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磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响
被引量：
2
1
作者
于振华
姜康
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第12期1206-1211,共6页
研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的...
研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的ID/IG从0.212增加到1.18,显示制备薄膜的sp3键含量逐渐减少,同时sp2键在逐渐增加。随着弧电流值上升,薄膜硬度增加,表明其值与弧电流值呈正相关性,高的弧电流使通过磁过滤器的大颗粒等离子体数增加,从而薄膜表面形貌易于沉积大颗粒,导致薄膜表面质量下降。因此,选择合适的弧电流值可优化Ta-C薄膜制备工艺,本文研究内容为工业应用中通过弧电流调整优化膜层综合性能提供参考。
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关键词
弧电流
Ta-C薄膜
磁
过滤
真空
阴极
电弧
技术
表面质量
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职称材料
非晶四面体碳膜对2Cr3WMoV合金钢表面耐磨性能的影响
2
作者
李远洁
赵玉清
+1 位作者
王炎武
董乃强
《润滑与密封》
北大核心
2025年第4期1-8,共8页
为提高2Cr3WMoV合金钢的表面摩擦性能,利用磁控溅射沉积技术与过滤阴极真空电弧技术分别在未经过渗碳和渗碳热处理后的2Cr3WMoV合金结构钢试样表面制备TiN过渡层及非晶四面体碳的多层结构复合膜。采用球-盘摩擦磨损试验仪、三维形貌仪...
为提高2Cr3WMoV合金钢的表面摩擦性能,利用磁控溅射沉积技术与过滤阴极真空电弧技术分别在未经过渗碳和渗碳热处理后的2Cr3WMoV合金结构钢试样表面制备TiN过渡层及非晶四面体碳的多层结构复合膜。采用球-盘摩擦磨损试验仪、三维形貌仪、表面磨痕测量仪等对比分析不同合金结构钢试样镀膜前后的摩擦磨损性能。结果表明:渗碳热处理工艺对2Cr3WMoV合金钢制备非晶四面体碳基多层复合膜后试样的摩擦磨损性能影响较大,在渗碳2Cr3WMoV试样表面制备多层复合膜结构后,表面摩擦因数由0.54降低到0.077,磨损率由3.03×10^(-9)cm^(3)/(N·m)降低到9.44×10^(-10)cm^(3)/(N·m)。由于表面渗碳及抛光工艺提升了合金试样的表面硬度,并降低表面粗糙度,从而使该试样制备非晶四面体碳基复合膜后具有最为优异的摩擦磨损性能及膜层与基体的结合强度。
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关键词
非晶四面体碳膜
合金结构钢
表面渗碳处理
摩擦磨损性能
磁过滤阴极真空电弧
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职称材料
题名
磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响
被引量：
2
1
作者
于振华
姜康
机构
合肥工业大学机械工程学院
合肥工业大学汽车与交通工程学院
出处
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第12期1206-1211,共6页
文摘
研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的ID/IG从0.212增加到1.18,显示制备薄膜的sp3键含量逐渐减少,同时sp2键在逐渐增加。随着弧电流值上升,薄膜硬度增加,表明其值与弧电流值呈正相关性,高的弧电流使通过磁过滤器的大颗粒等离子体数增加,从而薄膜表面形貌易于沉积大颗粒,导致薄膜表面质量下降。因此,选择合适的弧电流值可优化Ta-C薄膜制备工艺,本文研究内容为工业应用中通过弧电流调整优化膜层综合性能提供参考。
关键词
弧电流
Ta-C薄膜
磁
过滤
真空
阴极
电弧
技术
表面质量
Keywords
Arc current, Ta-C film, FCVAD, Surface quality
分类号
TB303 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
非晶四面体碳膜对2Cr3WMoV合金钢表面耐磨性能的影响
2
作者
李远洁
赵玉清
王炎武
董乃强
机构
西安交通大学电子科学与工程学院
陕西埃恩束能碳基技术有限公司
中国航发西安动力控制科技有限公司
出处
《润滑与密封》
北大核心
2025年第4期1-8,共8页
基金
中国航发校企合作项目(JZ-202206010)。
文摘
为提高2Cr3WMoV合金钢的表面摩擦性能,利用磁控溅射沉积技术与过滤阴极真空电弧技术分别在未经过渗碳和渗碳热处理后的2Cr3WMoV合金结构钢试样表面制备TiN过渡层及非晶四面体碳的多层结构复合膜。采用球-盘摩擦磨损试验仪、三维形貌仪、表面磨痕测量仪等对比分析不同合金结构钢试样镀膜前后的摩擦磨损性能。结果表明:渗碳热处理工艺对2Cr3WMoV合金钢制备非晶四面体碳基多层复合膜后试样的摩擦磨损性能影响较大,在渗碳2Cr3WMoV试样表面制备多层复合膜结构后,表面摩擦因数由0.54降低到0.077,磨损率由3.03×10^(-9)cm^(3)/(N·m)降低到9.44×10^(-10)cm^(3)/(N·m)。由于表面渗碳及抛光工艺提升了合金试样的表面硬度,并降低表面粗糙度,从而使该试样制备非晶四面体碳基复合膜后具有最为优异的摩擦磨损性能及膜层与基体的结合强度。
关键词
非晶四面体碳膜
合金结构钢
表面渗碳处理
摩擦磨损性能
磁过滤阴极真空电弧
Keywords
tetrahedral amorphous carbon films
structural alloy steel
surface carburization treatment
fiction and wear properties
filtered cathodic vacuum arc
分类号
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响
于振华
姜康
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
非晶四面体碳膜对2Cr3WMoV合金钢表面耐磨性能的影响
李远洁
赵玉清
王炎武
董乃强
《润滑与密封》
北大核心
2025
0
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职称材料
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