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离子束修形技术被引量：16: 1; 作者戴一帆周林 +2 位作者解旭辉廖文林沈永祥《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期753-760,805,共9页; 离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点,应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点,以及国外离子束修形技术的发展历程和现状,并介绍了国内离子束修形技术的发展现状。针对当前离子束修形技术的研究热点,如中高频误差控制... 展开更多; 关键词离子束修形抛光驻留时间光学加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析被引量：4: 2; 作者徐明进戴一帆 +1 位作者解旭辉周林《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2975-2982,共8页; 针对小特征尺寸连续位相板中频段成分分布广、误差梯度大的面形特点,分析了离子束修形技术加工连续位相板过程中影响加工精度的几种因素,包括扫描步距、材料去除方式、定位精度和材料去除量求解。分析指出:根据采样定理确定去除函数的... 展开更多; 关键词连续位相板离子束修形误差分析面形匹配定位精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿: 3; 作者卞萌胡海翔 +2 位作者唐瓦季鹏张学军《光学精密工程》北大核心 2025年第11期1739-1749,共11页; 为提升细束径去除函数对空间波长接近其特征尺寸的面形误差的修正能力,开展了毫米级束径离子束加工收敛率分析及优化研究,提出基于多频段面形“贝壳纹”加工程度的修形能力分析方法,通过分析均方根密度的频域分布特性与各频段的收敛率... 展开更多; 关键词超精密加工离子束修形驻留时间收敛率细束径去除函数修形能力; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束加工中全频段误差的演变被引量：3: 4; 作者李文卿张继友 +3 位作者王永刚马仙梅孟晓辉李昂《航天返回与遥感》 CSCD 2020年第5期47-54,共8页; 在空间光学、光刻物镜、惯性约束聚变及强光系统等领域的高精密光学元件制造过程中,采用基于小磨头抛光原理的修形技术,虽然能有效去除面形低频误差,但对中高频误差难以修正。为了达到有效控制全频段误差的目的,文章以直径420mm的非球... 展开更多; 关键词空间频段全频段误差离子束修形工艺参数航天遥感; 在线阅读下载PDF 职称材料

超高精度离子束抛光工具设计与性能分析: 5; 作者鹿迎解旭辉 +1 位作者周林彭文强《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期17-20,共4页; 为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,... 展开更多; 关键词离子束修形聚焦离子光学系统离子束特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测被引量：5: 6; 作者孟晓辉王永刚 +3 位作者马仙梅李文卿李昂张继友《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第8期142-149,共8页; 为了满足空间同轴三反相机对大口径凸非球面高精度的面形质量和精确的几何参数控制要求,提出以计算机控制确定性研抛工艺为核心的多工序组合加工及检测技术。在加工阶段,首先利用超声振动磨削技术对非球面进行面形铣磨,其次应用机器人... 展开更多; 关键词光学加工机器人离子束修形次镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径被引量：6: 7; 作者周林戴一帆 +1 位作者解旭辉李圣怡《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1-4,共4页; 目前计算机控制抛光工艺中使用的阿基米德螺旋线路径,存在加工工件中心区域时工件转速过快的缺点。为了克服该缺点,分析了螺旋线路径加工的特点,分析表明工件的瞬时转速取决于加工点的驻留时间密度和螺旋线的面积增长速率。据此,提出了... 展开更多; 关键词计算机控制抛光螺旋线路径离子束修形抛光; 在线阅读下载PDF 职称材料

全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2: 8; 作者张春雷徐乐 +5 位作者刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期2636-2643,共8页; 考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动... 展开更多; 关键词氟化钙投影光刻物镜精密光学加工亚纳米精度加工离子束修形(IBF); 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束修形技术被引量：16: 1; 作者戴一帆周林解旭辉廖文林沈永祥; 机构国防科技大学机电工程与自动化工程学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期753-760,805,共9页; 基金国家自然科学基金(91023042 50775215 50975281); 文摘离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点,应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点,以及国外离子束修形技术的发展历程和现状,并介绍了国内离子束修形技术的发展现状。针对当前离子束修形技术的研究热点,如中高频误差控制技术、驻留时间求解算法和加工工艺等方面,综述了国内外的研究现状。