期刊文献+
共找到81篇文章
< 1 2 5 >
每页显示 20 50 100
基于安全装置的电解等离子抛光设备研究
1
作者 刘保瑞 《南方农机》 2024年第13期156-159,198,共5页
【目的】电解等离子抛光技术作为动力使用的高压直流电对操作人员具有一定的危险性,稍有不慎,就可能造成严重的后果,亟需研发一台性能安全、稳定可靠的电解等离子抛光设备。【方法】从硬件和软件两个层面对电解等离子抛光设备进行设计,... 【目的】电解等离子抛光技术作为动力使用的高压直流电对操作人员具有一定的危险性,稍有不慎,就可能造成严重的后果,亟需研发一台性能安全、稳定可靠的电解等离子抛光设备。【方法】从硬件和软件两个层面对电解等离子抛光设备进行设计,以PLC作为控制系统的核心,由安全光栅和压敏安全地垫组成安全装置。对该设备的PLC、触摸屏、伺服系统、光电保护装置等进行了硬件选型,对触摸屏、下位机等进行了软件设计。【结果】硬件方面主要选择运行稳定、通信速度快、性价比高的三菱FX3U-32MT/ES-A型PLC、国产步科MT4513T型触摸屏、型号为ECMA-F11308SS的伺服电机;软件设计也实现了电解等离子抛光设备控制系统预期的所有功能。【结论】基于安全装置的电解等离子抛光设备,既满足了电解等离子抛光过程的工艺需求,又保障了操作人员的人身安全,为电解等离子抛光这一新型绿色技术的推广和普及打下了基础,对降低操作人员的劳动强度、提高生产效率起到了非常积极的作用。 展开更多
关键词 离子抛光技术 安全装置 PLC 控制系统
在线阅读 下载PDF
应用氩离子抛光-扫描电镜方法研究四川九老洞组页岩微观孔隙特征 被引量:37
2
作者 王羽 金婵 +4 位作者 汪丽华 王建强 姜政 王彦飞 普洁 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期278-285,共8页
微观孔隙结构是页岩储层研究的重点,而扫描电镜方法无法识别机械抛光中由于页岩硬度差异所造成的不规则形貌。本文利用氩离子抛光-扫描电镜方法对四川威远区块九老洞组页岩进行研究,发现了三种孔隙类型:1无机孔以粒间孔和黏土矿物层间... 微观孔隙结构是页岩储层研究的重点,而扫描电镜方法无法识别机械抛光中由于页岩硬度差异所造成的不规则形貌。本文利用氩离子抛光-扫描电镜方法对四川威远区块九老洞组页岩进行研究,发现了三种孔隙类型:1无机孔以粒间孔和黏土矿物层间孔为主,同时发育晶间孔和生物孔,孔径主体100~500 nm;2有机孔受控于热成熟度或有机黏土复合体,孔径范围数十纳米至数微米;3微裂缝包括成岩收缩裂缝、高压碎裂缝、构造裂缝和人为裂缝,缝宽数微米,缝长数微米至数十微米。研究表明无机孔和微裂缝是九老洞组页岩气的主要储集空间。 展开更多
关键词 微观孔隙结构 离子抛光 扫描电子显微镜 四川盆地 九老洞组页岩
在线阅读 下载PDF
基于氮气吸附-核磁共振-氩离子抛光场发射扫描电镜研究川西须五段泥质岩储层孔隙结构 被引量:18
3
作者 庞河清 曾焱 +4 位作者 刘成川 黎华继 彭军 严焕榕 陈俊 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期66-74,共9页
微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛... 微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛光及场发射扫描电镜在表征微观孔隙形态与类别时有一定优势,但定量表征孔隙参数时,受图像二值化阈值的影响,表征结果偏差较大,可结合氮气吸附法来定量表征其孔径大小;2核磁共振受岩石骨架影响小,能够更精细反映岩石的物性条件,可定量计算孔隙度与可动流体饱和度,但对样品的孔隙形态反映较差;3综合上述三种方法,在须五段泥质岩中可识别出一定量的纳米级中、大孔,孔径大多介于几十纳米到几百纳米之间,孔隙连通性差,孔隙度主要介于2.3%~7.4%之间,孔隙类型以粒间孔、晶间孔最发育,有机孔隙、微裂缝次之,粒内孔隙最不发育。总体而言,融合了三种技术方法能更精确、更全面地反映泥质岩孔隙结构特征,能得到更完善的储层孔隙结构参数,在定量表征泥质岩孔隙结构中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 泥质岩 孔隙结构 氮气吸附 核磁共振 离子抛光及场发射扫描电镜
