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基于 CFDRC 的感应耦合等离子体离子数密度空间分布仿真 被引量:4
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作者 赵文锋 杨洲 +2 位作者 王卫星 吴伟斌 肖诺骏 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期206-211,共6页
为研究感应耦合等离子体(ICP)沉积装置放电腔与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布的影响,基于商业软件CFDRC中等离子体与电磁场模块建立了ICP沉积装置2维放电模型。在典型的ICP反应器中,等离子体反应主要由电子、重粒子间的碰撞来决... 为研究感应耦合等离子体(ICP)沉积装置放电腔与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布的影响,基于商业软件CFDRC中等离子体与电磁场模块建立了ICP沉积装置2维放电模型。在典型的ICP反应器中,等离子体反应主要由电子、重粒子间的碰撞来决定。利用不带电的流体模型求解分子、原子和基团等中性粒子的动量和质量守恒方程,而对离子带电粒子,考虑电场力的作用来求解动量方程;电子通量密度的计算是通过求解漂移扩散近似方程而获得的。通过此方法仿真研究了典型工艺条件下(气压0.25 Pa,功率90 W,体积流量120 L/s)等离子体离子数密度的空间分布,对比了不同功率(20、60、90、150 W)、不同抽气体积流量(60、100、140、160 L/s)条件下放电腔内ICP等离子体参数的变化规律。模拟结果表明:离子数密度随体积流量的增加而大幅度增加,随功率的增加而缓慢增加;空间离子数密度峰值出现在放电腔中心区域,随体积流量的增大而逐渐下移。 展开更多
关键词 感应耦合等离子 ICP 离子数密度 空间分布 CFD仿真 流体模型 CFDRC
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光折变全息图的热定影及H^+数密度的影响 被引量:3
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作者 张泽明 谢敬辉 +2 位作者 何庆生 金国藩 邬敏贤 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期499-502,共4页
对 Ce∶ Fe∶ L i Nb O3晶体的体全息信息存储和热定影进行了理论和实验研究 ,从理论上分析了对不同空间频率的体全息图进行热定影所需的最小离子数密度 ,在国内首次对铌酸锂晶体中离子数密度进行了测试 ,并在不同的记录角度条件下进行... 对 Ce∶ Fe∶ L i Nb O3晶体的体全息信息存储和热定影进行了理论和实验研究 ,从理论上分析了对不同空间频率的体全息图进行热定影所需的最小离子数密度 ,在国内首次对铌酸锂晶体中离子数密度进行了测试 ,并在不同的记录角度条件下进行了热定影实验 。 展开更多
关键词 热定影 离子数密度 LINBO3
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绝缘油离子迁移率的测试及其特性分析 被引量:6
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作者 杨丽君 徐积全 +2 位作者 胡恩德 刘洋 邓帮飞 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期3260-3267,共8页
为了正确测量绝缘油的离子迁移率并掌握其随温度的变化特性,重点研究了采用极性反转方法测量绝缘油离子迁移率,探究了电压幅值、极性反转时间对测量结果的影响;测量了3种绝缘油在不同温度下的离子迁移率变化特性,对比分析了不同标准和... 为了正确测量绝缘油的离子迁移率并掌握其随温度的变化特性,重点研究了采用极性反转方法测量绝缘油离子迁移率,探究了电压幅值、极性反转时间对测量结果的影响;测量了3种绝缘油在不同温度下的离子迁移率变化特性,对比分析了不同标准和测量方法所得电导率结果的差异;此外,还对油均衡离子数密度和离子等效半径等重要参数进行了分析和讨论。结果表明,尽管几种不同商用矿物绝缘油具有较为接近的理化参数,但其离子迁移率和活化能大小却差别较大,且各项特性参数会因不同的活化能大小而在不同温度下表现出较大差异。 展开更多
关键词 油纸绝缘 极性反转方法 离子迁移率 均衡离子数密度 离子等效半径 活化能
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空气放电非平衡等离子体的模拟计算 被引量:4
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作者 杜宏亮 何立明 +2 位作者 丁伟 王峰 于锦禄 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期1077-1081,共5页
基于空气放电非平衡等离子体动力学,对空气放电进行了数值计算,分析了放电后等离子体中的主要粒子(N2(v6),N2(A3),O2(a1),O和O3)数密度随起始温度、电子数密度和约化场强的变化趋势。计算结果表明,随着初始温度的升高,空气放电产生的粒... 基于空气放电非平衡等离子体动力学,对空气放电进行了数值计算,分析了放电后等离子体中的主要粒子(N2(v6),N2(A3),O2(a1),O和O3)数密度随起始温度、电子数密度和约化场强的变化趋势。计算结果表明,随着初始温度的升高,空气放电产生的粒子数密度增加。温度为300 K时,放电产生的O原子数密度最大值约为4.90×107cm-3,而当温度升高到400 K和500 K时,O原子数密度的最大值则相应地增加到5.2×1010cm-3和5.51×1010cm-3。约化场强的影响与温度类似,其中氮气的振动激发态N2(v6)数密度随约化场强的变化幅度不明显。电子数密度增加,粒子数密度大幅增加,氮分子的激发态N2(A3)粒子数密度与电子数密度保持严格的线性关系。 展开更多
关键词 空气放电 非平衡等离子 离子数密度 值模拟
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离子源内电子回旋共振等离子体诊断与分析 被引量:7
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作者 金逸舟 杨涓 +2 位作者 罗立涛 冯冰冰 汤明杰 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2950-2957,共8页
电子回旋共振离子推力器(ECRIT)离子源的内部磁场会干扰离子源内等离子体诊断,选择合理的诊断方法需要分析离子源特性,了解磁场对诊断结果的影响。为此,采用朗缪尔(Langmuir)探针诊断了离子源的等离子体信息,根据朗缪尔探针理论得... 电子回旋共振离子推力器(ECRIT)离子源的内部磁场会干扰离子源内等离子体诊断,选择合理的诊断方法需要分析离子源特性,了解磁场对诊断结果的影响。为此,采用朗缪尔(Langmuir)探针诊断了离子源的等离子体信息,根据朗缪尔探针理论得到电子温度、电子数密度、离子数密度,根据Druyvesteyn方法得到电子温度、电子数密度。结合实验现象,对比了不同方法所得诊断参数差异,分析了诊断结果的准确性。诊断结果表明:诊断位置到轴线的径向距离〉10 mm后,离子数密度由3.0×1017 m-3增至1.8×1018 m-3,符合离子源的放电原理和实际的放电形貌;不同处理方法所得电子温度、电子数密度接近,电子温度诊断值范围是4~20 e V,电子数密度诊断值范围是(2.0~9.0)×1016 m-3。离子数密度诊断结果较电子数密度诊断结果准确;电子温度较低时,使用积分得到的电子温度更准确;平行于探针的磁场会显著降低诊断得到的电子数密度,探针收集面垂直于磁场可减弱磁场干扰。 展开更多
关键词 电推进 电子回旋共振 离子 磁场 离子体诊断 离子数密度 电子密度 电子温度
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