制和原子去除机制。结果Ar离子束溅射在Ni(001)面溅射核心区域形成凹坑与表面原子堆积,并在亚表面诱发非晶原子团簇及{111}面层错等损伤结构;伴随结构缺陷的产生,核心溅射区域产生应变集中。凹坑面积、表面堆积原子数、非晶团簇原子比例、层错原子比例、亚表面损伤深度和应变均随溅射能量和剂量的增加而增大;其中60°入射角下产生的表面及亚表面损伤最为显著。溅射产额亦随溅射能量和剂量的增加而升高;30°入射角下因独特的“铲削效应”,溅射产额达到最高;应变集中和层错在后续温度平衡过程中逐渐消失。结论离子束加工条件(能量、剂量、角度)对单晶Ni表面及亚表面损伤具有显著影响。损伤程度随溅射能量和离子剂量的增加而加剧;60°入射角时损伤最显著,而30°入射角下原子去除效率最高。本研究为实验优化离子束加工工艺提供了理论依据。 展开更多

关键词 离子束加工 单晶 表面损伤 溅射产额 分子动力学

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光学镜面离子束加工的可达性 被引量：24

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作者 周林 戴一帆 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期160-166,共7页

提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但... 提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加。当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该<0.5。 展开更多

关键词 离子束加工 驻留时间 加工可迭性 光学镜面加工 计算机控制 光学表面成形

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光学非球面离子束加工模型及误差控制 被引量：10

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作者 武建芬 卢振武 +1 位作者 张红鑫 王泰升 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2678-2683,共6页

为了实现光学非球面元件的高精度加工,对先进的离子束加工系统进行了研究。通过对离子束加工系统的分析,给出了加工非球面光学元件的离子源子系统运动模型公式,并将求解驻留时间的反卷积过程转化为求解线性矩阵方程过程以便优化求解。... 为了实现光学非球面元件的高精度加工,对先进的离子束加工系统进行了研究。通过对离子束加工系统的分析,给出了加工非球面光学元件的离子源子系统运动模型公式,并将求解驻留时间的反卷积过程转化为求解线性矩阵方程过程以便优化求解。分析了加工过程中出现的离子源定位误差,指出其对最终面形精度的影响可归结为一个系数因子的控制上,并提出了综合考虑离子束材料去除函数和定位误差的方法来控制系数因子以降低对定位系统精度的苛刻要求。仿真验证表明,该模型计算出的驻留时间函数可以有效地保证光学元件的面形精度达0.0381λ;离子束定位误差引起的面形精度的变化量满足最大变化量公式的限制。该模型可用于各种非球面光学元件离子束加工过程驻留时间的求解和设备的定位误差设计,在保证过程稳定的同时降低了设备成本。 展开更多

关键词 离子束加工 非球面 定位误差分析 驻留时间矩阵方程

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光学镜面离子束加工系统设计和分析 被引量：7

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作者 焦长君 李圣怡 +1 位作者 解旭辉 周林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1213-1218,共6页

研究了离子束加工系统的后置算法和误差补偿等问题。基于DH矩阵法,建立了系统的运动学方程,分析了工艺中离子源和工件的安装误差以及离子源相对于工件的六项对刀误差对加工定位的影响,建立了误差模型。在求解运动学方程时引入纠补矩阵,... 研究了离子束加工系统的后置算法和误差补偿等问题。基于DH矩阵法,建立了系统的运动学方程,分析了工艺中离子源和工件的安装误差以及离子源相对于工件的六项对刀误差对加工定位的影响,建立了误差模型。在求解运动学方程时引入纠补矩阵,以消除离子源确定性的安装偏差对切平面定位误差的显著影响。补偿后的误差分析表明:切平面误差模型对对刀和安装精度提出要求后,靶距误差和入射角度误差同时也受到了限制,对加工的影响可以忽略不计。 展开更多

关键词 离子束加工 后置算法 误差模型 误差补偿

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束流参数对光学镜面离子束加工去除函数的影响分析 被引量：5