在线阅读 下载PDF
氩离子抛光-环境扫描电镜在页岩纳米孔隙研究中的应用——以辽中凹陷JX地区沙一段为例 被引量:11
4
作者 程涌 刘聪 +3 位作者 吴伟 文义明 聂琪 卢萍 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期52-58,共7页
微观孔隙结构是页岩气储层研究的重点,但传统扫描电镜无法识别机械抛光中造成的不规则形貌。利用氩离子抛光—场发射环境扫描电镜方法对辽中凹陷JX1-1地区沙一段(E_3s^1)页岩储层孔隙进行了研究。结果表明,该页岩形成于裂谷裂陷后热沉... 微观孔隙结构是页岩气储层研究的重点,但传统扫描电镜无法识别机械抛光中造成的不规则形貌。利用氩离子抛光—场发射环境扫描电镜方法对辽中凹陷JX1-1地区沙一段(E_3s^1)页岩储层孔隙进行了研究。结果表明,该页岩形成于裂谷裂陷后热沉降背景下的半深湖—深湖环境,黏土矿物含量高,有机质丰富,决定了其孔隙以矿物基质孔中黏土矿物片间孔、黏土集合体内矿片间孔和有机质孔发育最好,油气地质意义最大;黏土矿物片间孔是片状的黏土矿物通过边缘和面、边缘和边缘、面和面之间的定向—半定向接触搭接形成,呈狭长的菱形、蜂窝状和不规则状,大小在0.5~5μm之间;黏土集合体内矿片间孔为黏土矿物在自身转化及压实作用中形成的,一般为弯曲的缝状孔,宽度介于30~500 nm范围内,长度数可达2~50 nm;页岩在热演化过程中,有机质大量向烃类转化,形成了大量的有机质孔,多呈片麻状、不规则状、凹坑状、椭圆状,大小在0.2~2μm之间。该研究对该区页岩气勘探层位选取、资源潜力评价和勘探开发具有一定的指导的意义。 展开更多
关键词 离子抛光 环境扫描电镜 页岩气 黏土矿物片间孔 有机质孔
在线阅读 下载PDF
氩离子抛光-场发射扫描电镜在煤纳米孔研究中的应用 被引量:7
5
作者 毛潇潇 赵迪斐 +3 位作者 卢晨刚 李刚 郭晓宇 郭英海 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期90-96,共7页
随着煤层气勘探开发与二氧化碳地下储存技术的发展,煤储层微观孔隙结构的研究逐渐向纳米级别深入。以太原组无烟煤为例,率先采用氩离子抛光-场发射扫描电镜技术直接观测煤纳米孔,为煤储层微观储渗结构的观测提出一种新的研究方法。结果... 随着煤层气勘探开发与二氧化碳地下储存技术的发展,煤储层微观孔隙结构的研究逐渐向纳米级别深入。以太原组无烟煤为例,率先采用氩离子抛光-场发射扫描电镜技术直接观测煤纳米孔,为煤储层微观储渗结构的观测提出一种新的研究方法。结果表明,煤储层孔隙主体处于纳米级别,分别发育在炭质、颗粒矿物、粘土矿物内部及接触部位,类型多样,以炭质内部的纳米孔最为发育;孔径差异显著,孔径主体分布范围为10~700 nm,集中在50~100 nm;孔隙形貌特征复杂、连通性不均一。氩离子抛光-场发射扫描电镜在煤微观孔隙系统分类及微观结构辅助定性-定量表征两方面具有广阔运用前景。 展开更多
关键词 煤纳米孔 结构特征 离子抛光 扫描电镜
在线阅读 下载PDF
不镀膜页岩样品的氩离子抛光/扫描电镜分析方法研究 被引量:11
6
作者 王亮 章雄冬 刘玉霞 《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第1期33-39,共7页
