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离子敏场效应管传感器信号处理技术
被引量:
2
1
作者
王春芳
胡轶
李树忠
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第8期44-45,共2页
本文介绍了离子敏场效应管传感器(ISFET)的模似信号和软件数字信号处理技术,所述方法可用于各种ISFET的信号检测处理中。
关键词
离子敏场效应管
传感器
微机
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职称材料
氧化钛栅介质离子敏场效应管pH传感器的研制
2
作者
黄旭东
陈伟
+3 位作者
鹿胜康
陈凯
郜晚蕾
金庆辉
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2023年第8期58-61,126,共5页
为了满足微量溶液的检测需求以及解决部分pH传感器灵产品敏度低、尺寸较大以及抗干扰性差的问题,研制了一种氧化钛(TiO_(2))栅介质离子敏场效应管pH传感器。该传感器的沟道层为铟镓锌氧化物(InGaZnO)薄膜,顶栅介质为氧化钛(TiO_(2))薄膜...
为了满足微量溶液的检测需求以及解决部分pH传感器灵产品敏度低、尺寸较大以及抗干扰性差的问题,研制了一种氧化钛(TiO_(2))栅介质离子敏场效应管pH传感器。该传感器的沟道层为铟镓锌氧化物(InGaZnO)薄膜,顶栅介质为氧化钛(TiO_(2))薄膜,源极和漏极均为金属铝(Al)薄膜;InGaZnO薄膜和TiO_(2)薄膜均由射频磁控溅射工艺制成,Al薄膜由电子束蒸发沉积工艺制成,3种薄膜材料均通过光刻、刻蚀工艺图形化。传感器具有体积小、灵敏度高、抗干扰性强的优点,尺寸仅为10 mm×15 mm,在室温(25±1)℃条件下,用半导体参数测试仪测得器件在不同pH值(4~10)溶液中的平均灵敏度为63.25 mV/pH,在K^(+)、Cl^(-)、Na^(+)、SO_(4)^(2-)离子干扰下的电压漂移量为相同浓度H^(+)离子干扰下的3%,满足当前生物医学、食品加工等领域的pH值检测需求。
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关键词
铟镓锌氧化物
氧化钛
PH传感器
离子敏场效应管
射频磁控溅射
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职称材料
基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制
3
作者
汪祖民
孙红光
+3 位作者
韩泾鸿
边超
陈绍凤
夏善红
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1065-1066,共2页
研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/p...
研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度。
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关键词
离子敏场效应管
聚吡咯
敏
感膜
集成化芯片系统
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职称材料
新型pH-ISFET芯片系统研究
4
作者
汪祖民
任振兴
+3 位作者
韩泾鸿
边超
杨海钢
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第10期2525-2528,共4页
该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H^+敏感PPy膜;与采用低...
该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H^+敏感PPy膜;与采用低温Ta_2O_5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较。集成芯片具有灵敏度54mV/pH,响应时间0.1s,在pH1~12范围内线性相关系数99.99%的优良性能。
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关键词
离子敏场效应管
片上系统
聚吡咯
五氧化二钽
敏
感膜
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职称材料
聚合物在pH-ISFET研究中的应用
5
作者
汪祖民
韩泾鸿
+2 位作者
任振兴
陈绍凤
夏善红
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第4期1-3,共3页
聚合物具有许多无机物没有的特性,已被越来越多地应用到pH-ISFET中,主要体现在4个方面,即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH-ISFET工作机理的基础上,分析了其对功能薄膜的要求,总结、比较了各种用于pH-ISFET的聚合物的...
聚合物具有许多无机物没有的特性,已被越来越多地应用到pH-ISFET中,主要体现在4个方面,即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH-ISFET工作机理的基础上,分析了其对功能薄膜的要求,总结、比较了各种用于pH-ISFET的聚合物的特性、制备方法及其应用。
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关键词
离子敏场效应管
敏
感膜
钝化膜
聚合物
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职称材料
基于DSP的智能化青霉素效价快速测量仪
6
作者
王春芳
罗守宾
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第10期13-14,20,共3页
研制了一种新型智能仪器,它用离子敏场效应晶体管[ISFET]作为传感器来测定青霉素。该仪器以TM320LF2407A DSP芯片作为控制核心,文中给出了其硬件组成方框图、传感器信号处理电路原理图及DSP与LCD的接口电路图,还给出了软件主程序流程图...
研制了一种新型智能仪器,它用离子敏场效应晶体管[ISFET]作为传感器来测定青霉素。该仪器以TM320LF2407A DSP芯片作为控制核心,文中给出了其硬件组成方框图、传感器信号处理电路原理图及DSP与LCD的接口电路图,还给出了软件主程序流程图。最后,给出了青霉素效价测量的实验方法和结果。该仪器可和上位机进行通信,与之前由8031单片机控制的检测仪相比,其体积只有原来的1/3,且具有诸如更快的动态响应、更高的可靠性和稳定性、较宽的线性测量范围和较好的实时性等特点,其性能价格比得到了进一步的提高。
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关键词
DSP
青霉素
离子敏场效应管
传感器
效价
测量仪
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职称材料
题名
离子敏场效应管传感器信号处理技术
被引量:
2
1
作者
王春芳
胡轶
李树忠
机构
青岛大学自动化系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第8期44-45,共2页
文摘
本文介绍了离子敏场效应管传感器(ISFET)的模似信号和软件数字信号处理技术,所述方法可用于各种ISFET的信号检测处理中。
关键词
离子敏场效应管
传感器
微机
Keywords
ISFET, Sensor, Microcomputer, Interface, Signal Processing.