5

作者 解旭辉 王登峰 +1 位作者 焦长君 周林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1945-1950,共6页

在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率。虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差... 在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率。虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差异。为了找出工艺参数对束函数的影响规律,本文通过实验研究了离子束的几个主要的工艺参数(屏栅电压、屏栅电流、加速栅电压、中和极功率、氩气流量)对束函数的影响规律,建立了光学镜面离子束加工基本工艺参数数据库,为光学镜面离子束修形加工的工艺参数选择提供了指导依据。 展开更多

关键词 镜面离子束加工 去除函数 束流参数

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大尺寸SIC空间反射镜离子束加工热效应分析与抑制 被引量：2

6

作者 许艳军 赵宇宸 +1 位作者 沙巍 齐光 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期2556-2561,共6页

离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面,离子的动能转化成热能以及中和灯丝的热辐射作用,使反射镜温度急剧升高。反射镜温升过快,会导致柔性连接结构胶结部位发生不可逆的非线性变化,并且热膨胀使实际加工位置和理想加... 离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面,离子的动能转化成热能以及中和灯丝的热辐射作用,使反射镜温度急剧升高。反射镜温升过快,会导致柔性连接结构胶结部位发生不可逆的非线性变化,并且热膨胀使实际加工位置和理想加工位置发生偏移,增加了加工误差,因此需要对加工过程中产生的热效应进行抑制。提出了通过规划加工路径和增强散热的方法,增强加工过程的散热,控制反射镜的温度。针对600mm×260mm的某主反射镜,对增强散热前后不同加工路径的离子束加工进行了研究和有限元分析。分析表明:加工路径的选择、增强散热对反射镜的温度分布有较大影响,增强散热前,采用横栅格加工路径,反射镜最高温度为35.8℃,对应全口径PV=λ/5,采用分区纵栅格加工路径,反射镜最高温度则达到52℃,PV=λ/10。增强散热后,不同加工路径离子束加工中,反射镜温度均有所下降,采用横向栅格加工路径反射镜温度最高为28.2℃,对应全口径PV=λ/20,采用分区纵栅格加工路径反射镜温度最高为41℃,PV=λ/7。通过对比,最终采用增强散热的横栅格加工路径的加工方式。对优选的加工路径进行了试验验证,试验结果与仿真结果一致。结果表明:优化加工路径,增强散热措施能够抑制离子束加工的热效应,为离子束加工热效应抑制提供理论基础。 展开更多

关键词 空间反射镜 离子束加工 热效应 抑制

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离子束加工误差对散射损失的影响研究 被引量：1

7

作者 吴冬良 戴一帆 +2 位作者 王贵林 周林 焦长君 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期84-88,共5页

离子束加工(Ion Beam Figuring,IBF)去除函数对加工残差具有重要的影响,而加工残差引起的表面散射则导致光学性能发生变化。为了减小加工残差对光学性能的影响,利用基于CCOS成形原理的离子束加工仿真程序对光学镜面进行修形,分析不同去... 离子束加工(Ion Beam Figuring,IBF)去除函数对加工残差具有重要的影响,而加工残差引起的表面散射则导致光学性能发生变化。为了减小加工残差对光学性能的影响,利用基于CCOS成形原理的离子束加工仿真程序对光学镜面进行修形,分析不同去除函数宽度对散射损失(Ratio of Scattering Loss,RSL)指标的影响。通过研究可知,随着去除函数宽度的减小,加工残差对散射损失的影响越来越小。因此,根据加工残差对RSL指标的影响程度以及RSL指标要求,可以合理选择去除函数宽度,从而在满足面形精度的同时,优化加工工艺。 展开更多