在对氩离子抛光页岩样品的扫描电镜分析过程中,对比了镀膜与不镀膜方式的优缺点。结果显示:镀膜能够显著减轻荷电现象,而不镀膜方式能更好地获得页岩内部,特别是微孔隙结构的真实信息。在对分析条件,包括加速电压、检测器的选择及扫描... 在对氩离子抛光页岩样品的扫描电镜分析过程中,对比了镀膜与不镀膜方式的优缺点。结果显示:镀膜能够显著减轻荷电现象,而不镀膜方式能更好地获得页岩内部,特别是微孔隙结构的真实信息。在对分析条件,包括加速电压、检测器的选择及扫描速度等进行优化后,不镀膜方式也能获得荷电较少,细节清晰的抛光页岩扫描电镜图片。此外,不镀膜方式在页岩的电镜分析中具有更广的应用前景,如聚焦离子束(focus ion beam,FIB)-扫描电镜能够分析获取页岩的三维孔隙结构。 展开更多
关键词 镀膜 离子抛光 扫描电镜 页岩 微孔隙
在线阅读 下载PDF
基于氩离子抛光-SEM和ImageJ软件的页岩储层孔隙结构分析——以中扬子地区陡山沱组为例 被引量:19
7
作者 徐祖新 郭少斌 《东北石油大学学报》 CAS 北大核心 2014年第4期45-51,8,共7页
为分析页岩储层孔隙结构,分析核磁共振、CT扫描、SEM、压汞法、氮气吸附法等方法,提出基于氩离子抛光SEM技术与ImageJ软件结合的改进的页岩储层孔隙结构分析方法.首先,利用氩离子抛光SEM技术获得中扬子地区陡山沱组页岩孔隙图像,将页岩... 为分析页岩储层孔隙结构,分析核磁共振、CT扫描、SEM、压汞法、氮气吸附法等方法,提出基于氩离子抛光SEM技术与ImageJ软件结合的改进的页岩储层孔隙结构分析方法.首先,利用氩离子抛光SEM技术获得中扬子地区陡山沱组页岩孔隙图像,将页岩分为有机质孔隙、粒间孔隙、粒内孔隙和微裂缝等4种孔隙类型;孔隙形态分为不规则多边形孔隙、近圆形孔隙、复杂网状孔隙、脉状或条带状孔隙等4类;然后,利用ImageJ软件定量分析陡山沱组页岩孔隙SEM图像.结果表明:中扬子地区陡山沱组页岩有机质孔最发育,粒间孔次之,粒内孔最不发育;粒间孔和粒内孔的孔隙直径较有机质孔的大;页岩的孔隙率为0.49%~1.21%,总孔隙率为2.86%.该方法实现对页岩储层孔隙结构的定性分析和定量表征,以及对储层的定量评价,研究结论对页岩储层孔隙结构分析具有参考意义. 展开更多
关键词 页岩气 储层 孔隙结构 离子抛光 ImageJ软件
在线阅读 下载PDF
页岩的氩离子抛光制样研究 被引量:7
8
作者 王亮 章雄冬 曹海虹 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期525-529,共5页
由于页岩结构的特殊性,其内部存在大量的微孔隙,借助于氩离子抛光技术能够揭示这些孔隙的真实结构。该文对不同加速电压、抛光时间、抛光角度及样品台转速等条件下氩离子束对页岩截面抛光处理的效果进行了研究,通过场发射扫描电镜观察,... 由于页岩结构的特殊性,其内部存在大量的微孔隙,借助于氩离子抛光技术能够揭示这些孔隙的真实结构。该文对不同加速电压、抛光时间、抛光角度及样品台转速等条件下氩离子束对页岩截面抛光处理的效果进行了研究,通过场发射扫描电镜观察,比较了不同抛光条件下页岩抛光面的形貌。研究表明:适当降低加速电压能够获得较好的抛光效果;抛光时间存在最佳值,并非越长越好;离子束入射角在一定范围内增大有利于平整度增加;较大的样品台转速会明显降低抛光效果。 展开更多
关键词 离子抛光 扫描电镜(SEM) 页岩
在线阅读 下载PDF
钛基复合材料的离子抛光工艺适用性研究 被引量:4
9
作者 马晓丽 李郅远 +1 位作者 刘礼 王立强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期178-181,共4页
