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亚波长浮雕结构的红外抗反射研究
被引量：
7
1
作者
陈思乡
易新建
+1 位作者
曾延安
陈四海
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期471-474,共4页
基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维...
基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案 .测试结果表明 ,这种表面结构像单层抗反射膜一样 ,具有很好的增透效果 ,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率 ,而刻蚀深度则相当于镀层的 1/ 4波长厚度 .
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关键词
抗反射
亚波长结构
二元光学
等效媒质理论
离子束刻蚀技术
浮雕
等效折射率
电镜分析
红外理论
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职称材料
题名
亚波长浮雕结构的红外抗反射研究
被引量：
7
1
作者
陈思乡
易新建
曾延安
陈四海
机构
华中理工大学光电子工程系
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期471-474,共4页
基金
国家高技术863基金资助项目&&
文摘
基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案 .测试结果表明 ,这种表面结构像单层抗反射膜一样 ,具有很好的增透效果 ,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率 ,而刻蚀深度则相当于镀层的 1/ 4波长厚度 .
关键词
抗反射
亚波长结构
二元光学
等效媒质理论
离子束刻蚀技术
浮雕
等效折射率
电镜分析
红外理论
Keywords
antireflection, subwavelength structure, binary optics.
分类号
TN211 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
亚波长浮雕结构的红外抗反射研究
陈思乡
易新建
曾延安
陈四海
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
7
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参考文献
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