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基于虚拟仪器的磨削振动信号测试 被引量:1
1
作者 王丽华 张维庆 +1 位作者 姚晓栋 张永宏 《兵工自动化》 2005年第6期45-46,共2页
基于虚拟仪器的磨削振动信号测试系统由加速度传感器、信号适调仪、数据采集卡和计算机等组成。该测试系统用于MK9025数控光学曲线磨床,测试常态下的砂轮架和导轨的振动信号。把三组加速度计分别粘贴在砂轮架的前、中、后三个位置,测量... 基于虚拟仪器的磨削振动信号测试系统由加速度传感器、信号适调仪、数据采集卡和计算机等组成。该测试系统用于MK9025数控光学曲线磨床,测试常态下的砂轮架和导轨的振动信号。把三组加速度计分别粘贴在砂轮架的前、中、后三个位置,测量砂轮在线加工时的振动加速度信号。导轨上加速度计的搭载位置与砂轮架类似。 展开更多
关键词 虚拟仪器 磨削振动信号 测试
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快速点磨削工艺参数对磨削振动频率的影响
2
作者 单泉 潘帅 +1 位作者 于学荞 马廉洁 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期530-535,共6页
将频率视为一种新的特征参数来分析振动特性.首先提出了振动特征频率提取原理,通过快速点磨削振动特征提取试验获得了特征频率函数,随后分析了加工/空载状态下不同水平的工艺参数对磨削振动的影响,并结合砂轮与工件间的接触和能量传递... 将频率视为一种新的特征参数来分析振动特性.首先提出了振动特征频率提取原理,通过快速点磨削振动特征提取试验获得了特征频率函数,随后分析了加工/空载状态下不同水平的工艺参数对磨削振动的影响,并结合砂轮与工件间的接触和能量传递关系分析了特征频率的变化规律.结果表明,加工特征频率始终小于空载特征频率,特征频率的相对偏差随砂轮线速度的增大而减小,随磨削深度、进给速度的增大而增大,同时比较了各工艺参数对特征频率的影响权重,提出了改善加工效率的思路. 展开更多
关键词 磨削振动 特征频率 工艺参数 快速点磨削 相对偏差
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单颗CBN磨粒超声振动辅助磨削AISI 304材料去除机理
3
作者 杨震宇 邹平 +1 位作者 周亮 王安琪 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1011-1019,共9页
为了解释超声作用下磨粒切削材料的去除机理,对单粒磨削过程进行了分析,建立了未变形切削厚度和磨粒与试件的固定速度比(vs/vw)的数学模型.在AISI 304试件上进行了固定速度比的普通磨削(conventional grinding,CG)、切向超声振动辅助磨... 为了解释超声作用下磨粒切削材料的去除机理,对单粒磨削过程进行了分析,建立了未变形切削厚度和磨粒与试件的固定速度比(vs/vw)的数学模型.在AISI 304试件上进行了固定速度比的普通磨削(conventional grinding,CG)、切向超声振动辅助磨削(tangential ultrasonic vibration assisted grinding,TUVAG)以及径向超声振动辅助磨削(radial ultrasonic vibration assisted grinding,RUVAG)的单颗粒试验.结果表明,在固定速度比条件下,试件在CG与TUVAG作用下都是以塑性变形的形式去除,但超声辅助显著提高了材料去除率.试件在RUVAG作用下材料的去除方式与未变形切削最大厚度agmax的值息息相关.agmax小于0.8μm时,试件表现为脆性断裂的形式去除;之后随着agmax逐渐增大,试件转变为塑性变形的形式去除. 展开更多
关键词 单颗CBN(立方氮化硼)磨粒 未变形切削厚度 超声振动辅助磨削 表面形貌 材料去除机理
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二维超声振动磨削机理与试验研究 被引量:7