金属基复合材料的制样难点在于基体和增强相物理性能差异大,采用机械-化学抛光、电解抛光等传统方法制样效率较低。离子抛光的制样优势在于可通过程序控制,实现对复合材料的整体加工,减小界面浮凸,从而提高制样效率。作者在前期研究中... 金属基复合材料的制样难点在于基体和增强相物理性能差异大,采用机械-化学抛光、电解抛光等传统方法制样效率较低。离子抛光的制样优势在于可通过程序控制,实现对复合材料的整体加工,减小界面浮凸,从而提高制样效率。作者在前期研究中得到了最佳离子抛光工艺参数,将此系列参数应用于不同增强相含量钛基复合材料的扫描电镜制样中,对比观察微观形貌、硬度和晶粒取向分布图。实验表明,采用此工艺参数得到的SEM电子背散射衍射、EBSD分析结果标定率高,可应用于此种类钛基复合材料的扫描电镜样品制备中,验证了离子抛光工艺参数的适用性。 展开更多
关键词 钛基复合材料 背散射 硬度 离子抛光
在线阅读 下载PDF
泥页岩样品自然断面与氩离子抛光扫描电镜制样方法的比较与应用 被引量:16
10
作者 焦淑静 张慧 薛东川 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第6期544-549,共6页
根据不同的研究目的,泥页岩的扫描电镜实验常用自然断面和氩离子抛光两种制样方法。自然断面的样品一般利用二次电子(SE)信号成像,反映样品表面原始形貌,图像立体感强,是最常用的制样方法。自然断面方法适合观察较大的孔隙结构,矿物及... 根据不同的研究目的,泥页岩的扫描电镜实验常用自然断面和氩离子抛光两种制样方法。自然断面的样品一般利用二次电子(SE)信号成像,反映样品表面原始形貌,图像立体感强,是最常用的制样方法。自然断面方法适合观察较大的孔隙结构,矿物及有机质形态特征,有机显微组分等。氩离子抛光样品一般利用背散射(BSE)信号成像,反映样品原子序数差异,容易区分有机质与矿物质。氩离子抛光样品表面光滑平整,适合观察泥页岩中纳米级孔隙,能直观地观察到矿物及有机质的颗粒大小及分布情况,但经过切割、研磨和抛光等一系列复杂的处理过程,样品原始形貌受到一定的破坏,会损失掉一些有用信息。本文详细比较了自然断面与氩离子抛光两种制样方法的特点及适用条件,指出如何根据样品特征及研究目的选择合适的制样方法。 展开更多
关键词 泥页岩 扫描电镜 自然断面 离子抛光
在线阅读 下载PDF
不同增强相含量的钛基复合材料离子抛光成形对比 被引量:2
11
作者 马晓丽 刘礼 +1 位作者 李郅远 王立强 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2020年第4期46-49,共4页
针对不同增强相含量的钛基复合材料,利用离子抛光方法对比了不同增强相含量的抛光形貌、抛光成形参数和抛光表面粗糙度的影响。发现增强相含量越多,离子抛光成形参数越大。为了量化成形参数的变化规律,以增强相含量和抛光时间为自变量... 针对不同增强相含量的钛基复合材料,利用离子抛光方法对比了不同增强相含量的抛光形貌、抛光成形参数和抛光表面粗糙度的影响。发现增强相含量越多,离子抛光成形参数越大。为了量化成形参数的变化规律,以增强相含量和抛光时间为自变量。回归分析,预测了抛光成形参数的表达式。此外,利用粗糙度的测量结果作为评价离子抛光的表面成形质量。研究表明,增强相含量影响了离子轰击材料表面的物理溅射和原子流动;增强相含量越多,表面粗糙度越大。 展开更多
关键词 钛基复合材料 离子抛光 成形参数 粗糙度
在线阅读 下载PDF
氩离子抛光-场发射扫描电镜分析方法在识别有机显微组分中的应用 被引量:20
12
作者 高凤琳 王成锡 +5 位作者 宋岩 陈振宏 刘庆新 李卓 姜振学 张欣欣 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期360-367,共8页
氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜... 氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜下特定显微组分的鉴定和观察,并总结出扫描电镜下有机显微组分鉴定的方法和特征。氩离子抛光—场发射扫描电镜下,可通过有机质的外部形态、硬度、亮度、颜色、突起、有机质孔隙发育特征以及裂隙发育特征等综合判断出结构镜质体、无结构镜质体、镜屑体、丝质体、半丝质体、菌类分泌体、惰屑体、油沥青以及焦沥青。 展开更多
关键词 离子抛光 场发射扫描电镜 有机显微组分
在线阅读 下载PDF
氩离子抛光/扫描电镜分析方法在笔石有机质研究中的应用 被引量:13
13
作者 戴娜 钟宁宁 +3 位作者 张瑜 张旺 赵江 严维汉 《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第5期416-420,共5页
笔石是下古生界页岩有机质的重要组成部分,精细研究其结构构造对表征页岩气储层孔隙特征具有重要的意义。使用氩离子抛光与扫描电镜相结合的方法观察笔石页岩,不仅可以获取页岩气储层中笔石有机质的形貌,清晰地显示出笔石体的宏观构造... 笔石是下古生界页岩有机质的重要组成部分,精细研究其结构构造对表征页岩气储层孔隙特征具有重要的意义。使用氩离子抛光与扫描电镜相结合的方法观察笔石页岩,不仅可以获取页岩气储层中笔石有机质的形貌,清晰地显示出笔石体的宏观构造和超微构造特征;而且可以有效地表征笔石有机质的孔隙发育特征。利用高分辨的背散射(BSE)和二次电子成像(SE)模式可识别出笔石有机质3种类型的孔隙,即粒间孔隙、生物结构孔隙和生物组织孔隙,直观地揭示了笔石有机质对页岩气储层储气能力的贡献,为富含笔石的页岩气储层孔隙结构研究提供了新的思路。 展开更多
关键词 笔石有机质 形貌特征 孔隙特征 离子抛光 扫描电镜
在线阅读 下载PDF
探究消除离子抛光截面样品上波纹现象的方法 被引量:5
14
作者 杜凯 张燚 +6 位作者 刘争晖 钟海舰 宋文涛 张春玉 陈科蓓 徐耿钊 徐科 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期257-263,共7页
目前,氩离子束抛光制备截面样品凭借其易于获得大面积平整表面以及适用范围广等优势被人们广泛采用。本文以单晶硅片为典型样品,通过氩离子抛光制备硅片的截面样品探究了消除截面样品上波纹现象的方法。实验表明通过调整样品在挡板上粘... 目前,氩离子束抛光制备截面样品凭借其易于获得大面积平整表面以及适用范围广等优势被人们广泛采用。本文以单晶硅片为典型样品,通过氩离子抛光制备硅片的截面样品探究了消除截面样品上波纹现象的方法。实验表明通过调整样品在挡板上粘接的凸出量并控制氩离子束流中中性快粒子的成分,可以有效增加在相同时间内离子束抛光的深度,消除截面区域的波纹,从而提高离子抛光制备截面样品的成功率。将上述离子抛光的规律推广应用到制备满足开尔文探针力显微镜测试要求的介孔钙钛矿太阳电池截面样品上,大大提高了制备介孔钙钛矿太阳电池截面样品的成功率。 展开更多
关键词 离子抛光 截面样品 介孔钙钛矿太阳电池
在线阅读 下载PDF
电解质等离子抛光液中硫酸铵含量的检测方法 被引量:2
15
作者 王季 索来春 付宜利 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期30-35,共6页
