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磁过滤电弧离子镀TiN与N离子注入性能研究
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作者 付天佐 赵红 +2 位作者 田振刚 李晓其 谢宛鋆 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期139-145,共7页
目的研究磁过滤电弧离子镀TiN与N离子注入对金属基体的保护效果。方法采用磁过滤电弧离子镀和离子注入在不锈钢表面分别制备了TiN薄膜与N注入改性层,以及二者的复合膜层。对薄膜的相结构、微观形貌进行了表征,对薄膜进行了极化曲线测试... 目的研究磁过滤电弧离子镀TiN与N离子注入对金属基体的保护效果。方法采用磁过滤电弧离子镀和离子注入在不锈钢表面分别制备了TiN薄膜与N注入改性层,以及二者的复合膜层。对薄膜的相结构、微观形貌进行了表征,对薄膜进行了极化曲线测试,同时在半球样品表面制备涂层并进行盐雾测试。结果所制备的TiN涂层为(111)晶面择优取向,离子注N预处理后沉积的TiN薄膜,仍保持(111)面的择优取向;电化学测试结果显示,TiN和N离子注入能够使不锈钢基体自腐蚀电位分别提高0.64、0.25 V,TiN薄膜具有最低的维钝电流密度4.9×10^(-6) A/cm^(2),N离子注入+TiN复合薄膜的维钝电流密度与N离子注入样品接近;盐雾试验结果表明,TiN以及N离子注入+TiN复合薄膜样品能够保证铜半球在12h的中性盐雾试验中无明显腐蚀痕迹。结论N离子注入预处理对MFAIPTiN涂层耐蚀性能的提升效果有限,单一的MFAIP TiN涂层便可应用于复杂形状的工程材料表面镀膜,可以增强其抗腐蚀能力,延长使用寿命。 展开更多
关键词 TIN 磁过滤电弧离子镀 N离子注入 腐蚀防护
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磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及性能研究 被引量:4
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作者 张启沛 钟喜春 +2 位作者 李春明 匡同春 郭燕伶 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期444-450,共7页
采用磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法在高速钢表面制备了Ti N薄膜,采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪,显微硬度计和划痕仪等方法研究了偏压和磁过滤电流对Ti N薄膜的形貌、沉积速率、组织结构和力学性能的影响。结果表明:MFAIP-Ti N薄膜膜... 采用磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法在高速钢表面制备了Ti N薄膜,采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪,显微硬度计和划痕仪等方法研究了偏压和磁过滤电流对Ti N薄膜的形貌、沉积速率、组织结构和力学性能的影响。结果表明:MFAIP-Ti N薄膜膜层均匀,表面质量好,膜与基体结合紧密。随着偏压和磁过滤电流的增加,Ti N的(111)晶面择优取向越来越弱,(311)和(222)晶面的择优取向逐渐增强。当偏压为-150 V,磁过滤电流为4.5 A时,表现出较大的沉积速率,最大的显微硬度测试值和最大的膜/基结合力。 展开更多
关键词 磁过滤电弧离子镀技术 TIN薄膜 偏压 过滤电流
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真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究 被引量:2
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作者 王秀兰 刘文言 +1 位作者 刘洪源 张泰华 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期52-54,共3页
采用真空磁过滤电弧离子镀方法 ,在GT35基体上沉积类金刚石膜。通过对清洗工艺及弧电流、工件所加负偏压、沉积温度等参数的研究 ,制定出了合理的工艺路线 ,并对这种膜层进行了X—射线光电子谱 (XPS)分析 ,利用干涉仪、纳米硬度计对膜... 采用真空磁过滤电弧离子镀方法 ,在GT35基体上沉积类金刚石膜。通过对清洗工艺及弧电流、工件所加负偏压、沉积温度等参数的研究 ,制定出了合理的工艺路线 ,并对这种膜层进行了X—射线光电子谱 (XPS)分析 ,利用干涉仪、纳米硬度计对膜层的粗糙度、纳米硬度作了进一步检测。结果表明 ,采用此种方法制备的类金刚石膜层 ,SP3含量约为 4 0 .1% ;组织致密 ,无大的颗粒 ;镀膜后的粗糙度可以达到 0 .0 15μm ;纳米硬度约为 5 5GPa。并将膜层与TiN膜层组成摩擦副 ,进行了耐磨性试验 ,结果表明膜层的耐磨性较好。 展开更多
关键词 真空磁过滤电弧离子镀 类金刚石 耐磨性 涂层 制备 薄膜
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真空磁过滤电弧离子镀沉积Ti-O薄膜及其血液相容性 被引量:1
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作者 曹国栋 冷永祥 +2 位作者 景凤娟 孙鸿 黄楠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1720-1722,1726,共4页
采用真空磁过滤电弧离子镀技术在单晶硅(100)和载玻片表面沉积Ti-O薄膜,研究了不同氧分压(0.08、0.13、0.2Pa)对薄膜结构及血液相容性的影响。研究结果表明,随着氧分压的提高,Ti-O薄膜相结构从三氧化二钛转变为金红石结构二氧化钛。扫... 采用真空磁过滤电弧离子镀技术在单晶硅(100)和载玻片表面沉积Ti-O薄膜,研究了不同氧分压(0.08、0.13、0.2Pa)对薄膜结构及血液相容性的影响。研究结果表明,随着氧分压的提高,Ti-O薄膜相结构从三氧化二钛转变为金红石结构二氧化钛。扫描电子显微镜观察表明,所制备薄膜表面结构致密,与基体结合紧密。血小板粘附实验结果表明,0.13Pa下制备的薄膜血液相容性优异,优于临床应用的热解碳材料。 展开更多
关键词 Ti—O薄膜 氧分压 真空磁过滤电弧离子镀 血液相容性
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