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氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备ZrO_(2)薄膜特性的影响
被引量：
1
1
作者
郭春刚
张梦迪
英敏菊
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期47-51,共5页
ZrO_(2)薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性,在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质ZrO_(2)薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热点问题.本文利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,以金属Zr为阴极,在单晶硅(100)衬底上制备高品质ZrO_...
ZrO_(2)薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性,在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质ZrO_(2)薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热点问题.本文利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,以金属Zr为阴极,在单晶硅(100)衬底上制备高品质ZrO_(2)薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、X射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针对薄膜的结构、形貌、成分及其性能进行表征,研究了O_(2)流量对于ZrO_(2)薄膜的晶体结构、形貌、成分以及力学性能的影响规律,获得了结晶品质良好、表面平滑且硬度较高的ZrO_(2)薄膜.
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关键词
ZrO_(2)薄膜
磁过滤阴极真空弧法
O_(2)流量
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职称材料
磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜
2
作者
周奎
张旭
+2 位作者
覃礼钊
廖斌
吴先映
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期487-490,共4页
采用磁过滤阴极真空弧法,以C2H2和N2混合气体为反应气体在单晶硅上沉积纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜,用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)和X射线电子能谱(XPS)研究了薄膜的成分和结构.实验结果表明薄膜结构是由ZrCN晶粒镶嵌在...
采用磁过滤阴极真空弧法,以C2H2和N2混合气体为反应气体在单晶硅上沉积纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜,用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)和X射线电子能谱(XPS)研究了薄膜的成分和结构.实验结果表明薄膜结构是由ZrCN晶粒镶嵌在无定形碳和碳氮化合物基体中;膜中的化合键主要以Zr—C,C C(sp2)和C—C(sp3)形式存在;随着混合气体流量的增加,薄膜的锆原子分数减小,而N和C的原子分数逐渐增大.
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关键词
磁过滤阴极真空弧法
(FCVA)
纳米nc
ZrCN/a—C:H(N)复合膜
气体流量
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职称材料
题名
氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备ZrO_(2)薄膜特性的影响
被引量：
1
1
作者
郭春刚
张梦迪
英敏菊
机构
北京师范大学核科学与技术学院
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期47-51,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11875088)。
文摘
ZrO_(2)薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性,在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质ZrO_(2)薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热点问题.本文利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,以金属Zr为阴极,在单晶硅(100)衬底上制备高品质ZrO_(2)薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、X射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针对薄膜的结构、形貌、成分及其性能进行表征,研究了O_(2)流量对于ZrO_(2)薄膜的晶体结构、形貌、成分以及力学性能的影响规律,获得了结晶品质良好、表面平滑且硬度较高的ZrO_(2)薄膜.
关键词
ZrO_(2)薄膜
磁过滤阴极真空弧法
O_(2)流量
Keywords
ZrO_(2)thin film
magnetic filter cathode vacuum arc method
O_(2)flow rate
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜
2
作者
周奎
张旭
覃礼钊
廖斌
吴先映
机构
北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室
北京师范大学核科学与技术学院
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期487-490,共4页
文摘
采用磁过滤阴极真空弧法,以C2H2和N2混合气体为反应气体在单晶硅上沉积纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜,用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)和X射线电子能谱(XPS)研究了薄膜的成分和结构.实验结果表明薄膜结构是由ZrCN晶粒镶嵌在无定形碳和碳氮化合物基体中;膜中的化合键主要以Zr—C,C C(sp2)和C—C(sp3)形式存在;随着混合气体流量的增加,薄膜的锆原子分数减小,而N和C的原子分数逐渐增大.
关键词
磁过滤阴极真空弧法
(FCVA)
纳米nc
ZrCN/a—C:H(N)复合膜
气体流量
Keywords
FCVA
nanocomposite nc-ZrCN/a-C. H（N） film
flow rate
分类号
O636.1 [理学—高分子化学]
TL628 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备ZrO_(2)薄膜特性的影响
郭春刚
张梦迪
英敏菊
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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职称材料
2
磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜
周奎
张旭
覃礼钊
廖斌
吴先映
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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