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作者 吴雁 孙爱国 +1 位作者 刘永姜 赵丽琴 《中北大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2007年第6期486-490,共5页
基于单颗磨粒切削运动轨迹仿真模型,定义了单颗磨粒在工件表面的相对运动轨迹为“椭螺线”曲线轨迹.分析了二维超声振动磨削机理,进行了二维超声振动磨削与普通磨削对比试验.试验结果表明:同样磨削条件下,二维超声振动磨削法向力... 基于单颗磨粒切削运动轨迹仿真模型,定义了单颗磨粒在工件表面的相对运动轨迹为“椭螺线”曲线轨迹.分析了二维超声振动磨削机理,进行了二维超声振动磨削与普通磨削对比试验.试验结果表明:同样磨削条件下,二维超声振动磨削法向力可以减少20%~30%,材料去除率增大近2倍;原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)表面微观特性分析表明:二维超声振动磨削表面明显优于普通磨削,具有优良的表面完整性.二维超声振动磨削是一种精密、高效的加工新工艺. 展开更多
关键词 二维超声振动磨削 椭螺线 材料去除率(MRR) 磨削 表面完整性
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超声振动磨削对工件表面粗糙度的影响 被引量:7
5
作者 曲云霞 关颉文 《河北工业大学学报》 CAS 1997年第3期99-104,共6页
超声波振动磨削的加工方法可以用于加工陶瓷等硬脆性难加工材料,具有较高的表面质量和加工效率以及高精度等优于普通磨削的特点.本文主要研究超声波振动磨削对工件表面粗糙度的影响,以促进陶瓷等硬脆性难加工材料在生产和生活中的广... 超声波振动磨削的加工方法可以用于加工陶瓷等硬脆性难加工材料,具有较高的表面质量和加工效率以及高精度等优于普通磨削的特点.本文主要研究超声波振动磨削对工件表面粗糙度的影响,以促进陶瓷等硬脆性难加工材料在生产和生活中的广泛应用. 展开更多
关键词 磨削 表面粗糙度 超声振动磨削 工件
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微-纳米复合陶瓷超声振动磨削的塑性-脆性转变特征研究 被引量:3
6
作者 吴雁 孙爱国 +1 位作者 朱训生 赵波 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期113-117,共5页
基于工件超声振动磨削的单磨粒运动模型,建立超声振动磨削单磨粒最大切削厚度agm ax公式;基于压痕断裂力学,给出硬脆材料超声振动磨削塑性-脆性转变临界条件,进行超声振动磨削与普通磨削对比试验,应用SEM和AFM分析陶瓷磨削表面微观形貌... 基于工件超声振动磨削的单磨粒运动模型,建立超声振动磨削单磨粒最大切削厚度agm ax公式;基于压痕断裂力学,给出硬脆材料超声振动磨削塑性-脆性转变临界条件,进行超声振动磨削与普通磨削对比试验,应用SEM和AFM分析陶瓷磨削表面微观形貌特征,重点研究磨削参数对其塑性-脆性转变特征的影响。研究结果表明,砂轮平均磨粒尺寸是影响塑性-脆性转变最为主要的因素,砂轮速度对其影响次之,磨削深度对塑性-脆性转变的影响最小;得出只有当agm ax小于临界切削深度agc时,才能实现硬脆材料塑性域磨削的重要结论。 展开更多
关键词 超声 振动磨削 微-纳米复合陶瓷 塑性-脆性转变 临界切削深度
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纳米复相陶瓷超声振动磨削表面微观特性 被引量:3
7
作者 吴雁 赵波 朱训生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2169-2172,共4页
基于磨削表面几何和物理微观特性,对Al2O3-ZrO2纳米复相陶瓷二维超声振动磨削表面变质层进行了研究.AFM观测表明,二维超声振动磨削表层是以晶粒碎化的材料粉末化、少量的材料压碎和颗粒的脱落为主的塑性变形层,其表面粗糙度低于普... 基于磨削表面几何和物理微观特性,对Al2O3-ZrO2纳米复相陶瓷二维超声振动磨削表面变质层进行了研究.AFM观测表明,二维超声振动磨削表层是以晶粒碎化的材料粉末化、少量的材料压碎和颗粒的脱落为主的塑性变形层,其表面粗糙度低于普通磨削表面粗糙度30%~40%.磨削表层和基体之间过渡层的X射线衍射峰具有半峰宽化现象,过渡层是以晶格畸变为主的塑性变形层,磨削表面无非晶相产生;在一定的磨削条件下,陶瓷材料纳米增韧改性和二维超声振动磨削技术相结合,可实现以非弹性变形为主要去除机理的超精密磨削表面. 展开更多