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
氧化钛栅介质离子敏场效应管pH传感器的研制
2
作者
黄旭东
陈伟
鹿胜康
陈凯
郜晚蕾
金庆辉
机构
宁波大学信息科学与工程学院
宁波水表(集团)股份有限公司
出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2023年第8期58-61,126,共5页
基金
国家自然科学基金项目(62271242)
宁波市重点研发计划项目(2022Z092)。
文摘
为了满足微量溶液的检测需求以及解决部分pH传感器灵产品敏度低、尺寸较大以及抗干扰性差的问题,研制了一种氧化钛(TiO_(2))栅介质离子敏场效应管pH传感器。该传感器的沟道层为铟镓锌氧化物(InGaZnO)薄膜,顶栅介质为氧化钛(TiO_(2))薄膜,源极和漏极均为金属铝(Al)薄膜;InGaZnO薄膜和TiO_(2)薄膜均由射频磁控溅射工艺制成,Al薄膜由电子束蒸发沉积工艺制成,3种薄膜材料均通过光刻、刻蚀工艺图形化。传感器具有体积小、灵敏度高、抗干扰性强的优点,尺寸仅为10 mm×15 mm,在室温(25±1)℃条件下,用半导体参数测试仪测得器件在不同pH值(4~10)溶液中的平均灵敏度为63.25 mV/pH,在K^(+)、Cl^(-)、Na^(+)、SO_(4)^(2-)离子干扰下的电压漂移量为相同浓度H^(+)离子干扰下的3%,满足当前生物医学、食品加工等领域的pH值检测需求。
关键词
铟镓锌氧化物
氧化钛
PH传感器
离子敏场效应管
射频磁控溅射
Keywords
indium gallium zinc oxide
titanium oxide
pH sensor
ion-sensitive field-effect transistor
RF magnetron sputtering
分类号
TN [电子电信]
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职称材料
题名
基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制
3
作者
汪祖民
孙红光
韩泾鸿
边超
陈绍凤
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1065-1066,共2页
基金
国家自然科学基金(90307014)
文摘
研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度。
关键词
离子敏场效应管
聚吡咯
敏
感膜
集成化芯片系统
Keywords
pH-ISFET Ppy sensitive membrane system-on-chip(SOC)
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
新型pH-ISFET芯片系统研究
4
作者
汪祖民
任振兴
韩泾鸿
边超
杨海钢
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第10期2525-2528,共4页
基金
国家自然科学基金(90307014
60672019)资助课题
文摘
该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H^+敏感PPy膜;与采用低温Ta_2O_5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较。集成芯片具有灵敏度54mV/pH,响应时间0.1s,在pH1~12范围内线性相关系数99.99%的优良性能。
关键词
离子敏场效应管
片上系统
聚吡咯
五氧化二钽
敏
感膜
Keywords
Ion Sensitive Field Effect Transistor(ISFET)
System-On-Chip(SOC)
Polypyrrole
Ta2O5
Sensitive membrane
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
聚合物在pH-ISFET研究中的应用
5
作者
汪祖民
韩泾鸿
任振兴
陈绍凤
夏善红
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第4期1-3,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(90307014)
文摘
聚合物具有许多无机物没有的特性,已被越来越多地应用到pH-ISFET中,主要体现在4个方面,即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH-ISFET工作机理的基础上,分析了其对功能薄膜的要求,总结、比较了各种用于pH-ISFET的聚合物的特性、制备方法及其应用。
关键词
离子敏场效应管
敏
感膜
钝化膜
聚合物
Keywords
ion sensitive field effect transistor(ISFET)
sensitive membrane
passive membrane
polymer
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于DSP的智能化青霉素效价快速测量仪
6
作者
王春芳
罗守宾
机构
青岛大学自动化工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第10期13-14,20,共3页
文摘
研制了一种新型智能仪器,它用离子敏场效应晶体管[ISFET]作为传感器来测定青霉素。该仪器以TM320LF2407A DSP芯片作为控制核心,文中给出了其硬件组成方框图、传感器信号处理电路原理图及DSP与LCD的接口电路图,还给出了软件主程序流程图。最后,给出了青霉素效价测量的实验方法和结果。该仪器可和上位机进行通信,与之前由8031单片机控制的检测仪相比,其体积只有原来的1/3,且具有诸如更快的动态响应、更高的可靠性和稳定性、较宽的线性测量范围和较好的实时性等特点,其性能价格比得到了进一步的提高。
关键词
DSP
青霉素
离子敏场效应管
传感器
效价
测量仪
Keywords
DSP
penicillin
ISFEY sensor
valence
tester
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子敏场效应管传感器信号处理技术
王春芳
胡轶
李树忠
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996
2
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职称材料
2
氧化钛栅介质离子敏场效应管pH传感器的研制
黄旭东
陈伟
鹿胜康
陈凯
郜晚蕾
金庆辉
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2023
0
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职称材料
3
基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制
汪祖民
孙红光
韩泾鸿
边超
陈绍凤
夏善红
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
4
新型pH-ISFET芯片系统研究
汪祖民
任振兴
韩泾鸿
边超
杨海钢
夏善红
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2007
0
在线阅读
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职称材料
5
聚合物在pH-ISFET研究中的应用
汪祖民
韩泾鸿
任振兴
陈绍凤
夏善红
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
6
基于DSP的智能化青霉素效价快速测量仪
王春芳
罗守宾
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
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