关键词 去除函数 加工残差 散射损失比 离子束加工 CCOS

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空间光学遥感器反射镜离子束加工过程的热效应 被引量：2

8

作者 于善猛 刘巨 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第11期62-67,共6页

针对空间光学遥感器反射镜离子束加工过程中,离子束瞬态大热流密度造成加工过程镜体温度急剧上升引起的热应力问题,利用UG8.5软件flow thermal高级仿真模块对反射镜组件的温度场进行瞬态仿真,预示加工过程的温度场,将温度场映射至结构... 针对空间光学遥感器反射镜离子束加工过程中,离子束瞬态大热流密度造成加工过程镜体温度急剧上升引起的热应力问题,利用UG8.5软件flow thermal高级仿真模块对反射镜组件的温度场进行瞬态仿真,预示加工过程的温度场,将温度场映射至结构有限元模型,利用NX NASTRAN计算出反射镜组件的热应力分布。根据反射镜组件的加工环境和结构特点,采取导热措施将加工过程热量疏导至大热容工装板。结果表明,采取热控措施后反射镜组件加工过程最高温度降低15%,对应的最大热应力降低27%,有效降低了反射镜组件的热应力;通过ZYGO干涉仪检测加工完成后的反射镜面型,面型精度优于λ/50,为空间光学反射镜离子束加工提供了有效的保障。 展开更多

关键词 光学制造 离子束加工 热效应 热应力

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发展我国的等离子束加工技术 被引量：3

9

作者 周锦进 卢毅申 《电加工》 1990年第6期29-32,共4页

等离子束实际上是由等离子炬及其中合理组织的流体加以约束的压缩电弧射流,它具有远高于普通焊接电弧的功率密度(50～100kW/cm^2)、温度(10000～30000℃)和束流速度(10~2～10~3m/s),因此,它可以迅速地熔化和去除几乎任何材料。等离子束... 等离子束实际上是由等离子炬及其中合理组织的流体加以约束的压缩电弧射流,它具有远高于普通焊接电弧的功率密度(50～100kW/cm^2)、温度(10000～30000℃)和束流速度(10~2～10~3m/s),因此,它可以迅速地熔化和去除几乎任何材料。等离子束加工(Plasma Beam Machining,PBM) 展开更多

关键词 等离子束加工 特种加工

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制备功能材料的新途径-脉冲金属离子束加工

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作者 张通和 《仪表材料》 CSCD 1990年第4期217-225,261,共9页

介绍了制备功能材料的新途径。根据实验结果评述了强脉冲金属离子注入的特点、性能相应用前景。讨论了与其相辅相成的多弧离子镀和多层多元离子束混合。这些技术在功能材料研制过程中已发挥重要作用。实验表明,这些技术具有多元素灵活添... 介绍了制备功能材料的新途径。根据实验结果评述了强脉冲金属离子注入的特点、性能相应用前景。讨论了与其相辅相成的多弧离子镀和多层多元离子束混合。这些技术在功能材料研制过程中已发挥重要作用。实验表明,这些技术具有多元素灵活添加,适用条件(基材和温度)广泛,精确可控和加工效率高的特点。这些技术将成为当前材料科学的一个极富有生命力的前沿技术。作者根据这些技术的特点提出合成新的功能材料的各种设想. 展开更多

关键词 脉冲金属 离子束加工 功能材料

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KDP晶体离子束抛光温度场模拟与工艺参数优化 被引量：1

11

作者 邓鸿飞 袁征 +2 位作者 解旭辉 周林 胡皓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2708-2713,共6页

为解决离子束加工热效应这一棘手问题,必须了解离子束加工过程中光学元件的温度场分布,以期优化工艺参数来降低离子束加工过程中光学元件的温度。本文基于ANSYS参数化设计语言(APDL),建立离子束作用下温度场模型,模拟离子束加工KDP晶体... 为解决离子束加工热效应这一棘手问题,必须了解离子束加工过程中光学元件的温度场分布,以期优化工艺参数来降低离子束加工过程中光学元件的温度。本文基于ANSYS参数化设计语言(APDL),建立离子束作用下温度场模型,模拟离子束加工KDP晶体过程,并对不同工艺参数条件下工件的温度场进行仿真。分析了工艺参数对KDP晶体温升的影响规律,并通过正交分析方法优化了工艺参数。优化结果表明:从影响工件温度变化程度的角度,离子入射角度θ>入射离子能量ε>峰值束流密度J>扫描行间距系数μ>束流分布参数σ;从降低工件温升角度,应选取较小的入射离子能量和峰值束流密度以及较大的离子束径、扫描行间距系数和入射角度,减小离子束加工对工件性能的影响,同时加工时间增加不明显。 展开更多