电解质等离子抛光过程中受抛光产生的金属微粒的干扰,无法使用电导法对抛光液中硫酸铵的含量进行检测,为了解决这一问题,基于实验提出了两种确定硫酸铵含量(质量分数)的方法.一种方法是利用抛光液中硫酸铵的含量低于2.5%以后抛光的电流... 电解质等离子抛光过程中受抛光产生的金属微粒的干扰,无法使用电导法对抛光液中硫酸铵的含量进行检测,为了解决这一问题,基于实验提出了两种确定硫酸铵含量(质量分数)的方法.一种方法是利用抛光液中硫酸铵的含量低于2.5%以后抛光的电流密度会明显下降的现象,定时检测抛光过程中电流值和抛光液温度,以确定是否需要补充硫酸铵.另一种方法是通过实验得到一定抛光液温度下抛光量与硫酸铵消耗量的关系,再在抛光过程中记录抛光量计算抛光液中硫酸铵含量的方法.研究发现,前一种方法应用更为简便,适用于一般工业生产;后一种方法适用于对抛光效果要求更高的加工.经实验验证两种方法均具有可行性. 展开更多
关键词 电解质等离子抛光 硫酸铵 质量分数 电流密度 抛光
在线阅读 下载PDF
影响TA1钛合金电解质等离子抛光的关键因素研究
16
作者 李思雪 孙桓五 +2 位作者 杨冬亮 段海栋 纪刚强 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2023年第1期90-96,82,共8页
为了研究一种高效率、高质量的TA1钛合金植入物表面光整加工方法,在对TA1钛合金电解质等离子抛光过程中的电流-电压特性分析的基础上,研究工作电压、抛光液温度及抛光时间等关键因素对表面粗糙度和材料去除率的影响规律及作用机制,并对... 为了研究一种高效率、高质量的TA1钛合金植入物表面光整加工方法,在对TA1钛合金电解质等离子抛光过程中的电流-电压特性分析的基础上,研究工作电压、抛光液温度及抛光时间等关键因素对表面粗糙度和材料去除率的影响规律及作用机制,并对电解质等离子抛光前后试样表面的显微形貌、微观组织结构及硬度变化进行表征,验证该方法的有效性。研究结果表明,当工作电压为300和350 V时,采用电解质等离子抛光能够获得表面粗糙度值较小的表面,并且材料去除率随工作电压升高而降低;随抛光液温度升高,试样表面粗糙度增加,同时材料去除率降低;随抛光时间延长,试样表面粗糙度呈下降趋势;电解质等离子抛光后TA1钛合金结晶度提高,晶粒长大;电解质等离子抛光可去除TA1钛合金表面机械作用产生的加工硬化层,同时增强材料的塑性和韧性。 展开更多
关键词 电解质等离子抛光 TA1钛合金 表面粗糙度 材料去除率 微观组织结构
在线阅读 下载PDF
等离子抛光石英玻璃表面粗糙度研究 被引量:2
17
作者 郑才国 陈庆川 +2 位作者 聂军伟 李民久 陈美艳 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2020年第2期9-11,59,共4页
为了实现光学元件表面超光滑加工,避免传统机械加工方法造成的亚表面损伤,将射频等离子体加工应用于石英玻璃抛光加工。分析了通过调节离子束的能量、束流密度和入射角等工艺参数对抛光效果的影响。试验结果表明,随离子束能量的增加,试... 为了实现光学元件表面超光滑加工,避免传统机械加工方法造成的亚表面损伤,将射频等离子体加工应用于石英玻璃抛光加工。分析了通过调节离子束的能量、束流密度和入射角等工艺参数对抛光效果的影响。试验结果表明,随离子束能量的增加,试件的表面粗糙度RMS先减小后增大,当离子束能量为200~600 eV时试件表面粗糙度明显提高,为离子束抛光能量最佳范围。离子束流入射最佳角度范围为45°~60°,随着离子束抛光时间的增加,试样表面粗糙度先降低后增大。 展开更多
关键词 离子抛光 超光滑 射频离子 表面粗糙度
在线阅读 下载PDF
离子束抛光对单晶硅表面质量影响的分子动力学模拟研究
18
作者 赵仕燕 郭海林 +6 位作者 黄思玲 张旭 夏超翔 王大森 聂凤明 裴宁 李晓静 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第6期113-121,共9页