; 关键词离子束修形抛光驻留时间光学加工; Keywords ion beam figuring polishing dwell time optical processing; 分类号 TN205 [电子电信—物理电子学] TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析被引量：4: 2; 作者徐明进戴一帆解旭辉周林; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院超精密加工技术湖南省重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2975-2982,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.91323302); 文摘针对小特征尺寸连续位相板中频段成分分布广、误差梯度大的面形特点,分析了离子束修形技术加工连续位相板过程中影响加工精度的几种因素,包括扫描步距、材料去除方式、定位精度和材料去除量求解。分析指出:根据采样定理确定去除函数的扫描步距可实现对不同尺寸特征单元的有效加工;进一步优化材料去除方式能够确保修形过程中驻留时间的平稳运行,实现全频段误差一致收敛。另外,采用面形匹配方法对测量误差进行校正实验,可获取准确的面形材料去除量;而采用提高去除函数定位精度的方法可显著提升小尺寸特征单元的加工精度。基于研究结果,在消除各种工艺误差的基础上,采用离子束修形技术对特征尺寸小至1.5mm,面形峰谷值小于200nm,面形梯度高至1.8μm/cm的连续位相板进行了高精度加工,结果显示:加工面形与理论面形的匹配精度达到8.1nm(RMS),证实了误差分析的准确性。; 关键词连续位相板离子束修形误差分析面形匹配定位精度; Keywords Continuous Phase Plate （CPP） ion beam figuring error analysis surface matching posi-tioning precision; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TN305.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿: 3; 作者卞萌胡海翔唐瓦季鹏张学军; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造全国重点实验室; 出处《光学精密工程》北大核心 2025年第11期1739-1749,共11页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.62127901,No.12103054,No.62405314,No.62305333,No.62375260) 国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3403405) +4 种基金吉林省科技发展计划资助项目(No.SKL202402021)。; 文摘为提升细束径去除函数对空间波长接近其特征尺寸的面形误差的修正能力,开展了毫米级束径离子束加工收敛率分析及优化研究,提出基于多频段面形“贝壳纹”加工程度的修形能力分析方法,通过分析均方根密度的频域分布特性与各频段的收敛率、不同周期面形幅值的加工结果,量化评估细束径去除函数的跨频段误差修正能力。在此基础上通过分析制定加工补偿策略,提出了一种基于频域滤波进行驻留时间补偿的收敛率优化提升方法,提高了可修正频段的收敛率,并通过仿真和实验进行验证。实验结果表明:以加工“贝壳纹”的方式可以实现去除函数多频段面形误差修正能力的高效分析,驻留时间补偿方法可有效提升细束径去除函数可修正频段内的单轮收敛率。针对2 mm半宽去除函数收敛能力发生转折的关键频段(0.186~0.385 mm^(-1)),实际平均收敛率从76.4%提升至91.7%。该方法有助于实现单束径去除函数加工时的全频段误差一致性收敛,适用于高精度光学元件加工。; 关键词超精密加工离子束修形驻留时间收敛率细束径去除函数修形能力; Keywords ultra-precision fabrication ion beam figuring dwell time convergence rate small-sized tool influence function corrective capability; 分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束加工中全频段误差的演变被引量：3: 4; 作者李文卿张继友王永刚马仙梅孟晓辉李昂; 机构北京空间机电研究所国防科技工业光学超精密加工技术创新中心; 出处《航天返回与遥感》 CSCD 2020年第5期47-54,共8页; 基金国防科技创新特区项目(19-163-18-ZT-013-023-01)。; 文摘在空间光学、光刻物镜、惯性约束聚变及强光系统等领域的高精密光学元件制造过程中,采用基于小磨头抛光原理的修形技术,虽然能有效去除面形低频误差,但对中高频误差难以修正。为了达到有效控制全频段误差的目的,文章以直径420mm的非球面为样件,在离子束抛光机床上进行不同频段误差的修形收敛试验。针对光学元件面形误差在不同频段的特性,以面形误差频段均方根及梯度均方根指标作为评价参数,分析各频段误差产生的原因,探索离子束工艺参数及其他因素与各频段误差间的对应关系。通过4轮离子束迭代加工后,样件全频段面形误差均方根值从34.973nm收敛到6.025nm,梯度均方根值由0.091λ/cm收敛到0.061λ/cm(λ=632.8nm)。试验结果表明:通过优化离子束的工艺参数,可显著提升光学元件的全频段面形精度,实现频段误差在不同评价参数下的同步收敛。频段均方根及梯度均方根指标可作为评价全频段面形误差变化的标准,对光学加工具有参考价值。; 关键词空间频段全频段误差离子束修形工艺参数航天遥感; Keywords spatial frequency band full band error ion beam polishing process parameters space remote sensing; 分类号 TH706 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超高精度离子束抛光工具设计与性能分析: 5; 作者鹿迎解旭辉周林彭文强; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院超精密加工技术湖南省重点实验室; 出处《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期17-20,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(91323302 61505259); 文摘为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验,将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性,一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。