关键词 超声 二维振动磨削 纳米复相陶瓷 表面微观形貌 晶粒尺寸 晶格畸变
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轴向超声振动辅助磨削的磨削力研究 被引量:12
8
作者 何玉辉 周群 郎献军 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2016年第4期170-176,共7页
假设未变形磨屑厚度服从瑞利分布,推导了切削变形力的计算表达式;根据磨粒与工件的相对运动,探讨了超声振动对摩擦力的影响,分析了超声磨削时磨粒在砂轮切线方向上的摩擦力变化规律。综合切削变形力和摩擦力的理论分析,建立了轴向超声... 假设未变形磨屑厚度服从瑞利分布,推导了切削变形力的计算表达式;根据磨粒与工件的相对运动,探讨了超声振动对摩擦力的影响,分析了超声磨削时磨粒在砂轮切线方向上的摩擦力变化规律。综合切削变形力和摩擦力的理论分析,建立了轴向超声振动辅助磨削中磨削力的预测模型。对比实验的研究结果表明:由实验得到的磨削参数和振动参数对磨削力的影响规律与理论分析相一致,且仿真计算结果与实验测量结果的变化规律一致,从而验证了磨削力模型的可行性。 展开更多
关键词 未变形磨屑厚度 瑞利分布 超声振动辅助磨削 磨削
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纳米陶瓷材料超声振动磨削加工表面质量研究 被引量:6
9
作者 邵水军 赵波 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期1-4,共4页
研究纳米陶瓷材料磨削加工磨削力、磨削温度及表面粗糙度等表面特征,获取高质量的加工表面,是该工程材料得以广泛应用的重要前提。对纳米ZrO2陶瓷材料平板施加二维超声振动进行磨削,超声振动产生的空化作用、泵吸作用以及涡流作用,能一... 研究纳米陶瓷材料磨削加工磨削力、磨削温度及表面粗糙度等表面特征,获取高质量的加工表面,是该工程材料得以广泛应用的重要前提。对纳米ZrO2陶瓷材料平板施加二维超声振动进行磨削,超声振动产生的空化作用、泵吸作用以及涡流作用,能一定程度上改善材料的加工性能、提高加工表面质量,实现纳米陶瓷材料的精密高效加工。结果表明:二维超声振动磨削与普通磨削相比,实际磨削力、磨削温度相对较低且随切削深度增加增长速度较慢;选取不同的磨粒粒度对纳米陶瓷材料进行磨削加工,超声振动加工的表面粗糙度值与普通磨削表面的粗糙度值相比相对较小。 展开更多
关键词 纳米ZrO2陶瓷 二维超声振动磨削 磨削 磨削温度 表面质量
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超声振动辅助磨削牙科氧化锆陶瓷切削力预测模型研究 被引量:10
10
作者 肖行志 郑侃 廖文和 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期140-145,共6页
通过单因素实验设计,开展了牙科氧化锆陶瓷的超声振动辅助磨削实验,分别建立了超声振动辅助磨削加工切削力指数预测模型、BP神经网络预测模型以及理论预测模型。通过验证实验对比分析了三种模型的预测精度,并阐明了误差产生的原因。结... 通过单因素实验设计,开展了牙科氧化锆陶瓷的超声振动辅助磨削实验,分别建立了超声振动辅助磨削加工切削力指数预测模型、BP神经网络预测模型以及理论预测模型。通过验证实验对比分析了三种模型的预测精度,并阐明了误差产生的原因。结果表明,基于BP神经网络的切削力预测模型相对于指数和理论模型具有较高的预测精度,其平均相对误差仅为9.60%,理论模型因未能考虑材料的塑性流动去除,导致预测精度较低。 展开更多
关键词 超声振动辅助磨削 牙科氧化锆陶瓷 切削力预测 指数模型 BP神经网络 理论模型
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超声振动辅助磨削完全烧结氧化锆陶瓷牙冠的实验研究 被引量:6