离子束抛光作为一种超精密加工技术,被应用于材料表面抛光的精抛阶段,而其原子量级的去除效果使得它的加工过程与加工效果难以直接观察,因此为了能够从微观尺度研究离子束抛光的加工效果以及加工参数对材料表面粗糙度与表面损伤的影响,... 离子束抛光作为一种超精密加工技术,被应用于材料表面抛光的精抛阶段,而其原子量级的去除效果使得它的加工过程与加工效果难以直接观察,因此为了能够从微观尺度研究离子束抛光的加工效果以及加工参数对材料表面粗糙度与表面损伤的影响,提出使用分子动力学模拟的方法研究离子束抛光过程,通过对氩离子轰击单晶硅的仿真模拟,分析加工参数对单晶硅表面粗糙度与晶格损伤的影响规律,指导实际的加工工艺设计.研究发现,在不同加工角度下,离子剂量对于表面粗糙度的影响规律不同,低角度(0°~40°)低剂量以及高角度(>50°)高剂量的加工有助于达到较低的表面粗糙度;随着加工角度的增加,离子束对晶体表面造成的损伤逐渐减少,当加工角度大于40°时能够大幅度减少晶格损伤.模拟结果显示在实际的离子束抛光过程中,为了得到高质量的表面,应该采取高角度高剂量的加工方式以达到既降低材料表面粗糙度又减小对材料表面晶格产生损伤的目的. 展开更多
关键词 离子抛光 表面质量 分子动力学 单晶硅 加工角度
在线阅读 下载PDF
纳秒激光复合离子束刻蚀技术的CVD金刚石抛光研究
19
作者 冯昱森 赵智炎 +3 位作者 于颜豪 徐颖 徐地华 李爱武 《激光杂志》 北大核心 2025年第1期214-221,共8页
高表面平整度的CVD金刚石在微刀具、光学窗口、半导体等领域具有非常广阔的应用前景。然而,由于CVD金刚石具有的高硬度、高耐磨性和化学惰性等特性,使得CVD金刚石的高精度抛光成为一个巨大的挑战。针对金刚石抛光难度问题,使用纳秒激光... 高表面平整度的CVD金刚石在微刀具、光学窗口、半导体等领域具有非常广阔的应用前景。然而,由于CVD金刚石具有的高硬度、高耐磨性和化学惰性等特性,使得CVD金刚石的高精度抛光成为一个巨大的挑战。针对金刚石抛光难度问题,使用纳秒激光复合离子束刻蚀技术抛光CVD金刚石,开展了多晶CVD金刚石激光抛光实验研究,针对激光功率和扫描速度两种激光参数研究其对CVD金刚石烧蚀深度和表面粗糙度的影响,在此基础上对激光抛光后的CVD金刚石进行离子束蚀刻抛光,研究了离子束抛光下的金刚石表面粗糙度变化,并对离子束抛光后的金刚石表面成分进行分析。通过所述方法实现了CVD金刚石样品表面粗糙度从6.687μm降到0.804μm的优异的抛光效果。此研究提供了一种旨在红外窗口、微型铣床和航天航空等领域具有应用价值的金刚石抛光方法。 展开更多
关键词 激光光学 纳秒激光抛光 离子抛光 CVD金刚石 粗糙度
在线阅读 下载PDF
电解质等离子体抛光在齿轮上的应用研究
20
作者 胡静 陈扬建 朱立峰 《电加工与模具》 北大核心 2025年第2期43-48,共6页
针对齿轮工件几何形状的复杂性和现有抛光方法的局限性,开展了电解质等离子体抛光齿轮的实验研究,观察抛光过程中气层的动态变化,分析齿轮的几何形状变化和表面微观形貌,最后通过有限元仿真揭示了齿轮及其附近电解液的电势和电场分布规... 针对齿轮工件几何形状的复杂性和现有抛光方法的局限性,开展了电解质等离子体抛光齿轮的实验研究,观察抛光过程中气层的动态变化,分析齿轮的几何形状变化和表面微观形貌,最后通过有限元仿真揭示了齿轮及其附近电解液的电势和电场分布规律。实验结果表明,电解质等离子体抛光技术能有效改善齿轮表面质量,表面粗糙度由Sa0.556 μm降至Sa0.362 μm,但针对粗糙度值较高的轮齿表面,该方法不具备轮齿修形能力。仿真结果表明,电压降主要集中在齿轮工件附近,齿轮工件附近电场整体分布均匀,但齿轮轮廓上曲率突变的位置有一个较大的电场波动。 展开更多
关键词 齿轮 电解质等离子抛光 表面质量 电场仿真
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 5 下一页 到第
使用帮助 返回顶部