; 关键词离子束修形聚焦离子光学系统离子束特性; Keywords ion beam figuring focused ion optical system ion beam performance; 分类号 TG664 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测被引量：5: 6; 作者孟晓辉王永刚马仙梅李文卿李昂张继友; 机构北京空间机电研究所; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第8期142-149,共8页; 基金国家科技重大专项(2011ZX04004-061); 文摘为了满足空间同轴三反相机对大口径凸非球面高精度的面形质量和精确的几何参数控制要求,提出以计算机控制确定性研抛工艺为核心的多工序组合加工及检测技术。在加工阶段,首先利用超声振动磨削技术对非球面进行面形铣磨,其次应用机器人对非球面面形进行快速研磨和粗抛,最后采用离子束修形技术实现非球面的高精度加工;在检测阶段,首先利用三坐标测量机对铣磨和研磨过程中非球面的面形及几何参数进行控制,进入干涉仪测量范围后,再采用Hindle球法对非球面光学参数进行干涉检测。结合工程实例,对一口径520 mm的凸双曲面次镜进行了加工及检测,其面形精度RMS为0.015λ(λ=632.8 nm),几何参数控制精度ΔR误差为0.1 mm、ΔK优于0.1%,满足光学设计技术指标要求。; 关键词光学加工机器人离子束修形次镜; Keywords optical fabrication robot ion beam figuring secondary mirror; 分类号 TH706 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径被引量：6: 7; 作者周林戴一帆解旭辉李圣怡; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院; 出处《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1-4,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50775215); 文摘目前计算机控制抛光工艺中使用的阿基米德螺旋线路径,存在加工工件中心区域时工件转速过快的缺点。为了克服该缺点,分析了螺旋线路径加工的特点,分析表明工件的瞬时转速取决于加工点的驻留时间密度和螺旋线的面积增长速率。据此,提出了一种新的螺旋线作为抛光路径,该螺旋线的面积增长速率恒定,因此也称为等面积增长螺旋线。利用该螺旋线路径,加工转速趋于恒定,可降低加工中心区域的转速,从而降低对机床运动性能的要求,降低设备成本和加工成本。实验结果证实,阿基米德螺旋线路径加工中心区域容易产生过加工问题,加工精度较低;等面积增长螺旋线路径加工可避免中心区域过加工问题,获得较高的加工精度。; 关键词计算机控制抛光螺旋线路径离子束修形抛光; Keywords computer-controlled polishing spiral path ion beam figuring polishing; 分类号 TH161 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2: 8; 作者张春雷徐乐刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期2636-2643,共8页; 基金国家科技重大专项(No.2009ZX02205); 文摘考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。; 关键词氟化钙投影光刻物镜精密光学加工亚纳米精度加工离子束修形(IBF); Keywords CaF2 projection lens precision optical fabrication sub-nanometer precision fabrication Ion Beam Figuring（IBF）; 分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学] TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	离子束修形技术	戴一帆周林解旭辉廖文林沈永祥	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2011	16	在线阅读下载PDF 职称材料
2	小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析	徐明进戴一帆解旭辉周林	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿	卞萌胡海翔唐瓦季鹏张学军	《光学精密工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	离子束加工中全频段误差的演变	李文卿张继友王永刚马仙梅孟晓辉李昂	《航天返回与遥感》 CSCD	2020	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	超高精度离子束抛光工具设计与性能分析	鹿迎解旭辉周林彭文强	《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	空间同轴三反相机Φ520 mm次镜的加工与检测	孟晓辉王永刚马仙梅李文卿李昂张继友	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2017	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径	周林戴一帆解旭辉李圣怡	《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	6	在线阅读下载PDF 职称材料
8	全频段亚纳米精度氟化钙材料加工	张春雷徐乐刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料