11
作者 郑侃 肖行志 廖文和 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期32-36,47,共6页
针对现有全锆牙在制作过程中存在二次烧结、收缩精度难以控制等问题,提出了采用超声振动辅助磨削完全烧结氧化锆陶瓷牙冠的方法。从理论分析的角度对其运动学特性进行了研究,并通过超声振动辅助磨削和普通金刚石磨削实验,对该方法的可... 针对现有全锆牙在制作过程中存在二次烧结、收缩精度难以控制等问题,提出了采用超声振动辅助磨削完全烧结氧化锆陶瓷牙冠的方法。从理论分析的角度对其运动学特性进行了研究,并通过超声振动辅助磨削和普通金刚石磨削实验,对该方法的可行性进行了分析。结合牙冠的加工特点,重点研究了主轴转速对材料去除率、表面粗糙度以及最大边缘碎裂的影响规律。实验结果表明,超声振动辅助磨削不仅能提升材料的去除率,有效抑制出口边缘碎裂,同时降低了工件表面的粗糙度,是实现完全烧结氧化锆陶瓷牙冠高效低损伤加工的新方法。 展开更多
关键词 完全烧结氧化锆陶瓷 牙冠 超声振动辅助磨削 金刚石磨削 材料去除率 表面粗糙度 边缘碎裂
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旋转超声振动端面磨削CFRP表面质量研究 被引量:9
12
作者 刘树良 陈涛 +1 位作者 魏宇祥 吴超群 《航空制造技术》 2016年第15期57-61,共5页
以多向层铺树脂基碳纤维增强复合材料为研究对象,采用超声振动磨削和普通磨削对其表面加工质量进行了端面磨削试验研究。通过正交试验和单因素试验分析了各工艺参数对工件表面质量的影响规律,并由表面粗糙度及微观形貌进一步分析了磨削... 以多向层铺树脂基碳纤维增强复合材料为研究对象,采用超声振动磨削和普通磨削对其表面加工质量进行了端面磨削试验研究。通过正交试验和单因素试验分析了各工艺参数对工件表面质量的影响规律,并由表面粗糙度及微观形貌进一步分析了磨削机理。试验结果表明:在超声磨削过程中提高主轴转速、减小进给速度,同时采用合适的切削深度和工具粒度,有助于获得高质量的加工表面;超声振动磨削和普通磨削后,工件表面均存在纤维丝断裂、剥离和凹坑等缺陷,超声振动磨削后的加工缺陷出现的程度和概率均较低,表面加工质量较好。 展开更多
关键词 碳纤维增强复合材料 旋转超声振动端面磨削 加工表面质量
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微纳米复相陶瓷超声振动磨削表面微观特性的试验研究 被引量:1
13
作者 吴雁 丁爱玲 +1 位作者 刘永姜 朱训生 《中北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第4期437-441,共5页
结合磨削表面X射线衍射定性分析与定量计算,研究了"晶内型"微-纳米复相陶瓷材料超声振动磨削表面层与基体之间的过渡层的微观结构.X射线衍射分析表明:二维振动磨削和普通磨削表面均以-αA l2O3和四方相Z rO2为主,存在少量的... 结合磨削表面X射线衍射定性分析与定量计算,研究了"晶内型"微-纳米复相陶瓷材料超声振动磨削表面层与基体之间的过渡层的微观结构.X射线衍射分析表明:二维振动磨削和普通磨削表面均以-αA l2O3和四方相Z rO2为主,存在少量的单斜相Z rO2,磨削表面无非晶相产生;磨削表层和基体之间的过渡层的X射线衍射峰具有半峰宽化现象,磨削表面和基体之间的过渡层是以晶格畸变为主的塑性变形层,细粒度砂轮二维超声振动磨削微-纳米复相陶瓷材料主要以塑性变形机理被去除. 展开更多
关键词 超声 二维振动磨削 微-纳米复相陶瓷 塑性去除机理 表面微观形貌 晶格畸变
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细晶ZrO_2陶瓷超声振动磨削表面特征试验研究 被引量:2
14
作者 丁爱玲 吴雁 +1 位作者 王洪福 刘永姜 《中北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第2期104-107,共4页
