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离子束加工中全频段误差的演变被引量：3: 1; 作者李文卿张继友 +3 位作者王永刚马仙梅孟晓辉李昂《航天返回与遥感》 CSCD 2020年第5期47-54,共8页; 在空间光学、光刻物镜、惯性约束聚变及强光系统等领域的高精密光学元件制造过程中,采用基于小磨头抛光原理的修形技术,虽然能有效去除面形低频误差,但对中高频误差难以修正。为了达到有效控制全频段误差的目的,文章以直径420mm的非球... 展开更多; 关键词空间频段全频段误差离子束修形工艺参数航天遥感; 在线阅读下载PDF 职称材料

超高精度离子束抛光工具设计与性能分析: 2; 作者鹿迎解旭辉 +1 位作者周林彭文强《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期17-20,共4页; 为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,... 展开更多; 关键词离子束修形聚焦离子光学系统离子束特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测被引量：5: 3; 作者孟晓辉王永刚 +3 位作者马仙梅李文卿李昂张继友《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第8期142-149,共8页; 为了满足空间同轴三反相机对大口径凸非球面高精度的面形质量和精确的几何参数控制要求,提出以计算机控制确定性研抛工艺为核心的多工序组合加工及检测技术。在加工阶段,首先利用超声振动磨削技术对非球面进行面形铣磨,其次应用机器人... 展开更多; 关键词光学加工机器人离子束修形次镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径被引量：6: 4; 作者周林戴一帆 +1 位作者解旭辉李圣怡《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1-4,共4页; 目前计算机控制抛光工艺中使用的阿基米德螺旋线路径,存在加工工件中心区域时工件转速过快的缺点。为了克服该缺点,分析了螺旋线路径加工的特点,分析表明工件的瞬时转速取决于加工点的驻留时间密度和螺旋线的面积增长速率。据此,提出了... 展开更多; 关键词计算机控制抛光螺旋线路径离子束修形抛光; 在线阅读下载PDF 职称材料

计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径分析: 5; 作者陈景柱《科技创新与应用》 2013年第9期33-34,共2页; 计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径具有趋于恒定的加工转速和相对较低的中心区域转速、机床运动性能要求等优势,因而能够获得相对于阿基米德螺旋线加工路径更高的加工精度。现比较详细地分析了计算机控制抛光中基于等面... 展开更多; 关键词离子束修形计算机控制抛光加工路径对比; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束加工中全频段误差的演变被引量：3: 1; 作者李文卿张继友王永刚马仙梅孟晓辉李昂; 机构北京空间机电研究所国防科技工业光学超精密加工技术创新中心; 出处《航天返回与遥感》 CSCD 2020年第5期47-54,共8页; 基金国防科技创新特区项目(19-163-18-ZT-013-023-01)。; 文摘在空间光学、光刻物镜、惯性约束聚变及强光系统等领域的高精密光学元件制造过程中,采用基于小磨头抛光原理的修形技术,虽然能有效去除面形低频误差,但对中高频误差难以修正。为了达到有效控制全频段误差的目的,文章以直径420mm的非球面为样件,在离子束抛光机床上进行不同频段误差的修形收敛试验。针对光学元件面形误差在不同频段的特性,以面形误差频段均方根及梯度均方根指标作为评价参数,分析各频段误差产生的原因,探索离子束工艺参数及其他因素与各频段误差间的对应关系。通过4轮离子束迭代加工后,样件全频段面形误差均方根值从34.973nm收敛到6.025nm,梯度均方根值由0.091λ/cm收敛到0.061λ/cm(λ=632.8nm)。试验结果表明:通过优化离子束的工艺参数,可显著提升光学元件的全频段面形精度,实现频段误差在不同评价参数下的同步收敛。频段均方根及梯度均方根指标可作为评价全频段面形误差变化的标准,对光学加工具有参考价值。; 关键词空间频段全频段误差离子束修形工艺参数航天遥感; Keywords spatial frequency band full band error ion beam polishing process parameters space remote sensing; 分类号 TH706 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超高精度离子束抛光工具设计与性能分析: 2; 作者鹿迎解旭辉周林彭文强; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院超精密加工技术湖南省重点实验室; 出处《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期17-20,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(91323302 61505259); 文摘为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验,将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性,一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。