关键词 离子束加工(IBF) 温度场 KDP晶体 参数优化

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基于离子束辅助激光的硬质合金表面微织构制备方法研究 被引量：10

12

作者 刘峰 郭旭红 +4 位作者 韩玉杰 王呈栋 刘同舜 董帮柱 张克栋 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期103-112,共10页

目的解决纳秒激光所制备的硬质合金表面微织构尺寸不可控且质量较差的问题。方法提出了离子束刻蚀与纳秒激光复合加工技术。首次采用离子束辅助激光加工在WC/Co硬质合金表面制备凹坑型微织构,研究了激光扫描速度、重复频率、脉冲宽度和... 目的解决纳秒激光所制备的硬质合金表面微织构尺寸不可控且质量较差的问题。方法提出了离子束刻蚀与纳秒激光复合加工技术。首次采用离子束辅助激光加工在WC/Co硬质合金表面制备凹坑型微织构,研究了激光扫描速度、重复频率、脉冲宽度和刻蚀时间4种不同加工参数对微凹坑表面形貌及结构尺寸的影响,并初步预测和建立了复合加工过程中微凹坑轮廓演变模型。结果凹坑型微织构边缘熔融物堆积量随激光重复频率的增加而增加,与扫描速度和脉冲宽度成反比,其中激光重复频率的影响最大。制备的微凹坑直径和深度可以通过改变激光重复频率和刻蚀时间来调节,使用纳秒激光以20、25、30、35 kHz重复频率加工的微凹坑经离子束刻蚀150 min后,边缘的不规则凸起高度分别由1.112、1.675、2.951、3.235μm降低至0.222、0.689、0.976、1.364μm,且刻蚀速率与激光重复频率成正比。离子束刻蚀150 min后,抛光硬质合金表面粗糙度由0.022μm增加至0.079μm,而激光织构化硬质合金表面粗糙度随刻蚀时间的增加均有所降低。结论建立了基于离子束辅助激光的表面微织构轮廓演变模型,实现了硬质合金表面微织构的高质量可控制备。 展开更多

关键词 离子束辅助激光加工 WC/Co硬质合金 凹坑型微织构 加工参数 表面形貌 轮廓演变模型

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大口径非球面系统的共基准加工与检验 被引量：9

13

作者 王孝坤 薛栋林 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期743-748,共6页

针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装... 针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装调和测试,并进行背板一体化装嵌,然后利用离子束对其进行一体化共基准加工。结合工程实例,对一大口径非球面系统口径为724mm×247mm的非球面主镜和口径为632mm×205mm的第三镜进行了共基准加工与检测,最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RMS值分别为0.019λ和0.017λ,满足光学成像。 展开更多

关键词 光学加工 光学检测 非球面 三镜消像散系统 共基准 离子束加工

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用于纳米级加工的特种加工技术 被引量：2

14

作者 赵家齐 郭永丰 +1 位作者 刘永红 赵万生 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期42-46,共5页

概要地论述了多种可用于纳米级微细加工的特种加工技术，诸如电子束加工、离子束加工、激光束加工、隧道式近场放电加工、微细电火花加工、微细电铸加工和复合加工等。论述了这些特种加工技术的基本原理和主要应用范围。

关键词 特种加工技术 纳米级 微细电火花加工 电解加工 电铸加工 微细加工 电子束加工 离子束加工 激光束加工 表面热处理

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光学非球曲面器件塑性域的超精密加工方法 被引量：2

15

作者 陈明君 李旦 +1 位作者 董申 郭彦伟 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第10期98-99,97,共3页