进行了细晶ZrO2陶瓷二维超声振动磨削表面微观特征试验研究.应用原子力显微镜和扫描电镜分析了磨削表面微观特性.试验结果表明:同样磨削条件下,二维超声振动磨削表面峰谷较均匀,磨削表面均匀一致性优于普通磨削表面,二维超声振动磨削更... 进行了细晶ZrO2陶瓷二维超声振动磨削表面微观特征试验研究.应用原子力显微镜和扫描电镜分析了磨削表面微观特性.试验结果表明:同样磨削条件下,二维超声振动磨削表面峰谷较均匀,磨削表面均匀一致性优于普通磨削表面,二维超声振动磨削更易于实现塑性域磨削.分析表明:二维超声振动磨削单颗磨粒的切削运动轨迹状态和单颗磨粒与工件的接触状态是影响二维超声振动磨削表面质量的主要因素.磨削表面粗糙度实验表明:相同磨削条件下,材料的力学性能也是影响陶瓷磨削表面质量的重要因素之一. 展开更多
关键词 超声 二维振动磨削 表面微观形貌 塑性域磨削
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超声振动磨削C/SiC复合材料的试验研究 被引量:3
15
作者 项超 陈涛 +2 位作者 李红博 王启涵 宋涵 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第7期104-109,共6页
采用电镀金刚石砂轮对CVI+PIP综合工艺制备的2.5D正交编织C/Si C陶瓷基复合材料进行了轴向超声振动平面磨削加工试验。通过对超声振动磨削与普通磨削的磨削力、磨削表面三维形貌及粗糙度的分析与测量,对C/Si C复合材料的加工工艺进行了... 采用电镀金刚石砂轮对CVI+PIP综合工艺制备的2.5D正交编织C/Si C陶瓷基复合材料进行了轴向超声振动平面磨削加工试验。通过对超声振动磨削与普通磨削的磨削力、磨削表面三维形貌及粗糙度的分析与测量,对C/Si C复合材料的加工工艺进行了研究。结果表明,磨削过程中材料去除方式以脆性去除为主,碳纤维损伤形式以纤维拉断、剥离、横向断裂为主,基体主要为压溃破碎去除。施加超声振动后磨削力降低35%~40%,表面加工质量也有明显的改善。正交试验结果表明,磨削工艺参数中主轴转速、进给速度、磨削深度对磨削表面粗糙度Sa的影响程度也有所不同,影响顺序为:进给速度>主轴转速>磨削深度,采用高速微磨削可以有效提高磨削效率和表面加工质量。 展开更多
关键词 陶瓷基复合材料 超声振动磨削 试验研究 磨削 表面质量
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双激励超声波椭圆振动磨削装置设计及优化
16
作者 邓炎 陈涛 +1 位作者 刘树良 叶梦力 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期182-186,191,共6页
基于ANSYS Workbench多目标驱动模块对双激励超声波椭圆振动磨削(UEVG)装置进行优化设计。基于等效电路法设计前盖板是λ/4(λ为波长)复合变幅杆的半波长换能器,先后建立带有载物台的变幅杆及UEVG装置的参数化模型进行模态、谐响应分析... 基于ANSYS Workbench多目标驱动模块对双激励超声波椭圆振动磨削(UEVG)装置进行优化设计。基于等效电路法设计前盖板是λ/4(λ为波长)复合变幅杆的半波长换能器,先后建立带有载物台的变幅杆及UEVG装置的参数化模型进行模态、谐响应分析。根据10个设计点模态分析确定变幅杆最优尺寸,在此基础上通过42个设计点仿真分析获得UEVG装置的谐振频率、节面位置与结构尺寸的关系,并优化尺寸。优化后UEVG装置的谐振频率与理论设计频率的误差为0.24%,振幅高达16.7μm。 展开更多
关键词 椭圆振动磨削 优化设计 等效电路 有限元分析 超声加工
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SiCp/Al复合材料超声振动辅助加工磨削力预测研究
17
作者 郑伟 周明 +2 位作者 凌丽 杨汝平 邓超 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S01期86-92,共7页