; 关键词离子束修形聚焦离子光学系统离子束特性; Keywords ion beam figuring focused ion optical system ion beam performance; 分类号 TG664 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测被引量：5: 3; 作者孟晓辉王永刚马仙梅李文卿李昂张继友; 机构北京空间机电研究所; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第8期142-149,共8页; 基金国家科技重大专项(2011ZX04004-061); 文摘为了满足空间同轴三反相机对大口径凸非球面高精度的面形质量和精确的几何参数控制要求,提出以计算机控制确定性研抛工艺为核心的多工序组合加工及检测技术。在加工阶段,首先利用超声振动磨削技术对非球面进行面形铣磨,其次应用机器人对非球面面形进行快速研磨和粗抛,最后采用离子束修形技术实现非球面的高精度加工;在检测阶段,首先利用三坐标测量机对铣磨和研磨过程中非球面的面形及几何参数进行控制,进入干涉仪测量范围后,再采用Hindle球法对非球面光学参数进行干涉检测。结合工程实例,对一口径520 mm的凸双曲面次镜进行了加工及检测,其面形精度RMS为0.015λ(λ=632.8 nm),几何参数控制精度ΔR误差为0.1 mm、ΔK优于0.1%,满足光学设计技术指标要求。; 关键词光学加工机器人离子束修形次镜; Keywords optical fabrication robot ion beam figuring secondary mirror; 分类号 TH706 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径被引量：6: 4; 作者周林戴一帆解旭辉李圣怡; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院; 出处《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1-4,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50775215); 文摘目前计算机控制抛光工艺中使用的阿基米德螺旋线路径,存在加工工件中心区域时工件转速过快的缺点。为了克服该缺点,分析了螺旋线路径加工的特点,分析表明工件的瞬时转速取决于加工点的驻留时间密度和螺旋线的面积增长速率。据此,提出了一种新的螺旋线作为抛光路径,该螺旋线的面积增长速率恒定,因此也称为等面积增长螺旋线。利用该螺旋线路径,加工转速趋于恒定,可降低加工中心区域的转速,从而降低对机床运动性能的要求,降低设备成本和加工成本。实验结果证实,阿基米德螺旋线路径加工中心区域容易产生过加工问题,加工精度较低;等面积增长螺旋线路径加工可避免中心区域过加工问题,获得较高的加工精度。; 关键词计算机控制抛光螺旋线路径离子束修形抛光; Keywords computer-controlled polishing spiral path ion beam figuring polishing; 分类号 TH161 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径分析: 5; 作者陈景柱; 机构东北大学信息学院; 出处《科技创新与应用》 2013年第9期33-34,共2页; 文摘计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径具有趋于恒定的加工转速和相对较低的中心区域转速、机床运动性能要求等优势,因而能够获得相对于阿基米德螺旋线加工路径更高的加工精度。现比较详细地分析了计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径的相关情况,通过实际的操作实验,证明该等面积增长螺旋线加工路径能够获得令人满意的加工精度。; 关键词离子束修形计算机控制抛光加工路径对比; 分类号 TG76 [金属学及工艺—刀具与模具]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	离子束加工中全频段误差的演变	李文卿张继友王永刚马仙梅孟晓辉李昂	《航天返回与遥感》 CSCD	2020	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	超高精度离子束抛光工具设计与性能分析	鹿迎解旭辉周林彭文强	《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测	孟晓辉王永刚马仙梅李文卿李昂张继友	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2017	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径	周林戴一帆解旭辉李圣怡	《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径分析	陈景柱	《科技创新与应用》	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料