较全面地列举了国内外已实现光学器件非球曲面超精密加工的各种先进方法 ,并总结出了这些加工方法的优缺点 ,从这些加工方法中可得出 :超精密磨削不仅有较高的磨削效率 ,而且能获得很高的面形精度和极低的表面粗糙度 ,它是光学非球曲面... 较全面地列举了国内外已实现光学器件非球曲面超精密加工的各种先进方法 ,并总结出了这些加工方法的优缺点 ,从这些加工方法中可得出 :超精密磨削不仅有较高的磨削效率 ,而且能获得很高的面形精度和极低的表面粗糙度 ,它是光学非球曲面器件塑性域超精密加工最为有效的一种方法。 展开更多

关键词 光学器件 光学非球面器件 离子束加工 抛光加工

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流动聚焦等先进特种加工技术发展现状及展望

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作者 王翠 《数字农业与智能农机》 2021年第23期107-109,共3页

随着科技的快速发展,先进的高性能材料被大量使用,其加工技术面临着巨大的挑战。目前特种加工技术有激光加工、超声加工、电子束加工、电火花加工、离子束加工等,它们都各具优点,但缺点也比较明显,加工复杂内腔的型材,高强度、高塑性材... 随着科技的快速发展,先进的高性能材料被大量使用,其加工技术面临着巨大的挑战。目前特种加工技术有激光加工、超声加工、电子束加工、电火花加工、离子束加工等,它们都各具优点,但缺点也比较明显,加工复杂内腔的型材,高强度、高塑性材料的加工、高精度微型化零件的加工、使工件表面具有良好的特性。磨料水射流加工技术也逐渐被重视起来。本文将对特种加工方法逐一进行介绍。 展开更多

关键词 激光加工 超声加工 电子束加工 电火花加工 离子束加工

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《电加工与模具》 2022年第4期60-60,共1页

《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺... 《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺应用技术、使用维修经验、产品开发信息和行业发展动态等。本刊为双月刊,邮发代号:28-36,全国各地邮局均可订阅。每期定价10元,全年70元。 展开更多

关键词 特种加工 电化学加工 电子束加工 模具制造 电火花加工 电加工 超声加工 离子束加工

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18

《电加工与模具》 2021年第6期61-61,共1页

《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺... 《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺应用技术、使用维修经验、产品开发信息和行业发展动态等。本刊为双月刊,邮发代号:28-36,全国各地邮局均可订阅。每期定价10元,全年70元。编辑部地址:苏州高新区金山路180号邮编:215011电话:0512-67274541. 展开更多

关键词 特种加工 电化学加工 电子束加工 电火花加工 模具制造 电加工 超声加工 离子束加工

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19

《电加工与模具》 2021年第3期55-55,共1页

《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺... 《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺应用技术、使用维修经验、产品开发信息和行业发展动态等。本刊为双月刊,邮发代号:28-36,全国各地邮局均可订阅。每期定价10元,全年60元。 展开更多

关键词 特种加工 电化学加工 电子束加工 电火花加工 模具制造 电加工 超声加工 离子束加工

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第19届全国特种加工学术会议通知

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作者 无 《电加工与模具》 2022年第5期65-65,共1页

特种加工是先进制造技术的重要组成部分,它通过利用多学科的技术和手段,解决了大量传统加工方法无法解决的加工难题,在航空航天、汽车、模具、医疗、电子、冶金、石化、地质等行业得到了广泛应用,发挥着不可或缺的作用,为国家经济建设... 特种加工是先进制造技术的重要组成部分,它通过利用多学科的技术和手段,解决了大量传统加工方法无法解决的加工难题,在航空航天、汽车、模具、医疗、电子、冶金、石化、地质等行业得到了广泛应用,发挥着不可或缺的作用,为国家经济建设做出了重要贡献。典型的特种加工技术包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工、水射流加工等。 展开更多

关键词 特种加工 传统加工方法 电子束加工 电化学加工 离子束加工 航空航天 先进制造技术 增材制造

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