SiCp/Al复合材料机械物理性能优异,是一种典型的难加工材料。超声振动辅助磨削(UVAG)是一种将超声加工和磨削加工结合在一起的加工方法,具有减小磨削力和磨削温度、抑制砂轮堵塞等技术优势,适合中、高体分含量SiCp/Al复合材料的加工。对... SiCp/Al复合材料机械物理性能优异,是一种典型的难加工材料。超声振动辅助磨削(UVAG)是一种将超声加工和磨削加工结合在一起的加工方法,具有减小磨削力和磨削温度、抑制砂轮堵塞等技术优势,适合中、高体分含量SiCp/Al复合材料的加工。对SiCp/Al复合材料超声振动辅助加工中的磨削力进行了预测研究。侧面磨削力主要由切屑形成力、摩擦力和颗粒破碎力组成,端面磨削力主要由冲击力组成。基于超声振动辅助磨削运动学原理、格里菲斯理论和压痕理论建立了SiCp/Al复合材料超声振动辅助加工磨削力数学模型。数学模型的系数通过2组正交实验确定,最后通过实验对磨削力数学模型进行验证,结果表明磨削力实验值与理论值吻合良好,误差低于8%,可以满足工程应用需求。 展开更多
关键词 超声振动辅助磨削 SICP/AL复合材料 磨削 数学模型
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超声振动磨削陶瓷深孔试验研究 被引量:2
18
作者 杨继先 张永宏 +1 位作者 杨素梅 郝利兵 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期41-44,共4页
研究了超声振动磨削和普通磨削陶瓷深孔的对比试验。结果表明,超声振动磨削可明显地提高陶瓷加工效率,能有效地消除普通磨削产生的表面裂纹和崩坑,是陶瓷深孔精密高效加工的一种新方法。
关键词 超声振动 磨削 陶瓷深孔 振动磨削
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旋转超声振动磨削与加工表面质量的关系 被引量:1
19
作者 冯薇 皮钧 +1 位作者 王素 方芳 《重庆科技学院学报(自然科学版)》 CAS 2018年第5期89-92,共4页
对硬脆性材料实行旋转超声振动磨削加工,可以有效改善加工表面质量。分析了在旋转超声振动磨削过程中单颗磨粒的运动特性与加工表面质量的关系。在旋转超声振动磨削过程中,旋转振动磨削的周期往复作用及切削速度增大、作用时间缩短等运... 对硬脆性材料实行旋转超声振动磨削加工,可以有效改善加工表面质量。分析了在旋转超声振动磨削过程中单颗磨粒的运动特性与加工表面质量的关系。在旋转超声振动磨削过程中,旋转振动磨削的周期往复作用及切削速度增大、作用时间缩短等运动特性,使得表面质量和加工精度得以提高。从工件的动态位移情况来看,在旋转超声振动磨削中,表面粗糙度有所降低,工件振动系统的刚性有所提高,这也有助于提高加工表面质量和精度。 展开更多
关键词 磨削加工 硬脆性材料 旋转超声振动磨削 表面质量
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石英玻璃微流道超声振动磨削加工及流动阻力特性研究
20
作者 郭明荣 鲁艳军 陈润华 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第17期119-125,共7页
石英玻璃微流控芯片在医学诊断、生化分析和药物筛选等领域具有广阔的应用前景,高性能石英玻璃微流道的加工质量直接决定微流控芯片的使用性能。本工作采用超声振动磨削加工技术对石英玻璃微流道进行高效精密加工,首先研究了主轴转速N... 石英玻璃微流控芯片在医学诊断、生化分析和药物筛选等领域具有广阔的应用前景,高性能石英玻璃微流道的加工质量直接决定微流控芯片的使用性能。本工作采用超声振动磨削加工技术对石英玻璃微流道进行高效精密加工,首先研究了主轴转速N、进给速度vf、磨削深度ap和超声功率P对微流道表面质量和形状精度的影响,然后对超声振动磨削工艺参数进行优化,最后测试微流道的水流阻力,研究微流道水力直径对其流动阻力特性的影响。超声振动磨削加工实验结果表明:石英玻璃微流道的表面粗糙度Ra可达较小值0.191μm,形状精度RMS值和PV值分别达到3.332μm和23.783μm,并且微流道表面形貌完整,底部微观表面光滑,边缘整齐无明显崩边。流动性测试实验结果表明:石英玻璃微流道内流动摩擦阻力系数随雷诺数和水力直径的增大而减小,因此设计微流道时应尽量选择较大的水力直径,并且适当增大流速。 展开更多
关键词 超声振动磨削 微流道 表面粗糙度 形状精度 阻力特性
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